光电子微纳制造工艺平台安全培训
2015-04-02
培训目的
诸多的安全事故给了我们深刻的教训，为了提高大家的安全意识，让大家在超净间内能安全、规范的开展各项工艺实验。

微纳平台的用户需要参加安全培训，才能取得进入微纳平台超净间的资格。

取得资格后经过经过相应设备的培训后，取得操作证书才能操作相关设备。

培训内容
超净间内基本行为准则 超净间管理规定
紧急疏散及应急处理
超净间一般行为准则
进入超净间前不要化妆。

超净间内禁止吃东西和喝水。

进入超净间前30分钟不要抽烟。

尽量避免带隐形眼睛。

隐形眼镜可能吸收化学蒸汽或者在眼球与镜片间吸附化学物质。

紧急情况下，隐形眼睛影响冲洗眼睛。

进入超净间必须穿着超净服和超净靴。

如果是上下分体式的，上衣必须收扎在裤子中，裤脚要收扎在靴子或者脚套中。

超净间一般行为准则
超净间内不能使用铅笔。

非必需品（包括书本、工具、包等）不能拿入超净间。

不能对着基片，水或者干净的器皿、表面咳嗽、说话或者打喷嚏。

不要让你的皮肤直接接触超净间内任何物体。

除了在紧急状态下，不要进入技术夹道或者灰区。

离开时请收拾好你的工作空间，除非得到工程师同意，不要在超净间内留下物品。

超净间一般行为准则
在清洗间使用化学试剂前，你必须了解你要使用的化学试剂的特性。

禁止在不了解的情况下，使用化学试剂。

必须取得设备的操作许可证，才能操作相应的设备。

禁止在超净间内从事与实验无关的事情。

禁止大声喧哗和跑动。

任何时候避免一个人在超净间内使用设备。

特别是晚间禁止一个人在超净间内使用设备。

超净间着装要求
进入超净间必须穿着超净服。

–上衣扎入裤子中，用脚套或洁净靴包住裤腿。

–帽子戴端正，领口里外两层搭扣扣好。

–超净服如变脏，需及时更换干净超净服。

–请带口罩、手套进入超净间。

进入超净室应注意个人卫生。

–穿着平台提供的洁净鞋或者鞋套进入更衣间。

–不能穿鞋或打赤脚在更衣间或走廊间走动。

–进入平台大门时鞋底不要带入泥土。

–自己的鞋子放入鞋柜并摆放整齐。

进出超净间着装方法•超净工艺间入室顺序：
•→脱一次鞋
•→穿上净化服
•→穿上净化鞋
•→戴上净化帽→洗手
•→戴上口罩→手套
•→进风淋室→入室
•超净工艺间退室顺序：
•→出口→脱下手套
•→脱下口罩
•→脱下净化鞋
•→摘下净化帽
•→脱下净化服
•→净化鞋归位
•→整理净化服挂于衣架上
出口•→出更衣室
超净间场地管理规定
要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒，请在更衣室进行清洁。

容易产尘的用具：如普通纸张、铅笔、橡皮擦、蜡笔、木制品、铁制品等，请勿带入超净间。

普通使用者不得私自进入技术夹道、灰区。

请将随身物品放入储物柜,不要将其带入超净间。

时刻保持整洁，垃圾随时放入垃圾桶内。

超净间人员管理规定
只有通过了安全培训的人员才能进入超净间开展实验。

只有预约了实验，并在实验时间才能进入超净间开展实验。

在超净间开展实验时除了进入与自己预约实验相关的房间外，请不要进入其它房间。

进入超净间开展实验以外的其他活动须取得平台的许可。

超净间物品管理规定
任何进入超净间的物品需工程师同意方可带入，带入时在工艺申请单上注明并主动向工程师或值班人员通报。

剧毒、易爆炸类物品，原则上严禁带入超净间。

如发现将上述物品带入，将取消进入超净间的资格。

如有特殊要求请与工程师沟通。

超净间内禁止存放任何化学试剂。

超净间设备操作规定
设备开始时请工程师确认设备状态。

服从工程师的安排。

只有取得了由平台颁发的设备操作使用资格证的师生才能自己独立操作设备。

不要做任何自己不了解、不确定、不清楚的操作和设置。

碰到设备故障等各类问题时，及时联系工程师。

实验完成时，及时通知工程师，告知试验完成并请求确认设备状态。

消防安全标识
请注意以下信息：
•1) 火警电话：119
•2) 电话位置
手动报警器•3) 火警手动报警器位置
•4) 消防水箱和灭火器位置
•5) 烟雾探测器位置
•6) 紧急逃生通道位置
•7) 冲洗站位置
超净间紧急疏散安全门
逃生标志
逃生标志
向右旋转箭头处手柄，打开门锁，向外推门，右转，逃出大门！
人体接触化学试剂应急处理 立即用水冲洗15分钟（用水龙头、淋浴、洗眼器等），冲洗后，不要擦拭皮肤。

立即脱掉任何可能沾有化学物质的衣服、饰品。

联系平台工程师协助立即前往医院就医。

洗眼池：紧急情况下，冲洗眼睛和面部，用大量水冲洗
喷淋头：冲洗全身箭头方向
转动
火警应急处理 立即按下火警报警装置。

火苗很小，且没有过多烟雾时，可适当尝试使用灭火装置灭火。

火势变大时，立即通过最近的安全通道撤出建筑物，在A区北面广场集合，
便于清点人数。

不用理会设备运转状态.
不用脱超净服。

立即警告附近的人员，告知他们需要撤出超净间。

撤出超净间后立即拨打报警电话119。

有人员受伤拨打120。

特种气体泄露应急处理
1）氮气及其它无毒性气体泄漏处理方法
立即关闭钢瓶阀门及供气面板输出阀门，检查气体泄漏点部位，更换管阀件
2）低毒类特种气体泄漏处理方法
低毒类特种气体如：SF6、N2O、C2F6、CF4发生泄漏时，在安全区域佩戴简易防护面罩及手套，然后前往特气室关闭钢瓶阀门及供气面板输出阀门，置换面板特种气体后检查气体泄漏点部位，更换管阀件，维修后保压测试，必要时采用氦质谱仪进行检漏
3）易燃易爆气体泄漏处理方法
易燃易爆气体如：H2、SiH4、CH4发生微量泄漏
时首先开大气柜排风量，后续处理方法同低毒类特种气体，当发生大量泄漏时，必须立即撤离，并将情况呈报实验室领导，寻求消防等专业机构前来解决
4）腐蚀性气体泄漏处理方法
腐蚀性气体如：HBr、BCl3、NH3、SiCl2H2发生微量
泄漏时首先开大气柜排风，后续处理方法同低毒类特种气体，当发生大量泄漏时，必须在安全区域佩戴自主呼吸器及耐酸手套后前往特气室处理，必要时将情况呈报实验室
领导，寻求消防等专业机构前来解决
5）剧毒性气体泄漏处理方法
剧毒性气体如：AsH3、PH3、Cl2发生泄漏时，在安全区域佩戴自主呼吸器及防护手套后前往特气室，首先开大气柜排风，然后关闭钢瓶输出气动阀，再关闭钢瓶阀门及供气面板输出阀门，当泄漏气体浓度达到安全范围后再检查气体泄漏点及更换管阀件。

超净间可提供安全保障的物品
耐酸碱防护手套
无尘口罩、头套
耐酸碱防护眼镜
耳塞
吸液布
简易式呼吸器
光电子微纳制造工艺平台是大家的公共平台，安全工作是大家共同的宗旨;
维护好超净环境是大家共同的责任;
为大家提供专业的服务是我们共同的希望。

谢谢大家！。