3、真空镀膜机的整体方案设计

3、真空镀膜机的整体方案设计
真空镀膜机主要由镀膜系统、真空系统、卷绕系统、电 控系统及辅助部件构成，简图如上图所示。
1、镀膜系统是用于完成基材镀膜的地方；
2、真空系统主要是为镀膜部分制造一个高真空的环境，为 得到良好的蒸镀效果；
3、电气控制系统主要来控制真空室中机械泵、扩散泵等的 启停、相应阀门的开关量以及相应泵的指示灯和故障告警 等，它是真空镀膜机的一个重要环节；
2、设计任务
本控制系统主控单元采用PLC通过上位机设置对纸张力、电 机速度、蒸发舟的状态和蒸发量等工艺要求参数的控制。实现 以下几个主要功能： 1、PLC能与上位机进行通信，接受上位机参数的设置； 2、进行机械联动及电机转速检测控制； 3、进行张力的自动控制，找出影响张力的物理因素； 4、对蒸发舟的状态检测和控制，也就转化为对镀膜厚度的自 动 控制； 5、具有对变频控制器输入控制。
真空镀膜机的电气控制系统
指导老师：李聪
自动化与电气工程学院 电传1002 黄瑶妹
目录
1
研究背景和意义
2
设计任务
3
系统整体设计方案
4
系统设计具体的方法
5
总结
1、研究的背景和意义
真空镀膜的优点比化学镀膜多的多，主要有： 1、真空镀膜不会损坏薄膜材料； 2、镀制出来的成品寿命比化学镀膜多出好几倍。 3、可以镀制各类金属或者非金属的材质，种类丰富； 4、镀膜过程都是在真空环境下，出现较少的杂质，环境污染小； 5、符合当代绿色发展的要求。
名称 型号 功率
机械泵1 2X-70A 5.5KW
机械泵2 2X-70A 5.5KW
罗茨泵 ZJP-600
7.5KW
扩散泵 K-800 8.4KW
维持泵 2X-15 2.2KW
真空系统
真空度的测量由热偶规管和电离规管组成的复合真空计完成，将测 量到的实时数据首先会传到PLC的数字/模拟量转换模块，通过与 PLC中内部存储的实际所设定的压强数据作差，自动进行PID控制 ，使其达到设定的值。
4、卷绕系统主要负责放膜、镀膜、收膜，和镀膜室是相结 合工作的。
真空系统
对镀膜室抽真空是整个系统设计的关键环节，选取 性能良好的真空泵对蒸镀效果起着重要作用。在本设 计中，采用的是从抽粗真空到高真空的过程，并采用 了前级泵（机械泵）和低真空泵（罗茨泵），这样达 到的真空能满足设计的要求。选型如下表所示