夏津县奥德新能源有限公司
直拉单晶炉操作规程
版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010
1 目的
为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。

2 适用范围
单晶制造厂所有单晶操作工。

3 内容
3.1 拆炉
3.1.1 准备
确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。

将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。

左旋至副室筒下。

3.1.2 炉子清扫
3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢
车。

3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石
英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。

注意：1：石墨件不能用手接触。

2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。

3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。

3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。

注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的
现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。

保证密封圈的完好。

3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒
精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。

注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。

3.1.2.5 主炉清扫
戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，
炉底。

注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。

用沾有酒精的纸巾把主
炉室及密封圈擦拭干净。

3.1.2.6 石墨件的清扫
吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。

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3.1.2.7 石墨件的装炉
A 埚杆装好后要拧紧螺丝，埚杆要平稳无跳动。

B 三瓣埚装入后要平稳
3.1.2.8 检查真空泵油位是否在2/3处
3.1.2.9 检查真空泵油是否干。

3.2 装炉
3.2.1 准备
戴好口罩，帽子，打开石英埚包装，取出石英埚，对光。

3.2.2 装料
用较小的料3-5㎏铺平埚底，大块料置于中间，用适当的料固定，小块料填缝，将母合金全放入中间用料盖住，最后吸净周围料渣。

注意：(1)小块料，小片料不能掉入加热器上，以防打火。

(2)放料时要轻，不能碰坏石英埚。

(3)装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。

3.3 合炉
3.3.1 料装好后，埚转开启2-3转/分，确认无短路的可能，快速降至埚下限位，应注意低
于平口位置100㎜为宜，以防下限位失灵而造成损失，关闭埚转
3.3.2 放导流筒后不要与硅材料接触
3.3.3 用酒精纸巾擦干净重锤，确认籽晶型号及晶向后，将籽晶装在夹头上，稍向下拉防
止籽晶在等径时下坠，将籽晶升入炉筒内合炉，并关闭液压泵。

3.4 抽空
3.4.1 抽空前检查冷却水压力不低于1.5㎏，确认泵无异常，所有操作过程无遗漏的程序。

按主室泵按钮2-3次运转1-2分钟，确认无异常，慢慢打开排气球阀，先打开1/3程度至压力表降到一半时，打开全部，开始抽出。

3.4.2 其次测量表数字下慢时，打开AR流量计，使AR气以30L/分的速度流入炉内，5 分
钟关闭，反复操作，使炉内真空抽至4帕以下为止。

3.4.3 关闭球阀，检查泄漏，以5分钟不大于1帕为合格，准备加热。

注意：真空不到4帕以下不加热，一般抽出需20~40㎜，抽出时为取下的晶体刻号，填写锅底料号日期，清扫炉台卫生。

3.5 溶料
3.5.1 打开AR流量开关，使炉内压力为800帕左右
3.5.2 打开加热开关，按以下时段升温
时间：0min 30min 60min
30KW 60KW 90KW
3.5.3 化料过程中注意观察炉内情况，观察电流电压是否正常，若有搭桥现象，要保持更
大的功率，使其熔化，有异常要采取措施。

3.5.4 料塌后要稍加锅位，锅转打到1转,注意液面与导流筒保持一定的距离，化硅完了，
降低功率，到引晶功率，埚升到引晶埚位，温度稳定，将欧陆表切入“自动”。

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3.5.5 给定埚转 5r/min 晶转8r/min
6r/min 10r/min
8r/min 12r/min
降下籽晶测试一下温度，校准单晶生长控制器的各参数。

3.6 引晶、放肩、转肩
3.6.1 引晶
调整欧陆表温度至引晶温度,先把晶转打开,晶转8r/min; 10r/min; 12r/min降籽晶与熔硅接触，发现有光圈出来把锅转调至给定埚5r/min ; 6r/min; 8r/min发现有四条棱出现方可引晶。

(或者:3min后根据光圈情况调整温度，合适时方可引晶，不合适时，10min后引晶。

)
3.6.1.1 打开晶开电源，晶升计长清零，开始引晶初始晶升拉速1-1.5㎜/min，温度合适
后，拉速1.5-6㎜/min,引晶30㎜后一般拉速2~6㎜/min,细颈直径3~4㎜为宜，
细颈长度120~150㎜以上，视细颈直径而定。

目的使位错全部消失。

注：找温度要有耐心，不要反复调节温度缩晶断，要重新接触好光圈，方可缩晶。

3.6.1.2 放肩
缩细颈结束后，将拉速调整到0.4㎜/min进行放肩。

降欧陆SP以降低温度放平肩
随时用测经仪测量直径大小。

3.6.1.3 转肩
距目标直径5㎜左右时，将晶升调至1.5~2.8㎜之间转肩。

转肩时拉速不应过快，
根据转肩情况，慢慢降拉速到设定的拉速(1.15)，降低温度，把埚身;埚跟比;埚
升电源打开;sl/cl曲线打入自动,同时计长清零，埚位清零。

调整伊尔根光圈，压
入光圈1/3之内(规定的目标直径)，调整温度与拉速。

准备投入自动控制。

3.7 等径、收尾
3.7.1 等径
转肩完成后，对拉晶状态进行10min后观察，确认正常后切入自动，认真仔细做好各项拉晶记录。

隔30min记录一次，等径部分用计算机控制器输入参数进行控制，这些数据根据能够的种类，直径及装料量不同，有差异，拉晶变更时，进行修正。

3.7.2 等径断棱
根据残留料的量确定控制方法以6寸投料55㎏为例，等径大于260㎜以上收尾炉内冷却5小时后取出，等径小于260㎜，需做回熔处理从第一次上拉开始到最后一次转肩结束时间超过48H，需要做吊料处理时，请示相关领导。

注意：熔时晶体不易降入太多，防止晶体与石英坩埚相碰撞,防止夹头松动造成拉晶影响;液面与晶体熔断后，再降晶时,若杂质或不熔时要进行拉出一点料处理。

3.7.3 收尾
当晶体达到预定程序或埚内料太少时退出自控进行收尾。

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根据收尾情况，慢慢地降下，随动调整收尾晶升，收尾长度应为晶体直径大小，收尾过程中多观察杜绝断尾。

3.8 停炉\冷却
确认收尾完成后，按埚降快慢按钮使晶体与液体面脱离30㎜，停埚转降温分两次降完，间隔30分钟，保持晶升2㎜/min，从结晶面升起1.58㎜后关闭拉速。

4 本规程由单晶制造厂起草/编制/修订。

编制：审核/会签：批准：。