计数器 发散狭缝 防散射狭缝
单色器
射线源 样品
接收狭缝
测角仪的光路系统 X射线由X射线管的焦斑S发散射出， 经过梭拉狭缝S1(由一组平行金属薄片组 成),限制垂直方向的发散度, 又经发散狭缝K,控制水平发散度, 再射到样品D上。
发散狭缝K 梭拉狭缝S1
样品D
防散射狭缝L 梭拉狭缝S2 接收狭缝 单色器 计数器C
物相定性分析实例
设备：Bruker D8 ADVANCE 衍射仪.
辐射：单色化的 Cu K 射线
1-样品制备: 样品碾成粉末，颗粒度小于300目， 取约1g粉末放入样品槽内，用毛玻璃轻压 粉末，使之充满槽内，轻轻刮去多余的粉 末，将样品，置于测角仪中心。
X 光管 固定
2 - 设置参数并进行衍射花样测量：
XRD的应用之四：纳米材料晶型鉴定
TiO2—自然界中最具广泛用途的材料之一， 粒度达到纳米级时， TiO2以锐钛矿，板钛矿， 金红石那一种形式存在？
例1 利用TiCl4水溶液的控制水解制备锐 钛矿相纳米氧化钛，下图为所制备TiO2 粉体的XRD衍射谱。
峰位 面间距d → 定性分析 点阵参数 d漂移 → 残余应力 固溶体分析
半高宽 结晶性 微晶尺寸 非晶质的积分强度 结晶质的积分强度 结晶度 定量分析
强 度
角度（2θ）
实验方法
1、制备样品的方法
1) 正压法： 2)背压法：
2、计数测量方法 1）连续扫描方式 （也称叠扫）
让探测器以一定的角速度在选定 的角度范围内进行连续扫描。 优点：快速，方便。 缺点：峰位滞后（向扫描方向移 动），分辨力低
4-原始文件局部放大
5-原始文件经过软件扣除背底, 平滑 后, 寻峰得到待分析图片
6a-用软件的物相标定功能确定物相— 告知软件已知元素后Search可能的物相
6b-软件将搜索到的可能物相列表显示出来 再从中人工选出最确定的物相
7-标定结果
该物相被确定为Al2O3
蓝线:被测样品 红线:来自PDF卡
XRD的应用之三：薄膜材料物相分析
Si的XRD谱
28.5°
例1 在单晶硅基片上制备了TiO2薄膜，并进行 了 Pd和 Pt的掺杂。图为其XRD衍射结果。 对照标准图谱， 在25.3°和47.9°出现 的两个峰可归属于锐钛 矿型TiO2的特征峰， 28.5°的宽峰是基底Si 的谱线。 这说明在TiO2薄膜中 ， TiO2 均以锐钛矿型晶 相结构存在。
• 衍射仪的组成：X射线发生器、X射线测 角仪、辐射探测器、辐射探测电路、 控 制操作和运行软件的计算机系统。
控制驱动装置 送水装置
水冷
显示器
测角仪 样品 角度扫描 数据输出
X线管 高压电缆 高压 计数管 ＨＶ 计数存储装置(ECP)
发生器
X线发生器(XG)
测角仪: X射线衍射仪的核心部件
X 光管 固定
X射线管电压：35 KV 管电流：35 mA 扫描方式:连续扫描法，步长:Δ2=0.02 每步停留时间:0.4s,测量范围:2=20-80 （扫描全程需要时间: 0.4(80-20)/0.02 = 20分钟） X 光管 固定
衍射谱测量中，计算机屏幕显示的图形：
3- 测量结束后, 用分析软件读取原始文件
区间9：物相所有的衍射数据。包括面间距 d值, 相对强度 I/I1值, 和衍射指数hkl。
区间10：卡片号码。号码由中间用横线分 开的两组数据组成，前一个数据为卡片组 号，后一个数据为同一组卡片的序号。如 5 - 628表示第 5 组中的第 628 号卡片。
10

PDF卡片电子版：
物相定性分析的基本步骤
1、衍射峰2θ角的测量
测定它们的2θ位置可有多种方法：
A、峰顶法：
B、交点法：
C、中点法：
2、衍射强度的测量
绝对强度：由定标器所测得的计数率，单位为cps， 即每秒多少个计数。 相对强度：以最强峰的强度作为100，然后与其他各 个衍射峰进行对比计算。 衍射峰强度的测量方法有各种不同方法：
A、峰高强度：以减去背景后的峰顶 高度代表整个衍射峰的强度。 在一般的物相定性分析工作中，多采 用峰高强度。
区间6：样品来源、制备方式及化学分析数 据等，其中标出热处理、照相或扫描的温 度。
区间7：物相的化学式和名称。 区间8：物相的矿物名。本区右上角为表示卡片 数据可靠程度的符号，其中 — 数据有较高的可靠性； i — 数据可靠性稍差，表示资料经过指标化， 强度是估计的，准确性不如星号； 无符号 — 数据可靠性一般 O — 数据可靠性较差。
• 衍射仪测量具有方便、快速、准确等优点。
（1）衍射仪的主要组成
X射线衍射仪的主要组成部分有X射线发生器、 测角仪、强度测量记录系统、高压电源系统等。 除主要组成部分外，现代X射线衍射仪还包括控 制操作和运行软件的计算机系统、打印系统等。 测角仪是核心部件 强度测量和记录系统包括：探测器、定标器、计 数率仪等。
区间4：物相的结晶学数据, 其中
Sys. — 晶系; S. G. — 空间群符号； a0、b0、c0 — 晶胞轴长； A、C — 轴率，A = a0/b0，C = c0/b0 、 、 — 轴角; Z — 单位晶胞内“分子”数； Dx — 计算的密度; Ref．— 该区数据来源。
区间5：物相的光学及其他物理性质，其中
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PDF卡的内容分述如下: 区间la、1b、1c：低角度区(2<90°) 的 三条最强线的面间距d值。1d是该物相最大 的d值。 区间2a、2b、2c、2d：对应上述四条衍 射线以百分制表示时的相对强度值。
区间3：衍射分析时的实验条件, 其中
Rad．— X射线源的种类，如Cu K — X射线波长，Å； Filter — 滤波片名称； Dia. — 圆筒相机内径； Cut off — 所用仪器能测得的最大面间距； I/I1 — 测量相对强度所用的方法； 如, Diffractometer代表衍射仪法； Ref．—该区数据来源。
2
实验中，样品每 转动度，则计数 管转动2度， 保证计数管始终 位于与入射方向成 2角方位。 一旦2满足布拉 格方程，衍射线将 被计数管接收。
X射线衍射图
衍射图的构成： 横坐标：2θ 纵坐标：I 衍射曲线：衍射峰 基线 衍射图分析：确定衍射峰位置2θ 确定衍射强度 I
粉末衍射图谱可提供的信息
8. 调出PDF卡片，打印后，峰一一对照
买了一瓶据称Li4SiO4的药品，贴有‘硅酸锂”标 签 其X射线粉末 (a) 这是Li4SiO4吗? 图示于图(a)， 图(b)到(e)列有 (b) Li2SiO3 三种标准硅酸锂 物相以及石英的 (c) Li4SiO4 粉末图。 可见：瓶中装 (d) Li2Si2O5 的主要是Li2SiO3 和少量石英，并 (e) 石英, SiO2 没有预期的 Li4SiO4物相。
2）阶梯扫描方式 或步进扫描方式
让探测器以一定的角度间隔（步 长）逐步移动。结果获得两两相 隔一个步长的各2角对应的衍 射强度。 优点：无滞后效应，平滑效应， 峰位准，分辨力好。 缺点：时间长。
3、衍射数据的测量
强度分布图上，每一条衍射线都表现为一个高出背景 的衍射峰。它一般具有一定的宽度且两边往往不对称 或不完全对称。
（1） 制备粉末样品,获得衍射花样 最常用衍射仪法。 实验条件如下： ① 消除K线 (使用石墨单色器)； ②Байду номын сангаас测量范围：2<90的全部K衍射线； ③ 利用连续扫描方式； ④ x光管尽可能用到大功率。
物相定性分析的基本步骤
（2） 计算面间距d值和测定相对强度I/I1 (I1为最强线的强度) 分析以2<90的衍射线为主， 2测 量精度要达到0.01，d 值计算到0.001位 有效数字。衍射强度取相对强度。 （3） 检索PDF卡片 先进行单相分析,不成功则进行多相 分析 （4） 最后判定存在的物相。
对TiO2薄膜进行 Pd和Pt掺杂后， XRD峰无明显变化 说明掺杂对TiO2 薄膜的锐钛矿型晶 相结构没有影响， 也没有发现掺杂 剂的衍射峰， 说明掺杂剂在薄 膜中以高分散态存 在。
TiO2多形体
TiO2有三种变体：锐钛矿，板钛矿，金红石。 三种结构中都存在TiO6 八面体， 但是，金红石中TiO6 八面体共两条边， 板钛矿中八面体共三条边，锐钛矿中八面体共 四条边。因此，金红石最稳定，锐钛矿和板钛矿 在加热中可转变成金红石。
取代固溶体 ( A1-x Bx )
2.761
(a)SrTiO3的XRD谱
2.703
(d)CaTiO3的XRD谱
2.704 2.761
(b)SrTiO3为主晶相的SrTiO3-CaTiO3 系固溶体的XRD谱
(c) SrTiO3 - CaTiO3机 械混合物的XRD谱
2.753
例：图a为SrTiO3的XRD谱， 图b为以SrTiO3为主晶相的SrTiO3-CaTiO3 系固溶体的XRD谱， 图c为SrTiO3-CaTiO3机械混合物XRD谱， 图d 为CaTiO3的XRD谱。 可见: SrTiO3-CaTiO3系固溶体的XRD谱 图与SrTiO3的XRD谱图相似，由于CaTiO3的 加入使峰值、峰形稍有变化。 而混合物的衍射图则是由SrTiO3和 CaTiO3的衍射图叠加而成的，这两种物相 各自的衍射峰清晰可辨。
、n、 — 折射率［n为立方晶系的折射率 ； 、 为四方、三方、六方晶系的平行光轴和 垂直光轴的两个折射率； 、 、 为三斜、单 斜、正交晶系的三个主折射率（a＜ ＜）］ Sign — 光性符号；2V — 光轴角； D — 实测密度；mp — 熔点；Color — 颜色； Ref．— 该区数据来源。
§4
X射线衍射方法及应用
劳厄法
照相法
转晶法 魏森堡法……
单晶体衍射方法
四圆衍射仪法
多晶体衍射方法 粉末照相法 粉末衍射仪法