国内外光刻胶发展概述
苏义旭;马亮亮
【期刊名称】《化工管理》
【年(卷),期】2022()7
【摘要】光刻胶是半导体器件生产过程中至关重要的化学品,国内外均对该产品的研发投入大量人力物力。

文章从光刻胶的主要成分树脂为出发点,对光刻胶的种类进行了分类综述。

对国内市场的光刻胶研发情况进行了简述,并对促进光刻胶研发进度提出几点建议。

【总页数】3页(P62-64)
【作者】苏义旭;马亮亮
【作者单位】合肥本源量子计算科技有限责任公司
【正文语种】中文
【中图分类】N19
【相关文献】
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