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Dessat Desktop STDF分析工具 使用手册

散列图是一个强大的工具,用来帮你发现不同测试项之间的相关性 设置同直方图类似,Dessat Desktop会自动帮你制作选中的每两个测试项之间的散裂土
Strong correlation
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
箱图 – 一个强大的统计分析工具
A E N G I N E E R I N G ST D F A N A LY S I S TO O L
Dessat Desktop 简介
Dessat Desktop 是一个半导体标准测试数据(STDF)工程即时分析软件。 下面列出了Dessat Desktop 的主要分析功能。 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 打开和解析二进制STDF文件,并能以表格的形式显示所有测试数据 编辑二进制STDF文件的头信息 计算所有测试项的统计特性(如 均值,方差,过程能力CPK) 用柏拉图(Pareto)的图表显示主要失效项 创建常用统计分析图标(如直方图,趋势图,相关性分析图,箱图等) 创建晶圆地图(Wafer Map), 包括文本形式和有颜色的网页形式 STDF文件的拆分,合并和修复 强大的分组功能可以让你在不同因素之间分析共性和相关性
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
表格形式展示测试原始数据(每个测试项的读数)
你可以切换到 Raw Data Table选项卡来查看测试原始数据. 你可以点击 和 来隐藏和显示额为的列.
你也可以通过切换程序名的下来框来切换原始数据表 (不同程序的数据存储于不同的结构中)
备注: STDF是半导体测试业界一种标准的测试数据格式 Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
目录
1. 2. 3. 打开STDF文件 • 在解析之前编辑STDF文件列表 • 编辑MIR头信息 开始解析 • 停止解析 在Dessat Desktop里面查看解析出来的数据 • 查看汇总信息 • 查看原始数据(每一个测试项的读数) • 查看测试项的属性(上下限,单位等) 创建统计分析图表Statistical chart creation • 主要失效柏拉图 (Hardware Bin, Software Bin, Test) • 直方图 (可以在同一张图显示不同因素的分布) • 趋势图 (测试项读数在时域的变化趋势) • Scatter plot (显示两个不同测试项的相关性) • 箱图 (在数值域将不同因素之间的差异在同一张箱图上显示) • 计算所有测试项的统计参数 (均值,方差,过程能力) 非常好用的功能 • STDF 修复 • 按照晶圆来拆分和合并STDF • 从STDF导出文本的测试汇总信息 • 自定义的测试Bin报表 • 重建Bin信息(有些STDF文件没有Bin信息) 晶圆地图 (Wafer Map) • HTML晶圆地图和文本晶圆地图 • 测试参数晶圆分布图 • 晶圆叠片图
趋势图用来显示选定测试项的数据在时域里面的变化趋势,设置与直方图类似。如果你已经在做直方 图时选择过测试项,则在做趋势图时就不需要重新选择测试项了,除非你关注的测试项有变化。
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
散列图– 显示两个不同测试项之间的相关性
4.
5.
6.
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
打开 STDF 文件
你可以在工具栏点击图标 或者菜单栏 Menu->File->Open Files 来选择STDF文件打开
在弹出的窗口里面你可以按住 Ctrl 键来选择多个文件
文件选择窗
分组因子
图形自定义工具
柱子数量
原始数据筛选:
MIN-MAX IN-SPEC 3-SIGMA 4-SIGMA 5-SIGMAR 6-SIGMAR
测试项选择窗
显示上下限
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
原始数据筛选
原始数据筛选功能可以让你剔除异常数据,防止这些异常数据对你的分析 造成印象
Press Ctrl to select multiple files
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
编辑STDF文件列表
当你选中任何在列表内的STDF文件时,文件列表编辑工具就会被激活。你可以从列表中溢出文件,编 辑批次号或者修改STDF文件头信息。 LOT_ID单元格式唯一可以修改的,你可以按自己的意愿输入批次号,用来区分不同文件的用途和特性。 在后面的统计分析中,你可以按照你输入的信息分组。
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测试参数晶圆分布图 – Parametric Map
测试参数地图 (Parametric Map) 是一个芯片设计测试领域一个非常重要的工具,可以用来分析晶圆 厂流程工艺的工具。 点击 按钮之后,在弹出的测试项选择窗体里选择你要分析的测试项,软件会生成所有你选择的测 试项数值的晶圆分布图,然后保存到制定的目录。
测试项过程报告 Hbin 汇总
测试项属性参数
原始读数数据 注意: 在点击保存按钮之前,请先切换到相应的选项卡
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis To如果你的STDF文件里面不包含测试结果汇总信息,你将无法创建柏拉图, 也无法再表格里面查看汇总信息,这是你可以通过Dessat Desktop来重建 summary信息 -“Recover Site Bin Tool”. 通过菜单 Tool->Recover Site Bin 来调用他,然后你就可以获得测试结果 汇总,也可以按照工位来做其他分析。
箱图是一个常用的统计分析工具,可以把根据你的要求把不同因数的统计箱图在一张图上面显示出来, 以便于你查看不同因素之间的差异
显示组均值
显示箱图
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
保存图表
在你的分析中,在制作完相应的统计图表之后,只需要点击 的一个默认目录中, 你只需要把你需要的图形挑选出来即可。 (只用于所有图形分析,直方图, 柏拉图, 趋势图, 散列图, 箱图) 就可以保存图片到你的电脑本地盘
备注: 切换到第一个选项卡, 选中你想要修改的文件,点击 MIR图标
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
开始和停止解析
在你选好STDF文件之后, 点击 来启动解析 (软件会从二进制的STDF文件中读取数据并解析成自 己的数据格式,并用表格显示出来). 在解析过程中, 你可以随时点击 来停止解析(如果你需要的话).
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
谢谢
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
表格形式展示的测试项属性
Test limits table 选项卡将展示所有测试项的所有属性 (上下限,单位,测试项类型等)。不同程序的 测试项属性也分开存储于不同结构中
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
晶圆地图保存目录
在IE里面显示的HTML晶圆图
纯文本晶圆地图
可以保存为.mht格式,在其他 电脑上查看
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
测试项过程报告 – 每个测试项的统计属性
测试项过程报告时用来计算每个测试项的统计参数 (均值,方差和CPK) 你可以利用分组功能来按不同 因素计算,只需要点击两次鼠标即可. 这个工具在新品导入做跨机的时候非常有用. 只需要点击 就可以创建测试项过程报告,也可以切换到 “Test Capability Report”选项卡然 后点击 “Create” 按钮来创建.
在IE中显示的测试数值晶圆分布图
测试项选择窗
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
晶圆叠片图 – 多片晶圆测试结果的叠加
晶圆叠片图也是晶圆测试领域的一个非常重要的分析工具,把多片晶圆测试结果叠加起来,可以检验 是否在晶圆的某个区域有失效共性,可以用来分析晶圆厂的工艺。 打开多片晶圆的STDF文件,解析完成后只需要点击 表某个区域的失效次数。 就可以自动生成一个叠片的晶圆图,数值代
Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
以表格形式展示测试汇总信息(Summary)
切换到Summary选项卡,你可以看到以表格形式展示的测试汇总信息,汇总的Hardware Bin, Software Bin 和测试项失效信息都按照工位(Site)分开显示的。(有些STDF文件里面不包含summary 信息,这是你就需要通过 重建 工具来从原始数据中重新创建出汇总信息)
Min-Max
In-Spec
3-Sigma
MIN-MAX: 选择所有数据 In-Spec: 只选择上下限内的数据 3-Sigma: 选择3-Sigma 范围内的数据 …… Dessat Desktop – A Engineering STDF Analysis Tool
趋势图 – 数值在时域内的趋势
柏拉图 – 主要失效
柏拉图式一个非常重要的工具,可以让你一眼找到主要失效项. Hardware bin, software bin 和 测试项柏拉图 你可以根据不同因素来创建柏拉图进行相互对比 (例如 LOT_ID, SITE, TESTER_ID, etc) 你可以自定义图形的大小,柏拉图柱子数目和颜色来创建出丰富多彩的图形
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