XXXXX公司
洁净室(区)尘埃粒子数测试记录
文件编号：XXX
检测编号：
被测单位
洁净级别
气流形式
测试状态
检测日期
测试依据
报告日期
测试仪器厂家及编号:
记录0.5μm、5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min；（单位:粒/m3）
洁净室/区
采
样
点
粒子
直径
C1
C2
C3
平均值A=C1+C2+C3
注：（1）A1,A2--某一采样点的平均粒子浓度； UCL--平均值均值95%置信上限； ·SE=
L--某一洁净室/区内的总采样点数，个； t--95%置信上限的t分布系数（6.31）；
结论：
检测者：复核者：共 页 第 页
XXXX公司
洁净室(区)尘埃粒子数测试记录（附页）
文件编号：XXX
检测编号： 检测日期：
3
平均值的均值
M=(A1+A2)/L
标准误差
SE
置信上限UCL=M +t×SE
结果
评定
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
评定标准:
洁净室/区
采
样
点
粒子
直径
C1
C2
C3
平均值A=C1+C2+C3
3
平均值的均值
M=(A1+A2)/L
标准误差
SE
置信上限UCL=M +t×SE
结果
评定
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
1
0.5μm
0
μm
5μm
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
1
0.5μm
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5
μm
5μm
1
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5μm
1
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5μm
1
0.5μm
5μm
2
0.5μm
5μm
检测者： 复核者：共页第页
XXXX
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文件编号：XXX
检测编号：检测日期:
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