Shanghai Huali Microelectronics Corporation
Kashiyama pump
竖式螺旋转子: 制成用
针对产生大量生成物的严酷 Inlet
生成物徐徐刮向排气侧
转子底部排气的间 隙宽阔【6mm】
在真空侧没有轴承的支撑
螺旋转子 螺旋式转子具有的高温特 性耐腐蚀性的材质
• Pump的故障可以分为三种：1，Alarm, pump仅显示故障并告之连线机台但 pump并不停机。2，Trip：pump显示故障信号告之连线机台，Pump立即停 机。3，Error：电装置发生故障或pump内部连线松脱，Pump立即停机。其 原因可能为BP Motor电流高 MP Motor 电流过高，Casing 的温度过高，BP 或MP Motor 过载，Seal N2或DIL N2流量过低，Pump box温度过高。
• 对于BP or MP温度过高，可能由以下原因引起的：1，Exhaust压力升高。2 ，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，冷却水减少。5，齿轮坏掉。
• 对于Casing(<130deg.c)温度过高，可能由以下原因引起：1，Exhaust压力升 高。2，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，接头处气体流通不畅。
短捷的排气路径【180mm】
ROTOR.CASING共同使用、具有非常耐腐蚀特性的Ni合金材料合金材、再于表 面进行Ni-Coating 处理进一步发挥了耐腐蚀性的性能！
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转子排气侧的间隙宽阔
具有克服生成物沉积， 和容易再启动强的优越性
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Kashiyama Dry Pump
Comparison of Pumping Mechanism
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Kashiyama Dry Pump
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MU DRY Series
MU DRY Series 以On Tool目的超小型・省Energy pump。 （他社容积比1/2,重量1/2）
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Comparison of Pumping Temperature
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Pump运转的五个要素&故障原因
• 1． 水6-8L/min • 2． 氮气（GN216-22pam3/sec） • 3． 电源（200V~220V） • 4． 气密良好之前端管路 • 5． 吸风良好之Exhaust管路
On Tool化的优点（配管Conductance的影响)
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鲁式泵: 根据同期马达和单纯的本体构造、 实现了节省能源和耐久性的双向要求。
Roots Rotor Gear
Motor + Motor Driver
以同期马达加驱动器的组合，达
到了精密控制转速的可能、从而 获得以下的优越性。
・实现在大气状态开始时的驱动 ・节省能源 ・严密性的提高 ・小型化
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半导体工艺简介
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真空Pump工作范围
在ETCH和Thinfilm设备通常用 Dry pump &Turbo pump将大气 抽至一定真空符合process工艺 需求。由于Dry pump抽真空能 力有限，在 ATM-500mT之间表 现良好，然后用Turbo pump 将 环境抽至High Vacuum。
排气原理
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MU Dry series
[MU Dry series] Dry pump比以前的Dry pump实现极限小型 化・ 轻量化・省能量化，以对应装置组合（On tool）用轻负荷所开 发的Dry pump。 特点 ⅰ）Pump构造及采用同步Motor相比实现了小型化(我社容积比 ：△75％)、 轻量化（我社比：△60%）。 ⅱ）以Pump构造的最适化实现了冷却水（我社比：△50%）、 N２使用量 （Clean排气用时不用Ｎ２）等能量的减少。 ⅲ）以采用Motor driver大幅减少了Pump启动时的突入电流。 在电源频率为５０／６０Ｈｚ地域也是同一性能。
具有刮除生成物的效果
根据矩形直角的特点，Screw rotor在高速运转时可将附着在 Casing上的生成物徐徐刮向排气 侧而容易被排除
高温的Rotor特性 因为真空室温度较高，所以反应气 体很难附着
Rotor温度180度
H=6mm
Exhaust gas 温度200℃
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