记录编号: 检测状态 __ 静 态 检测人数 __ 环境湿度
报告日期
仪器状态 评定标准
i ≤级别界限
尘埃粒子数检测报告单 检测依据 GB/T 16292-2010
检测区域 ______ 洁净室区 ___
环境温度 ___________ _ 检测日期 ________________________ 设备型号 _________________________
结论:________________________________________________
检测者:______________ 复核者:____________ 质量管理部经理:
检测依据GB/T 16292-2010 检测状态______________ __ 静态 _____ ____________ 检测区域______ 万级洁净区___ _ 检测人数____________________________________ __ 环境温度____________ _ ℃相对湿度____________________________________________ %检测日期___________________________ 报告日期 __________________________________ 设备型号___________________________ 仪器状态 _________________________ _______
评定标准A i ≤级别界限
33 十万级,要求如下:≥ 0.5 μ m 粒子应≤ 350 万粒/m3、≥ 5μ m粒子应≤
20000 粒/m3 万级,要求如下:≥ 0.5μm 粒子应≤ 35万粒/m3、≥5μm粒子应≤
2000粒/m3 33 百级,要求如下:≥ 0.5 μm 粒子应≤ 3500 粒/m 、≥ 5μ m粒子应≤ 0 粒/m
结论:__________________________________________________________________________ 检测者:______________ 复核者:____________ 质量管理部经理:。