B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对 外界和人的污染。内部要保类(按气流可分为三类) ①.非单向流洁净室（乱流、涡流） ②.单向流洁净室（层流、活塞流） ③.复合流洁净室（乱流、层流同在）
非单向流洁净室(又称乱流式)
• 乱流式： 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)
进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型 式适用于洁净室等级千级--十万级。
•
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比
较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提
高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排
出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲 达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
单向流洁净室
• 单向流洁净室的分类 • 1 、垂直单向流洁净室 • 顶棚满布高效过滤器送风，全地板格栅回风这是
典型的垂直单向流洁净室，见图。 • 优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净
能力强，能够达到最高的洁净度级别。 • 缺点是：顶棚结构较复杂，造价和维护费用高，
高效过滤器堵漏较困难。
垂直单向流洁净室
非层流方式
• 非单向流洁净室原理主要特点：从来流到出流之间气 流的流通断面是变化的。
单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)
(1) 气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一 方向在整个室内截面下通过的洁净室。单向流洁 净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把 室内污染排向回风道。
(2) 要想实现“活塞流”的作用，最重要的是高效过 滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框，放 置高效过滤器也要有支架，不可能百分之百的满 布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定，垂直 流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净 室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
净化原理
净化过程：气流 →初效空气处理 →空气调节→ 中效 空气处理→ 风机加压送风→ 净化送风管道→ 高效 送风口→ 洁净室→ 带走尘埃（细菌） → 回风夹道 新风、初效空气处理。
洁净室的空气洁净度的三种状态： ●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行， 但无生产设备、材料及人员。 ●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并 按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。 ●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员 在场，并在商定的状况下进行工作。
• 1. 控制污染源，减少污染发生量； • 2. 迅速有效地排除室内已经发生的污染； • 3. 有效地阻止室外的污染侵入。（或有效
地防止室内污染逸至室外）
洁净室的分类
• 按用途分类(可分为两大类) • ①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空
气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。 ②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒 （尘埃）对工作对象的污染。 • 生物洁净室又可分为： • A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。 同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持 正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁 净室。
洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘浮之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。
洁净室控制微粒污染的主要途径：
洁净室管理培训
课程表
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洁净厂房的设计与组成
2 洁净室人员卫生与个人职责
3 洁净室耗材
4
LCD制造过程中废品图示
洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室。是 指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、细菌等之污染物排除，并将室 内之温度、洁净度、室内压力、气流速度 与气流分布、噪音振动及照明、静电控制 在某一需求范围内，而所给予特别设计之 房间。亦即是不论外在之空气条件如何变 化，其室内均能俱有维持原先所设定要求 之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
的效果当然越好。非单向流洁净室的原理就是稀释作用。
• 2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把 室内污染逐渐排出，来实现洁净（乱流洁净室一般设计在 千级以上至10万级净化级别）。
• 3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换 气次数决定净化级别（换气次数越多，净化级别越高）
非单向流洁净室
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离， 以避免机器维修时影响了工作及品质
•
(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净
化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及
发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，
可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
垂直层流方式
单向流洁净室
• 2、水平单向流洁净室 • （1）送风墙满布高效过滤器水平送风，全
墙面回风 • （2）“隧道”式单向流送风
水平单向流洁净室
水平层流方式
单向流洁净室的原理
• 1、在单向流洁净室内，干净气流不是一股或 几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不 是靠掺混作用，而是靠推出作用将室内脏空气 沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气 的目的。
非单向流洁净室的原理和特性
1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度、不 平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。当一股干净气流从 送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不 多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室 内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了， 一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释
• 2、主要特点 • （1）全室断面上的流速比较均匀。
（2）至少在工作区内流线平行。流线平行指 时均流线彼此平行。 （3）至少在工作区内没有涡流。
复合式洁净室
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局 部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以过滤器将制程区域或工作区域100%覆 盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。