用尘埃离子计数器连接气体管道采样。仪器布置示意图如下：
尘埃粒子计数器进行在线监测测量，当观察到读数满足要求并稳定一段时间之后，即停止测试。尘埃粒子测量在连续三个周期（1min为一个周期）合格之后停止测量。
d测试仪器
1cf尘埃粒子计数器PMS lasair110
e验收标准（暂时制定，根据业主工艺要求和施工工艺决定）
XXX科技有限公司（苏州）生产厂房
气体管道检测方案
中国电子系统工程第二建设有限公司测试中心
二○○七年十月九日
Ⅰ-检测前的准备
经过过滤器除尘后得无油压缩空气或高纯氮气吹扫24小时，流速大于20m/s，并以木槌轻轻敲击待测管路;测试前必须对现场测试介质进行确认，避免误用测试介质，对压缩空气、氩气和氮气系统直接测量，对纯氧和纯氢系统选用高纯氮或高纯氩为替代介质进行测试。
Ⅱ-检测方法学概述
1.气体洁净度测试
a测试目的
确认各气体系统洁净度满足设计要求
b测试条件
过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道保证压力在0.3MPa~0.7 MPa之间。
c测试方法
选取各系统的气源和最不利（远端）的用气点（即系统内管路最长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气点进行抽样测试。
e验收标准
系统名称
露点(℃)
高纯氢气（H2）
≤-70
高纯氮气（N2）
≤-70
高纯氧气（O2）
≤-70
高纯氩气（AR）
≤-70
压缩空气（CDA）
≤-70
二氧化碳（O2）
≤-70
Ⅲ-检测人员调配
测试人员：卢军
配合人员：气体管道施工班两人
甲方代表：一人
检测依据文献
使用以下标准和技术指南做参考
1.《设计图纸、说明》
4.《洁净室施工及验收规范》（GBJ71-90）
偏差及变更
检测过程中，所有偏差是将建立专门记录，重大偏差建立专项调查报告并书面提交，并参与分析原因，解决问题，协助变更。
结果数据综合分析
所有测定结果将记录在针对不同测试的记录专用纸上。记录纸上包括日期、署名、检测所用仪器及其序号、采用的标准和测试结果。验证报告包括所有的记录和针对性的评价，测试的操作条件，必要时的总结表。报告中将指出不符标准之处并在报告开始部分的合成表格中体现。合成表格中也包括我们对必要时的变更方案的建议，最后我们将提交完整的气体管道参数检测报告一份。
文明安全注意事项
凡参与气体管道检测的工作人员必须遵守项目部的施工纪律；为保证人身和设备的安全，必须按以下安全规范操作：
1、进入现场必须戴好安全帽。
2、现场调试人员应注意保护有关仪表，不得破坏仪表。
3、检测现场不得随意动作气体管道阀门，避免发生易燃易爆有毒气体泄漏！
仪器设备
一、仪器清单
仪器名称
仪器型号
28
29
CDA系统洁净度和露点检测
N2系统洁净度和露点检测
H2系统洁净度和露点检测
O2系统洁净度和露点检测
CO2系统洁净度和露点检测
整理数据
注：此表格为初步计划，若有变故，根据实际情况再做相应调整。
c测试方法
选取各系统的最不利的用气点（即系统内管路最长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气点进行抽样测试
用露点仪连接气体管道采样。仪器布置示意图如下：
露点仪进行在线监测测量，一般测半小时才能稳定读数，当观察到读数满足要求并稳定一段时间之后，即停止测试。
d测试仪器
露点仪Cermax
产地
数量
粒子记数器
LASAIR110
美国
1台
减压器
LASAIR
美国
1台
露点仪
Cermax
英国
1台
二、设备材料清单
设备材料名称
数量
设备材料名称
数量
安全带
1套
螺丝刀（十字和一字）
1套
洁净服
3套
扳手
1套
对讲机
2个
气体管道安装、检测日程安排
安装、测试项目
十月
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ27
系统名称
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/cft)
≥0.1um
≥0.3um
高纯氢气（H2）
10
——
高纯氮气（N2）
10
——
高纯氧气（O2）
10
——
高纯氩气（AR）
10
——
压缩空气（CDA）
——
20
二氧化碳（CO2）
10
——
2.气体露点测试
a测试目的
确认各气体系统露点满足设计要求
b测试条件
过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道保证压力在0.3MPa~0.7 MPa之间，管道洁净度合格的前提下，取样气体流量应在0.5-5L/min测试管道气体露点。