24
粒形
MM1000 MM3000 MM7000 MM9000
載體
4%過錳 活性碳 酸鉀
活性鋁
10%磷 酸
活性碳
5-10%氫 氧化鉀
活性碳
密度 0.8
0.5
0.8
0.55
壓損50 1“
fpm/1ft bed
1.7
1.8
可编辑ppt
1.7
25
不織布包覆型
853
147
875
•Wafer and stepper optics hazing
PHOTO
•High contact resistance
QA
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15
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16
不能解答的問題
那一個製程的風險最大 晶片在這個製程的那一個步驟有風險 需要多長時間影響污染的風險 那一個濃度AMC會影響何製程的何步驟
清淨室物質的outgasing 人員：氨、硫化物 災害：溢出的化學物質 外部空氣： 循環空氣：
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4
SEMI F21-95 分類
Acid Base Condensable Dopant
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5
ACID
一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子 接受者
HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ Nitric Acid ）硝酸、H3PO4 （Phosphoric Acid）磷酸…
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17
比較AMC 與Particle(class 1)
尺寸
AMC 3nm
Particle 100nm
數量
3x 1013/m3
29 /m3
質量
5ng/m3
1pg/m3
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18
分子性污染 - I
化學性污染 – 非粒子 – 氣相污染 把分子視為比細塵小數十倍至數百倍數
千倍的粒子 物理性質：數量大、重量輕、擴散 化學性質：有能力與他種化學物質反應
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12
無塵室濃度 - Dopant
Contaminant Concentration Range (ppt)
Boric Acid Phosphorous Arsine
ND ND ND
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200k 5k
<50k
13
AMC之影響
T-topping of resist by organic bases
22
比較
揮發性有機物 臭氧 二氧化氮 酸 HCl, HF, 氯 硫化氫 二氧化硫 有機硫 硝酸
Carbon 8 10 6 0 1 7 5 6
可编辑ppt
KMNO4 2 2 4 0 8 8 8 6
KOH 6 10 9 8 10 9 9 9
23
濾材的種類
顆粒型 植入不織布型 不織布包覆型
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8
無塵室濃度 - BASE
Contaminant Concentration Range (ppt)
Ammonia NMP
10k 20k
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200k 300k
9
CONDENSABLE
一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣 壓力下可凝結於清潔表面
Hydrocarbons VOC、 DOP
產生不同的東西
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19
作用的方式
吸附－污染物與吸附體間的物理作用力。 活性碳、Silica Gel、活性鋁（氧化鋁）
反應－污染物與吸附體間產生化學反應 產生不揮發性物質。活性碳、活性鋁為 基質化學吸附劑-改質活性碳
Hale Waihona Puke 可编辑ppt20改質活性碳
一些小分子化學物質如HF、NH4+ 等活性 碳幾乎沒有辦法處理必須使用改質碳
Forms crusty surface on resist - ammonia
Defective epitaxial growth
Unintentional doping
Uneven oxide growth
Changes in surface properties, wettability, hydrophobization
•Etch rate shifts and corrosion
ETCH
•SiC formation following pre-oxidation clean DF
•Threshold voltage shifts
QA
•Nucleation irregularities (CVD)
TF
•High-efficiency particulate air (HEPA) filter degradation FE
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6
無塵室濃度 - ACID
Contaminant Concentration Range (ppt)
HF
40k
250k
HNO3 H3PO4 H2SO4
20k
250k
10k
400k
10k
300k
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7
BASE
一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子 提供者
Ammonia、NMP、Methylamine
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10
無塵室濃度 - CONDENSABLE
Contaminant Concentration Range (ppt)
Acetone
20k
250k
Toluene
10k
200k
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11
DOPANT
一化學元素會改變半導體原料的電性 Boron（硼）、Phosphours（磷）
Arsenic（砷）
改質活性碳是一種反應型
過錳酸鉀－約含 4% KMNO4-屬於萬用型， 但對含硫物質較佳
酸性－約含 10%磷酸，醋酸 鹼性－約含 5 – 10% 氫氧化鈉
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21
一些影響活性碳的因子
活性碳的顆粒大小 溫度 溼度 污染物本身的化學性質 影響吸附型的因子不一定會影響反應型
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CARBON FILTER
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1
內容
AMC的來源與分類 AMC之影響 濾材種類與形式 濾網種類 考慮事項 檢測與監測
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2
AMC : Airborne Molecular Contamination
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3
無塵室的AMC：來源
製程化學品、反應副產物
溶劑 酸 鹼
Corrosion
Decreased metal pad adhesion
Silicon Carbide formation
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14
AMC之影響 - I
Deep ultraviolet (DUV) photoresist T-topping PHOTO
•Uncontrolled boron or phosphorus doping DF