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B Layer 蓝色光阻涂布
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ITO 制程为物理溅镀过程，包括 ①前清洗 ②ITO溅镀 ③后洗净 ④烘烤
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Part4. CF COA 生产流程介绍
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PS是在CF与Array基板中支撑Cell gap的柱状pattern。有一定的弹性回复力，可以承 担一定的压力。PS呈透明状，减少对光透过的阻挡，制程工序一样为黄光工序。
CF制程简介
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课程目标
了解 CF 基本制程 了解 CF COA 生产流程
课程内容
1.CF 定义及作用 2.CF结构介绍及说明 3.制程流程说明 4. CF COA 生产流程介绍
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Part1. CF定义及作用
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CF(Color Filter)即：彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件，其主要 的功能是让液晶显示器能产生彩色画面，若无彩膜，则看到的电视显示将是黑 白的。
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Part3. 制程流程说明
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BM制程包括： ①玻璃清洗 ห้องสมุดไป่ตู้BM光阻涂布 ③真空干燥 ④预烘烤与冷却 ⑤紫外线曝光 ⑥显影 ⑦烘烤。
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R G B Layer 为相似制程，与BM相同，区别在于所用光阻及曝光用的光罩不 同。 R Layer 红色光阻涂布
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G Layer 绿色光阻涂布
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谢谢！
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Part2. CF结构介绍
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众所周知，自然界的三原色为红、绿、蓝，通过对三原色进行混色，并调 整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。
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BM：黑色矩阵，用来掩挡漏光 PS：感光间隙子，用来支撑与维持Cell gap均匀 ITO：用来作CF侧通用电极 RGB：起主要作用的RGB三种色阻分布排列