1.0范围本标准准适用于正星光电科技有限公司生产的ITO 产品。

2.0规范性引用文件2.1 JIS B0601—1994表面微观波纹度测量过程和方法的标准。

2.2 GB2828—2003计数抽样检验程序[第一部分 按照接收质量限（AQL ）检索的逐批检验抽样计划]。

3.0玻璃基片的规格3.1 长度及宽度的允许偏差、厚度允许偏差表序号 检验项目 标准范围 测量方法 1长度/宽度±0.20mm 数显游标卡尺2厚度1.10mm ±0.1mm 0.70mm ±0.05mm0. 55mm ±0.05mm 0.4/0.33mm ±0.05mm千分尺 3垂直度≤0.10%宽座角尺和塞尺 3.2垂直度玻璃基片的垂直度的公差等级a/L ≤0.1%（见图1，a 为公差带，L 为被测玻璃基片的相应边长）。

图1 玻璃基片的垂直度3.3 弯曲度（h/L)图2 玻璃基片的弯曲度，不允许S 形弯曲3.4微观波纹度（玻璃的浮法锡面）微观表面波纹度的数值Rt 的最大值应符合表2要求序号 厚度 玻璃类型 弯曲度 微观波纹度11.10mm非强化≤0.10%≤0.15um/20mm 强化 ≤0.20% 20.70mm非强化≤0.15%≤0.20um/20mm强化 ≤0.25% 30.55mm非强化≤0.15%≤0.25um/20mm强化 ≤0.30% 40.4/033mm非强化≤0.15%≤0.30um/20mm强化≤0.30% 3.5磨边倒角:R 型边编号 项目 标准要求 检验方法1 C 型倒边0.05mm ≤W ≤0.4mm10倍放大镜 2 R 型倒边 宽度:0.1mm ≤W ≤1.0 曲半径: R ≤50mm 10倍放大镜 3标识角b=2.0±1.0mm10倍放大镜 bd*d浮法方向 切角磨边示意图 a0.3*45°C 型边c=5.0±1.0mm4 相同角A=1.5±0.5mm10倍放大镜5 崩边长≤1mm,宽≤0.3mm深度≤1/2基片厚度10倍放大镜6 破裂不允许目测7 边、角未磨不允许目测3.6表面质量包括内部气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。

点状缺陷的直径d定义为：d=（L+W）/2，见图5。

划伤缺陷的定义为：L 3mm,W 0.03-0.07mm见图6：图5点状缺陷的尺寸图6划伤图形的尺寸3.6.1双面ITO产品表面质量检验标准No 缺陷分类A品标准范围B品测量方法1 内部气泡、杂质点、针眼、污点、锡斑、亮点、表面凹凸点、颗粒d=(W+L)/2d≤0.05mm不计0.05<d≤0.20mm最多2个/片d>0.20mm不允许D≤0.2mm,10个/片,允许;D>0.2mm,不允许.裸眼≥1000LUX（30W日光灯）光照条件距离玻璃30cm（注：客户有特别要求的，以客户要求为准）2 玻筋日光灯下不可见3 划伤宽度W≤0.03mm,不计;0.03mm≤W≤0.07mm,单个长度≤3mm,1条/片允许;W>0.07mm,不允许.W≤1mm,单个长度≤100mm,1条/片允许.单个长度≤50mm,2条/片允许.单个长度≤10mm,5条/片允许.单个长度≤5mm,不计.间隔距离100mm以上W>1mm,不允许.4 污染使用专用清洗剂经过正常清洗过程后清洗不干净的沾污不允许5 膜层针孔d=(L+W)/2d≤0.05mm不计0.05<d≤0.20mm 最多2个/片d>0.20mm不允许d≤0.05mm不计0.05<d≤0.20mm 最多10个/片d>0.20mm不允许6毛边.锡斑.发霉批量性.表面看比较明显不允许7 手指印超出边缘5mm，批量性可擦拭不允许8亮道划伤.污渍.手指印.轮印偶尔1-2片日光灯不可见允许，批量性日光灯不可见不允许。

9 颜色日光灯检验有异色不允许10 漏镀ITO 不允许11 裂纹不允许12 结疤不允许13 玻璃屑不允许14 粘附力不允许15 质量保证区允许边缘5mm质量保证区域以外,即四周边缘5mm以内区域除崩边角,裂纹、毛边较严重以外的其他种类缺陷(包括划伤、气泡、针眼、污渍、节疤)可以不考虑。

离玻璃30cm检验图6 检验方法3.7膜层质量3.7.1电阻测试:距边缘20mm用四探针检测面电阻.3.7.2镀ITO导电玻璃膜层参数指标高温产品检验标准产品规格电阻范围Ω/□透过率刻蚀时间膜厚颜色HTP500Ω400～500 ≥94% ≤20S 120 ?±30? 淡紫红-淡蓝色XY TP500Ω400～500 ≥90% ≤20S 120 ?±30? 无色透明XY双面ITO 正面60～120,反面180-300 ≥87% ≤30S 正面:250 ?±50?反面:150 ?±50?无色透明XY双面ITO 正面80～120,反面200-300 ≥87% ≤30S 正面:250 ?±50?反面:150 ?±50?无色透明TP500Ω400～500 ≥90% ≤20S 120 ?±30? 无色透明TP400Ω350～450 ≥90% ≤20S 120 ?±30? 无色透明150Ω100～150 ≥87% ≤20S 220 ?±50? 无色透明100Ω80～100 ≥87% ≤30S 250 ?±50? 无色透明90Ω70～90 ≥87% ≤30S 250 ?±50? 无色透明80Ω60～80 ≥86% ≤40S 300 ?±50? 无色透明60Ω40～60 ≥84% ≤60S 350 ?±50? 无色透明50Ω40～50 ≥82% ≤60S 450 ?±50? 无色透明40Ω30～40 ≥82% ≤60S 500 ?±100? 无色透明30Ω25～30 ≥81% ≤100S 700 ?±100? 无色透明25Ω20～25 ≥80% ≤120S 800 ?±100? 无色透明20Ω15～20 ≥80% ≤140S 900 ?±150? 无色透明17Ω13～17 ≥82% ≤140S 1100 ?±150? 淡黄色-金黄色15Ω10～15 ≥82% ≤180S 1250 ?±200? 淡紫红-紫红色10Ω7～10 ≥82% ≤250S 1800 ?±200? 青蓝色7Ω4～7 ≥77% ≤300S 2500?±200? 紫红色5Ω3～5 ≥78% ≤350S 3100 ?±400? 绿色低温产品检验标准产品规格电阻范围Ω/□透过率刻蚀时间膜厚热稳TFT≤1000Ω500-700 ≥97% ≤20S 120±50? 120℃烤1H≤110% 150Ω100-150 ≥87% ≤30S 250±50? 150℃烤1H≤110% 120Ω80-120 ≥87% ≤30S 300±50? 150℃烤1H≤110% 100Ω80-100 ≥87% ≤30S 300±50? 150℃烤1H≤110%90Ω70-90 ≥87% ≤35S 300±50? 150℃烤1H≤110% 80Ω60-80 ≥86% ≤40S 350±50? 150℃烤1H≤110% 70Ω50-70 ≥86% ≤60S 400±100? 150℃烤1H≤110% 80Ω40-80 ≥86% ≤60S 400±100? 150℃烤1H≤110% 60Ω40-60 ≥84% ≤65S 400±100? 150℃烤1H≤110% 50Ω40-50 ≥84% ≤65S 450±100? 150℃烤1H≤110% 40Ω30-40 ≥82% ≤70S 600±200? 150℃烤1H≤110% 30Ω20-30 ≥81% ≤105S 800±200? 150℃烤1H≤110% 15Ω15 ≥80% ≤210S 1500±500? 150℃烤1H≤110%3.8可靠性实验3.8.1 ITO膜层可靠性实验序号实验项目测试标准范围检验方法1 刻蚀时间≤10A/秒刻蚀液成分：HCL：H2O：HNO3=50：50：3，刻蚀温度：55±2℃2 热稳定性Rt/R0≤300% 条件：烤烘温度300℃ 30min(TN/STN)Rt/R0≤110% 高温ITO条件：烤烘温度180℃ 60min(TP/HTP)Rt/R0≤110% 低温ITO(OGS)条件：烤烘温度150℃ 60min(XY)3 耐碱性Rt/R0≤110% 10%NaOH 60℃ 5min4 耐酸性Rt/R0≤110% 6%HCL，25℃ 2min5 耐溶剂性Rt/R0≤110% IPA、丙酮或酒精25℃ 5min6 附着性无掉膜使用百格刀在基板上划1*1mm方格，用3M 610#胶带粘玻璃7 耐磨性无开路用橡皮1公斤力摩擦玻璃1000次8 耐湿性Rt/R0≤110% 60℃，90%RH，48H9 水煮膜层无开裂及脱落纯水100℃时间 24HNa+≤15ug/dm2, 纯水96±2℃ 48H(LCD产品)备注：R0为实验前电阻，Rt为实验后电阻3.9 检测方法操作3.9.1SiO2阻挡性能水煮试验(用于LCD产品,只做半年频次检测)在96±2℃进行48小时水浴锅,将试验溶液装好送外检测,测量基片中迁移出来的钠离子质量,若 Na+质量M≤15ug/dm2,则SiO2阻挡层试验合格.3.9.2 光学性能在波长为550nm时，不同规格ITO玻璃成品的透过率满足3.7.2。

3.9.3 SiO2膜层厚度SiO2膜层厚度为250?±50?。

（也可根据客户要求而订）3.9.4 电学性能(做日频次检验)不同规格ITO导电膜玻璃的方块电阻及ITO膜层膜厚应符合3.7.2。

3.9.5 蚀刻性能测试(做日频次检验)a)酸刻液配制:酸刻液按如下比例配置: H2O:HCL:HNO3=50:50:3(体积比),实际按纯水100ML:盐酸(36%)100ML:硝酸6ML配制;将此刻蚀液入刻蚀烧杯内,保持温度为55℃±2℃b)将玻璃片切成约40mmX120mm长条状,用D水清洗,冲洗、吹干后，放入刻蚀液中蚀刻;产品的蚀刻时间测定按3.7.2执行,产品在规定的时间全部刻蚀掉ITO膜层,说明该产品ITO膜层酸刻指标合格.c)不同规格的ITO导电膜玻璃经上面酸刻试验,ITO导电膜层在刻蚀性能上满足3.7.2要求;则刻蚀性能指标为合格。