目錄
1.目的 (2)
2.範圍 (2)
3.權責 (2)
4.參考資料 (2)
5.儀器介紹 (2)
6.操作程序 (4)
7.注意事項 (8)
.
1.目的
本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。

2.範圍
HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。

3.權責
3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。

修訂方式亦同。

3.2本工作指導書供相關操作人員參考。

4.參考資料
捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。

5.儀器介紹
5.1 External view of JSM-6700F
5.2 General view of column
6.操作程序
6.1 開啟SEM OPE switch
6.2 打開SEM電腦主機&螢幕
6.3 點選操作軟體視窗-- JEOL PC-SEM 6700(桌面)
6.4 確認SEM操作前步驟OK，檢視以下數值：
a.氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力≥5Kg
b.確認EDS及BEI detector已伸出chamber外
c.確認tilt位置在0
d.確認STAGE上WD在8mm及螢幕上WD在8mm
e.確認STAGE歸至原位X=35.00、Y=25.00、R=0.00
(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)
f.確認放大倍率縮至最小(250倍)
g.確認加速電壓是否在10KV
h.確認ROTATION 與BEAM SHIFT是否已歸位
i.確認Probe Current是否在7
j.確認EXCHANGE CHAMBER抽真空
k.確認
l.close (橘色燈亮)
6.5 將樣品置入試片載台
a.試片大小需符合JEOL specimen holders，將試片處理完後放置於樣品
holder上，試片高度不可超過樣品holder上方0.5公分，並確認試片已固
定好。

b.洩真空，按SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER(約一秒
鐘聽到“喀”一聲)
前室真空腔的扣型開關打開。

c.依holder上標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之O-ring及電線，再關閉前室真空腔門。

d.抽真空，按CHAMBER
(約一秒鐘，
爍)(此
時前室真空腔和真空腔之間的
閥門會打開)，將試片傳送桿拉
下至水平，緩緩將試片座推入真空腔(
)。

e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。

6.6 設定加速電壓及WD (依試片及實驗需求而定)。

6.7 檢視真空腔中的壓力()，等候PVG 值達到9.63×10-5 Pa 。

6.8
由藍色轉變成綠色)，待電流值達到設定值(一般設定值為10μA )。

6.9 (
)
，
Gun 和真空腔中的閥門即會打開。

6.10 調整影像
a.
25倍利用移
b.用搖桿控制
x 、y 位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。

c.調整聚焦及像差至影像清楚(先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差x 、y ，直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及
形的情況發生，應先調整FOCUS 再調整像差x 、y 直到影像完全清楚)。

6.11 傾斜觀察：
根據試片使用的holder size及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角度，不可超過上限規定。

6.12 BEI觀察：
a.確認tilt=0、WD不得低於8mm。

b.
c.視窗右上方)，約3~7秒BEI detector會自動進入chamber，此時
1
d.影像調整至清楚狀態(在SEI或LEI模式下)，再點選Image Selector
e.調整亮度及對比，若訊號太弱，則增加Probe Current(ㄧ般設定值為10)。

6.13 儲存影像
a.有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇)，若經FINE
VIEW使影像凍結。

b.此模式可將SEM之操作參數一併存入)儲存
影像，檔案可存成bmp、tif、jpg。

6.14 實驗結束步驟
a.(此時燈會亮起；Gun和真空腔中的閥門關閉)。

b.由綠色轉變成藍色)。

c.若有執行BEI或EDS觀察分析者，應將其detector伸出chamber。

d.復原相關設定(ex. Freeze、Fine view、放大倍率、Probe Current…等)
e.確認tilt=0、STAGE上WD=8mm及螢幕WD設定8mm。

f .確認STAGE歸位X=35.00、Y=25.00、R =0.00
(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)
g.
h.以試片傳送桿緩緩抽出試片座(()。

i.(約一秒鐘聽到“喀”一聲)
等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。

j.取出試片座，並檢查艙門之O-ring及電線。

k.(
閃爍)，使Specimen-exchange chamber維持真空。

l.填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。

7.注意事項
7.1 準備黏貼試片時請戴手套，並請ㄧ次戴好，以免手上的汗水和油脂污染
了手套，間接污染了試片座。

(請儘量保持手套的乾淨、勤更換之)
7.2 試片的前處哩，包含使用Pt coater或將試片黏貼於銅基座及固定等步
驟，請各持有License的操作者自己親自動手，勿假手於他人，並多留意試片的清潔度。

7.3 holder及90。

銅座請勿直接放入coater中鍍Pt。

如試片欲直接固定於holder
上或欲作90。

觀察時，鍍Pt請將試片以銅膠帶貼於載玻片上，再放入coater 中濺鍍，完成後在將其固定或貼於銅座上。

7.4 若試片不導電，需作鍍Pt處理時，請注意導電通路的製作。

7.5 試片就定位後，以空氣噴球或鎳子輕推試片確定其是否貼牢。

7.6 試片黏在試片載台上時最好對齊，試片座上的四顆固定試片載台的小螺
絲不可旋太出來（約伸出0.5mm即可），以免螺絲遺失，放入試片座進入試片室前，請在外面先確認各個試片的相對位置，以免放入chamber 後，找不到試片。

7.7 試片容易有Outgasing的現象或基板是多孔性的物質，請將試片預先以hot
plate於適當溫度預烤20分鐘以上，再置於coater中抽真空。

7.8 PVG的真空度未達9.63x10-5 Pa
7.9 的情形之下)如要短暫的離開，請務必將倍率放到最
7.10 觀測完畢，請留意試片數量是否與loading前相同，如試片不滲遺留在
chamber中，請通知技術員處理。

7.11 觀測完畢，請將試片取回自己保存，銅或碳膠帶請撕下，並以酒精小
心仔細地將銅座擦拭清潔乾淨。

7.12 所有工具使用完畢請放回原位、並請保持桌面及地板的清潔乾淨。