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南京理工大学科技成果——CXM系列移相式数字波面干涉仪

南京理工大学科技成果——CXM系列移相式数字波
面干涉仪
成果简介:
CXM系列移相式数字波面干涉仪是光、机、电、算相结合,融硬、软件于一体的高精度、实时快速的智能化仪器。

有多种不同的型号,适应于不同的口径的光学元件的参数测试要求。

项目曾获国家科技进步二等奖,兵器工业总公司科技进步一等奖,江苏省科技进步二等奖。

技术指标:
孔径(mm):Φ30-600
准确度:P-V λ/12-λ/20,RMS λ/50
光源:激光
工作温度:20±0.5°C
变倍范围:1X~5X
数字化波面测试原理:采用国际上最先进的移相(PZT、激光波长调谐)干涉术原理;
光电自动控制:仪器的倍率、焦距和光强采用机电自动控制;强大的软件功能测试参数齐全。

1)可测试平面面形、棱镜的直角偏差、激光棒透射波前畸变、望远系统的波差等;
2)仪器配有系列标准球面镜头,相对孔径分别为1/0.7,1/1.5,1/3,1/5,1/7,1/11,用于测量不同相对孔径的球面面形、透镜系统;
3)给出波面的波像差(光程差),峰谷值(PV)、标准偏差(RMS);
4)给出Zernike多项式像差系数,光学系统的几何点列图、点扩散函数、调制传递函数。

项目水平:国际先进,成熟程度:产业化
合作方式:合作开发、专利许可、技术转让、技术入股。

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