200kV 场发射超高分辨透射电子显微镜技术规格
1．电镜主机技术参数
1.1 分辨率
点分辨率: ≤ 0.20 nm
线分辨率: ≤ 0.15 nm
1.2 可用加速电压：80、100、120、160、200 kV
最高加速电压: ≥ 200 kV
1.3 稳定度
加速电压稳定性：≤ 2 ppm/min
物镜电流稳定性：≤ 1 ppm/min
1.4 放大倍数
最小放大倍数: 50×
最大放大倍数: 1500000×
1.5 物镜
球差系数：≤ 0.5 mm
色差系数：≤ 1.1 mm
最小聚焦步长：≤ 1.0 nm
1.6 最小束斑尺寸
TEM模式：≤ 5 nm
EDS/NBD/CBD模式：≤ 2.4 nm
1.7 样品移动尺度: 水平方向（X，Y）≥ 2 mm；垂直方向（Z）：± 0.1 mm
最小移动步长：≤ 2 nm
1.8 样品台倾斜角度：≥ ±25o
1.9 X射线能谱分析固体角：≥ 0.13 sr，取出角：≥ 25o
1.10 电子枪：ZrO/W肖脱基发射电子枪
1.11 真空度：1×10-8 Pa
1.12 衍射模式相机长度及档位：80-2000 mm，15档
2. 扫描透射附件(STEM) 技术参数
同时安装明场/ 暗场STEM探测器，可完成高角度环场暗场像（HAADF)
2.1 明场分辨率：≤ 0.2 nm
2.2 暗场分辨率：≤ 0.2 nm
2.3 HAADF分辨率：≤ 0.2 nm
2.5 背散射电子探测器
2.6 STEM模式下放大倍率：≤200 ：≥1000000
3．X射线能谱（EDS）分析仪技术参数
3.1 探测器探头面积及制冷类型：≥ 80 mm2电制冷型
3.2 能量分辨率：≤ 129eV
3.3 元素分析范围：4B至92U
3.4 能谱扫描类型：可进行点、线、面、定性、定量分析
4．数字化CCD相机技术参数
4.1 光纤耦合CCD
4.2 分辨率：≥ 4 K × 2.7 K像素
4.3 CCD安装位置：底部主轴且CCD探头可伸缩
4.4 CCD像素面积：≥ 15 μm × 15 μm
4.5感光尺寸：≥ 30 mm × 30 mm
4.6读取帧数（速度）：≥ 25 fps
4.7 图像显示速度：≥ 25 fps
4.8 适配电镜加速电压：≥ 200 kV
4.9 漂移校正：带在线自动漂移校正功能
4.10 动态范围：通过高速剂量分割（dose fraction），实现>16位的动态范围
4.11 应用软件：业界成熟、功能完善、流程化设计的64位/32位兼容电子显微分析软件，包括图像处理、傅里叶变换（FFT）和电子衍射分析等，且照片储存格式后期可采用软件进行处理分析
5.工作条件
5.1 电力供应：220 V（±10%），50 Hz，单相；380 V (±10%)，50 Hz，三相
5.2工作温度：15℃-25℃
5.3 工作湿度：≤ 60 %
5.4 仪器运行的持久性：连续使用
5.5独立地线：≤ 100欧姆
6.标配备品备件2套
8. 配置要求
8.1 要求提供符合技术规格要求的场发射透射电镜主机（含变压器，循环水，泵系统、空压机、充气工具、升降机等辅助设施）一整套。

8.2 提供符合技术规格要求的扫描透射附件一整套
8.3 提供符合技术规格要求的电制冷能谱仪一套
8.4 提供符合技术规格要求的CCD相机一整套
8.5 提供场发射透射电镜备品备件一整套
8.6 提供电镜室用知名品牌柜式空调2台、备件储存柜3个、操作桌1张
8.7 提供单倾样品杆（带样品头）1支
8.8 提供双倾能谱用样品杆（带样品头）1支
9. 售后服务
9.1 在合同生效后的三个月内，对可能的设置室进行地面振动、杂散磁场的测量，并向用户方提出详细的安装要求和提供技术咨询；
9.2 仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后两周内进行安装调试，直至通过验收；
9.3 设备安装后，在用户现场对用户进行免费培训，培训内容包括仪器的操作和仪器基本维护等，使用户达到独立操作水平；
9.4 提供一年的免费保修（含人工费及备件费），保修期自仪器验收签字之日起计算；
9.5 产品质量按中华人民共和国有关质量标准实行“三包”服务；生产厂家或代理商为用户提供产品终身技术服务。

保修期：免费现场保修（包括所需备件费用），不少于壹年整机全免费保修或更换同型号产品，终身免人工费保修。

保修期自验收签字之日起计算。

保修期间设备发生故障，要求4小时响应，24小时内技术支持人员能到达实验现场。

9.6 要求电镜厂家在中国设有一个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。