扫描电镜技术
Techniques of Scanning Electron Microscope 一、扫描电镜的基本结构与成像原理 二、扫描电镜的特点 三、扫描电镜的生物样品制备技术 （一）样品的常规制备方法 （二）特殊样品的制备方法
扫描电镜技术
扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM） 是继光镜和透射电镜之后发展起来的一种 电镜，用于观察物质表面及断面的三维形 貌 结 构 和 进 行 微 区 成 分 分 析 。
样品制备简单。 可结合元素分析。

三、扫描电镜生物样品制备技术
（一）样品的常规制备方法
取材 → 清洗 → 固定 → 清洗 →脱水 →干燥 → 金属镀膜 → SEM观察
1、取样
取样部位要准确。 取样大小要适当：常为≤1cm3。 取样操作要轻巧快捷：取样要快，严防对

样品的挤压损伤，以使样品更近于活体状态。

（2）干燥的方法
4）临界点干燥法
① 临界点干燥的原理（图3-2）
图3-2 临界点干燥原理图
临界点干燥的原理之小结
临界状态的条件：密闭容器中的液体加热达到一定 的温度（临界温度）。 临界状态的特性：气、液密度相等，相界消失；液 体变成气体，液体的表面张力消失为零；无论施加 多大的压力，气体不会变成液体。 临界点干燥：利用临界状态下液体表面张力被消除 的特性，使样品中的液体气化而最后完全干燥。
图1-1 扫描电镜工作原理图
（３）电子偏转系统（扫描系统）
组成：扫描发生器、 扫描线圈。 作用：使镜筒和显 像管内的电子束分 别进行同步光栅状 扫描，最后在显像 管的荧光屏上显示 出完整图象。

图1-1 扫描电镜工作原理图
2次电子成像原理


∵ 二次电子产率主要取决于电 子束的入射角，而入射角又主 要取决于样品的倾斜程度。 ∴ 样品的倾斜角效应是影响图 象反差的主要因素。 ∴ SEM图象的反差主要是由样 品表面的凹凸状态决定的，越 是凸出的部位产生二次电子的 数量越多，图象越明亮，反之 则较暗。
图1-2 样品倾斜对二次电子产率的影响
2、影响图象形成的因素

样品的基底部应切割平整（以便于样品 粘贴），观察面应作好识别标记。
2、清洗
（1）清洗的目的： 充分暴露样品观察面的表面特征。 （2）清洗液的选择 常规洗液——生理盐水、PBS等缓冲液； 特殊洗液——低浓度的蛋白水解酶或乙醇等，用于表面覆 盖着大量蛋白或脂类黏液的样品（如胃、肠黏膜及乳腺组织 等）的初级清洗。 （3）清洗的方法 浸泡清洗。 震荡清洗：一些粘着杂质多而紧密的样品（如胃、肠黏膜 等），可利用震荡器进行震荡清洗。 离心清洗：游离细胞、微生物及其它微小生物样品的清洗。 （4）清洗的要求 样品要清洗干净：换液数次，可在解剖镜下检查，直至干净， 以充分暴露表面特征。
③ 临界点干燥器的主要结构（图3-3 ）
图3-3 HCP-2型临界点干燥器
④ 临界点干燥的操作程序
取样
固定
脱水
醋酸异戊酯
(15~30 min或过夜）
样品入室 ( 0~10℃ )
注入液体CO2
(0~10℃)
置换
气化
放气取样
( 35~40℃ ) (30 min)
(15~20℃) (35~40℃) (10~20 min) (5~10 min)
图3-4
临界点干燥过程
6、粘样（样品的粘贴）
（1）目的：将样品粘牢在样品台上。 （2）粘样材料 双面胶带：用于粘贴基底部平整或颗粒 状的样品。 导电胶：是银粉拌在低电阻树脂内制成的 糊状物，用于粘贴基底部不平 整的样品。
7、金属镀膜
在样品表面喷镀一层厚约3~30nm的金属薄膜。 （1）镀膜的目的 ① 提高样品表面的导电性。 ② 提高二次电子发射率。 ③ 减少电子束对样品的损伤。 （2）镀膜材料的选择 金、铂、金/铂合金、铂/钯合金。 （3）镀膜的方法 目前常用离子溅射法镀膜。
7、金属镀膜
1）离子溅射法
① 离子溅射仪的主要结构
② 离子溅射镀膜的原理 辉光放电 → 离子溅射 → 漫散射镀膜 ③ 镀膜厚度的控制： 溅射时间的选择
图3-6 离子溅射仪及原理图
8、电镜观察
（二）特殊样品的常规制备方法
1、游离细胞的制样方法 （1）将盖玻片洗净灭菌，样品面做标记； （2）将盖玻片垂直浸入热溶的2~5%明胶后即刻垂 直取出，用滤纸吸去边缘多余的明胶； （3）将盖玻片的样品面朝上平放在滤纸上，于 37℃干燥箱烘干后备用； （4）在盖玻片样品面上滴1~2滴细胞悬浮液，静置 20min左右，用滤纸吸去表面残存的悬浮液。 （5）用2%戊二醛固定30min，PBS清洗3次。 （6）常规方法脱水、临界点干燥、粘样和镀膜。
一、扫描电镜的基本结构 与成像原理
1、 SEM基本结构及其作用
（１）电子光学系统
电子枪：阴极、阳极、栅极。
阴极—通电加热后产生电子束。 阳极—加速电子束。 栅极—控制和会聚电子束流 。
电磁透镜： 会聚电子束，形
成直径5~10纳米的电子束（即电 子探针），照射于样品上 。
图1-1 扫描电镜工作原理图
（２）检测系统
①二次电子的来源及作用 在样品表面以下几纳米到几十纳米的区 域，被入射电子（初级电子、一次电子） 所激发出来的样品原子中的外层电子， 称谓二次电子（次级电子）。 SEM通常是由二次电子所形成的图象来 显示生物样品的表面形貌。
（２）检测系统
② 二次电子检测系统 的组成及作用 组成：检测器（二次 电子探头）、光电倍 增管、视频放大器。 作用：对二次电子进 行收集、放大和处理， 以调制显像管栅极电 压并成象。
SEM样品的常规制备方法
小
结
1、SEM样品的常规制备步骤 取材 →清洗 → 固定 → 清洗 → 脱水 → 中间液替代脱水剂 → 临界点干燥 → 粘样 → （金属）镀膜 → SEM观察
2、SEM样品制备的基本要求与原则 （1）样品观察面要处理干净，以充分暴露表 面特征； （2）保护样品观察面，以保持原状不变形； （3）样品要彻底干燥，以保护镜筒的高真空 和样品的形态结构； （4）样品要作导电处理，以减少充放电效应 和提高二次电子发射率。

② 临界干燥液的选择——置换液与中间液
置换液：在临界点干燥器内起临界干燥 作用的液体称为置换液(表2)。 某些液体的临界特性 名 称 水 乙醇 氟里昂 374 243 28.9 临界温度(℃) 38 临界压力(kg/cm2) 218.5 63 表2
液体CO2 31.5 72.8
中间液：醋酸异戊酯
图1-4
血细胞充放电效应图例
二、扫描电镜的特点
（一） 图 谱
（二）扫描电镜的特点
观察表面形貌。 图象景深大，富有立体感。 放大范围广，分辨率较高：放大倍数为数

10倍~数10万倍；分辨率取决于电子探针的直 径，一般为5~10 nm。 可观察块状样品： 0.5~10cm3。
5、干燥
（1）干燥的目的 彻底去除样品中的脱水剂，使样品干 燥，以保护镜筒高真空和样品不变形。
（2）干燥的方法
1）空气干燥法 2）真空干燥法 3）冷冻干燥法 4）临界点干燥法

（2）干燥的方法
1）空气干燥法 方法：把样品放在空气中，让其中的脱水 剂自然挥发掉，以达到干燥的目的。 特点：脱水剂存在的低表面张力，仍使许 多样品发生变形或收缩，故本法是 在缺乏其他条件下不得已采用的干 燥方法。
4、脱水
（1）脱水的目的 用低表面张力且易挥发的有机溶剂（乙 醇、丙酮等）取代组织细胞中的游离水，使 样品在后续干燥处理时的表面张力减少。
表1 几种液体的表面张力 单位：达因/cm 水
70.61 (20℃）
液 体 乙醇 丙酮 表面张力 16.49（20℃） 2 1.16（40℃）
（2）脱水的方法 PBS清洗3次，5~10min/ 次→ 乙醇梯度脱水到 纯乙醇，5~30min/级。 （3）脱水的要求 脱水要彻底； 严防发生空气干燥：在换液过程中，要始终保 持样品润湿，以免因表面张力变化而造成样品 的皱缩、塌陷或变形。
复习题
1、扫描电镜的特点 2、临界点干燥的原理 3、金属镀膜的目的 4、 SEM样品的常规制备步骤 5、 SEM样品制备的基本要求与原则


（2）干燥的方法
2）真空干燥法 方法：在真空的条件下使样品中的脱水剂 挥发掉。 特点：效果与空气干燥时相同，仅是干燥 的速度较快。
（2）干燥的方法
3）冷冻干燥法
图3-1 冷冻干燥法技术流程
特点：在干燥过程中由于不形成液-气界面， 所以由表面张力引起的样品变形和损 伤大为减少，因此干燥效果较好。 缺点：冷冻过程有可能形成冰晶损伤。
（2）原子序数效应 原子序数效应：样品内原子序数不同的元 素，在图象上也会形成一定的亮度差异， 这种现象称为原子序数效应。 对策：观察生物样品时，在样品表面喷镀 一层原子序数高的金属膜，可提高图象质 量。
2、影响图象形成的因素
（3）充放电效应




充电：当初级电子轰击干燥的生物 样品表面时，会因其导电性能差而 发生电荷积累的充电现象，并对随 后到来的初级电子产生排斥，使电 子散开，且导致二次电子发射轨迹 偏斜或杂乱。 放电：轰击区内电子堆积，与邻近 区域间产生电位差，则可产生放电 打火现象。 充放电效应：上述充、放电状况造 成图象忽明忽暗或模糊不清等现象， 称为充放电效应。 对策：采用金属镀膜、导电胶粘贴 样品等导电处理，可减少充放电效 应的影响。
3、固定
（1）固定的目的 保留样品的微细结构和外部形貌，使其更近于生活状 态。 使组织硬化，以增强样品在随后的干燥过程中耐受表 面张力变化的能力。 提高样品对镜筒内高真空和电子束轰击的耐受力。 （2）常用的固定剂 戊二醛：常用浓度为1~4%。 锇酸：一般用1~2%浓度。 （3）固定的方法 先用戊二醛固定1至几小时或更长，经缓冲液充分清 洗后，再用锇酸固定30~60分钟。