检测的要求。说明红外光比可见光更易实现光外差检测。
例：本振光波长为1微米，检测器光敏面长度为1mm，则
θ<<0.32mrad（0.018度）。
实验证实，稳频的CO2激光器做外差检测实验，当θ<2.6mrad时， 才能看到清晰的差频信号。
如图，要形成强的差频信号，
分光镜 可变光阑
必须使信号光束和本振光束 在空间准直得很好。
外差检测不仅可检测振幅和强度调制的光信号，还可检测频 率调制及相位调制的光信号。在直接检测系统是不可能的。
6.2.2 光外差检测转换增益G高 光外差检测中频输出有效信号功率为：
PC
2
e h
2
Ps PL RL
在直接检测中，检测器输出电功率为：
P0
e h
2
Ps2
RL
两种方法得到的信号功率比G为：
6.4 光外差检测系统举例
迈克尔逊干涉仪
6.4.1 激光干涉测长仪 光束１
可移动平台
如图，主要有几部分组成：
1、激光光源：
He Ne 激光器
He-Ne气体激光器，频宽达103Hz，
相干长度可达300km。
2、干涉系统：迈克尔逊干涉原理， 位移---测量臂；
激光束
BS
光束２
光电计数器 显示记录装置
As2
______________
cos2 st s
_______________
AL2 cos2 Lt L
__________________________
________________________
As AL cosL s t L s As AL cosL s t L s
式中第一、二项为余弦函数平方的平均值，等于1/2。第三项 为和频项，频率太高，光混频器不响应，可略去，第四项为 差频项，频率低得多，当差频信号(ωL-ωs)/2π=ωC/2π低 于光检测器的上限截止频率时，检测器就有频率为ωC/2π的光 电流输出。
为获得灵敏度高的光外差检测，要求信号光和本振光具有高 度的单色性和频率稳定性。 光外差检测的物理光学的本质是两束光波叠加后产生干涉的 结果。这种干涉取决于信号光和本振光束的单色性。因此为 获得单色性好的激光输出，必须选用单纵模运转的激光器作 为光外差检测光源。
信号光和本振光存在着频率漂移，使光外差检测系统的性能 变坏。是因为频率差太大可能超过中频滤波带宽，中频信号 不能正常放大。因此在光外差检测中，需要采用专门措施稳 定信号光和本振光的频率。
6.2.5 最小可检测功率—内增益型光电检测器件
内部增益为M的光外差检测器输出有效信号功率为：
PC
2
e h
M
2
Ps
PL
RL
检测系统中检测器本身的散粒噪声和热噪声是影响最大可难以
消除的。则外差检测输出的散粒噪声和热噪声表示为：
Pn
2M
2
e
e h
Ps
PB
PL
Id
fR
L
4k Tf
功率信噪比为：
2
实用的激光干涉测长仪的简化光路
6.2.6 光外差检测系统对检测器性能的要求
外差检测系统对检测器要求一般比直接检测对检测器的要 求高得多，主要如下：
1. 响应频带宽。主要是因为采用多普勒频移特性进行目标检 测时，频移的变化范围宽，要求检测器的响应范围要宽，甚至 达上千兆Hz。
2. 均匀性好。外差检测中检测器即为混频器，在检测器光敏 面上信号光束和本振荡光束发生相干产生差频信号，为达到在 光敏面不同区域相同的外差效果，要求检测器的光电性能在整 光敏面上都是一致。特别是跟踪系统的四象限列阵检测器。
极限下，光外差检测的NEP值为：
即SNR
1时的信号功率
Ps 最小
NEP
hf
SNRp
Ps hf
在光电直接检测系统的量子极限为： NEP 2hf
这里面需要说明的是：直接检测量子限是在理想光检测器的 理想条件下得到，实际中无法实现量子极限的。而对于光外 差检测，利用足够的本振光是容易实现的。
总之，检测灵敏度高是光外差检测的突出优点。
第六章 光外差检测系统
光外差检测与直接检测系统相比，具有如下优点：
1. 测量精度高7-8个数量级； 2. 灵敏度达到量子噪声极限，其NEP值可达10-20W。 3. 可用于光子计数。 4. 激光受大气湍流效应影响严重，破坏了激光的相干性，所
在外差检测在大气中应用受限，在外层空间已经达到实用 阶段。 5. 外差检测在高频（υ≥1016Hz）光波时不如直接检测有 用。而在长波长（近红外和中红外波段），光外差检测技 术就可实现接近量子噪声限的检测。
l
L 式中， 2 sin
L
，并认为折射率n=1。
于是本振光波可表示为：fL t AL exp jLt L x
则检测器上x点的响应电流为 di As AL cosct s L xdx
6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）
则整个光敏面总响应电流为
2 sin L
i Ad As AL cosct
6.1 光外差检测原理
直接检测系统中，检测器检测的光功率为平均光功率Pcp：
Pcp
1
2
2 A2 cos2 tdt A2
0
2
显然光波直接检测只能测量其振幅值。
光外差检测原理如图，两束平 行的相干光，经分光镜和可变 光阑入射到检测器表面进行混 频，形成相干光场，经检测器 变换后，输出信号包含差频信 号，故又称相干检测。
fs fL
fL
可变光阑
反射镜
输出
光电检测器 放大器
外差检测实验装置图
偏心轮转动相当于目标沿光波方向并有一运动速度，光的
回波产生多普勒频移，其频率为fs。可变光阑用来限制两光束 射向光电检测器的空间方向，线栅偏振镜用来使两束光变为偏
振方向相同的相干光，然后两束光垂直投射到检测器上。
首先设入射到检测器上的信号光场和本机振荡光场分别为：
设信号光束和本振光束之间夹角为θ，且信号光束的波阵面
平行于光敏面时，如图。
本振 z
信号
设信号光束和本振光束的光场为：
fs t
Ase jsts , fL t
A e jLtL L
那么本振光束到达光敏面时，在不
同点x处有不同的波前，即不同的
x
相位差 。相位差等于光程差和
检测器
波数之积。即： 2 x sin x
光外差检测原理示意图
产生的微分电流之和，显然要使中频电流达到最大，这些微分中
频电流要保持恒定的相位关系。即要求信号光和本振光的波前是

重合的。即是说必须保持信号光和本振光在空间上的角准直。
下面就考虑一下信号光与本振光皆为平面波时，波前不重合时 对光外差检测的影响。
6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）
多普勒频率fs为：
fs
f
L
1
2
c
通频带Δf1取为：
f1
fs
fL
fL
2
c
c 2 L c
3MHz
而直接检测加光谱滤光片时，设滤光片带宽为1nm，所对应的带宽， 即通频带Δf2=3000MHz。
可见，外差检测对背景光有强抑制作用。
另：速度越快，多普勒频率越大，通频带越宽。
6.2.4 信噪比损失小
当不考虑检测器本身噪声影响，只包含输入背景噪声的情况下，外 差检测器的输出信噪比等于输出信噪比，输出信噪比没有损失。
信号光束 fs
fs fL
混
探测器
背景杂散光来自各个方向， 绝大部分的背景光不与本振 光准直，即不产生明显的差
fL 本振
光束
频 光 放大器
频信号。
光外差检测原理示意图
因此外差检测在空间上能很好地抑制背景噪声。具有很好 的空间滤波性能。但是严格的空间条件也使调准两光束比 较困难。
问：“如果两光束是平行的，但与光检测器呈一定角度时， 对中频电流有没有影响”？
待测物体 光电显微镜
3、光电显微镜：给出起始位置。实现对对测长度或位移的精密瞄准，使干 涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。
4、干涉信号处理部分：光电控制、信号放大、判向、细分及可逆计数和显 示记录等。
测量光束2和参考光束1相互叠加干涉形成干涉信号。其明暗变化次数直接
对应于测量镜的位移，可表示为： L N
3. 工作温度高。在实验室工作时，工作温度无严格要求。如 果在室外或空间应用时，要求选工作温度高的检测器。如 HgCdTe红外检测器件。
6.3 影响光外差检测灵敏度的因素
在本节内容中，只考虑光外差检测的空间条件和频率条件 对灵敏度的影响及改善方法。其它因素可参阅书籍。
6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）
SNRp
M
2e
e h
Ps
e h
PB
2
M
Ps PL RL
PL
I
d
f
RL
2kTf
当本征功率PL足够大时，本征散粒噪声远超过所有其它噪声，则上式变为：
SNRp
Ps hf
这就是光外差检测系统中所能达到的最大信噪比
极限，一般称为光外差检测的量子检测极限或 量子噪声限。
6.2.5 最小可检测功率—内增益型光电检测器件
ｒ＝2.44
Dp Dd Dr
例：波长为1um，l为0.1mm（检测器直径），由上知失配角θ<<0.32mrad，如 采用会聚透镜，孔径Dr=10cm(在光外差检测系统中，作为接收天线的会聚透镜， 这个孔具有代表性）。取焦距f=100cm，可求得视场角θr=1mrad。
6.3.2 光外差检测的频率条件
信号光和本振光的波前在光检测器光