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化学品安全
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三好四会五熟悉
• 三好：使用好、管理好、维护好
• 四会：会操作、会保养、会检查日常故障原因、 会排除日常故障
• 五熟悉：1、熟悉设备的开关、按钮和控制屏的功能及使用。 2、熟悉设备的加工范围。 3、熟悉设备的加工精度。 4、熟悉设备的润滑方式。 5、熟悉设备的组织结构及性能。
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10.懂得各《操作记录》及《工序流程卡》的正确填写，确保生 产过程中的统计准确。
11. 与其他班组成员交接时，要做到清楚、快速、全面使他人 顺利投入工作。
12. 能发现生产过程中的各种问题，并及时向上级汇报争取在 第一时间内解决问题。 13.与组员团结协作，空闲时帮助其他组员完成工作，共 有意义的工作环境。 创
2. 首先询问工艺去膜用的HF配液量。
3. 合理利用时间：首先将绒面色斑不用去膜先制绒再将镀膜后 的去膜（因为镀膜后的去膜时间短200S减少制绒等待时间）
4. 镀膜的返工片去膜时间较长,装片前应将镀膜发黄和发红的返 工片单独挑出，最后一起投入。
5. 制绒注意：刚配的制绒液最容易引起漂片现象，制绒过程中 制绒温度不要过高，返工片有手指印是正常的。
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酸洗的目的及原理
HF: 去除硅片表面的硅酸钠以及氧化物。
主要反应方程式： SiO2 + 6HF → H2[SiF6] + 2H2O
HCL: 去除硅片表面的金属离子。
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岗位工艺控制点
清洗间的质量控制点：来料检验、减薄量、绒面
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返工片制作方法
1. 装片人员插返工片前将镀膜前、镀膜后制绒色斑分开放置。
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人员定岗安排
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岗位不安全因素
•制绒人员在制绒槽内拿取硅片时被槽内化学品灼伤。 •制绒人员将观察绒面的硅片放入水槽时易被机械手撞伤 •下料门易将手夹伤 •下料时小推车上放置硅片较多
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岗位SOP标准作业
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岗位5S
整理：把无用的物品清理掉。 整顿：不断调整现有物品，使之精干有用。 清扫：使废物清除，环境物品整洁。 清洁：巩固清扫成果。 素养：以自身的文明行为和内在气质提升自己影响他人
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异丙醇对制绒的影响
•协助氢气泡的释放，及时将杂质脱离硅片表面
•可以减弱氢氧化钠对硅片的腐蚀力度
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控制绒面的质量方法
•合理的控制好时间、温度、浓度。 •做好减薄量记录根据减薄量及时调节制绒液的浓度配比。 •同时到电脑显微镜下观察绒面大小根据显微镜照片大小， 熟练调节制绒液的浓度配比。 •对生产不同厂家的硅片做出笔记总结经验。 •生产过程中要求2000片测一次减薄量。
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10.懂得各《操作记录》及《工序流程卡》的正确填写，确保生 产过程中的统计准确。 11. 与其他班组成员交接时，要做到清楚、快速、全面使他人 顺利投入工作。 12. 能发现生产过程中的各种问题，并及时向上级汇报争取在 第一时间内解决问题。 13.与组员团结协作，空闲时帮助其他组员完成工作，共 有意义的工作环境。 创
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在制品的控制
单晶制绒每条线每个班的产量是16000PCS，在制品的上 下限，是5张流程卡，但如有特殊情况除外（结批或生产 过程中遇到的异常）
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•制绒岗位职责
1.掌握清洗间工艺流程、日常生产操作、设备工夹具的使用。 2.了解清洗间使用的各种原辅料的特性（包括：硅片、HF、HCL、 硅酸钠），做到能正确辨别、正确使用。 3.懂得各种溶液的配比及生产过程中的 正确防护。
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5S
整理：把无用的物品清环境物品整洁。 清洁：巩固清扫成果。 素养：以自身的文明行为和内在气质提升自己影响他人
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Q&A Thank you !
单晶制绒
目录
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单晶制绒所使用的化学品种类 单晶制绒的目的和原理 化学品对制绒的影响 控制绒面的质量方法 酸洗的目的及原理
岗位工艺控制点及质量控制内容
返工片的制作方法 在制品的控制 制绒岗位职责 人员定岗安排 岗位不安全因素 岗位SOP标准作业
岗位化学品安全
岗位5S
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单晶制绒所使用的化学品种类
4.懂得绒面的制作及绒面质量优劣的判别。
5. 按照工艺的要求定期更换酸洗用的化学溶液，并做好 换液记录。 6. 了解清洗制绒机各种工艺参数及相关设备的运行参数并 能准确进行稳定掌控。 7. 严格控制生产过程中的污染源,每天对设备进行清洁 8. 对运行中的设备进行严密监视。 9. 保证送入扩散间的硅片、物卡一致，而且要 及时准确。
氢氧化钠 异丙醇 NAOH IPA
硅酸钠
氢氟酸 盐酸
Na2SiO3
HF HCL
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单晶制绒的目的及原理
在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌 ，减少光的反射 率。
2NaOH + Si + H2O→Na2SiO3 + 2H2 ↑
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化学品对制绒的影响
氢氧化钠浓度对绒面的影响：
• 经过相同时间的生长，氢氧化钠的浓度越高，晶字塔的体积越大 • 当制绒溶液中氢氧化钠的浓度超过了一定的界限，溶液的腐蚀力 度过强，绒面会越来越差，直至出现类似“抛光“的效果 • 氢氧化钠量的递增使得温度也不断的递增，导致氢氧化钠对硅片 的腐蚀过快，绒面控制不稳