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Particle 100nm 29 /m3 1pg/m3
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分子性污染 - I
化學性污染 – 非粒子 – 氣相污染 把分子視為比細塵小數十倍至數百倍數千倍的粒子 物理性質：數量大、重量輕、擴散 化學性質：有能力與他種化學物質反應產生不同的東西
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作用的方式
hydrophobization Corrosion Decreased metal pad adhesion Silicon Carbide formation
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AMC之影響 - I
Deep ultraviolet (DUV) photoresist T-topபைடு நூலகம்ing PHOTO
Forms crusty surface on resist - ammonia
Defective epitaxial growth Unintentional doping Uneven oxide growth Changes in surface properties, wettability,
CARBON FILTER
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AMC的來源與分類 AMC之影響 濾材種類與形式 濾網種類 考慮事項 檢測與監測
內容
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AMC : Airborne Molecular Contamination
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無塵室的AMC：來源
製程化學品、反應副產物 溶劑 酸 鹼
QA
•Nucleation irregularities (CVD)
TF
•High-efficiency particulate air (HEPA) filter degradation FE
•Wafer and stepper optics hazing
PHOTO
•High contact resistance
（Phosphoric Acid）磷酸…
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無塵室濃度 - ACID
Contaminant HF HNO3 H3PO4 H2SO4
Concentration Range (ppt)
40k
250k
20k
250k
10k
400k
10k
300k
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BASE
一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者 Ammonia、NMP、Methylamine
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無塵室濃度 - Dopant
Contaminant Concentration Range (ppt)
Boric Acid Phosphorous Arsine
ND ND ND
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200k 5k
<50k
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AMC之影響
T-topping of resist by organic bases
吸附－污染物與吸附體間的物理作用力。活性碳、Silica Gel、活性鋁（氧化 鋁）
反應－污染物與吸附體間產生化學反應產生不揮發性物質。活性碳、活性鋁 為基質化學吸附劑-改質活性碳
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改質活性碳
一些小分子化學物質如HF、NH4+ 等活性碳幾乎沒有辦法處理必須使用改質碳 改質活性碳是一種反應型
清淨室物質的outgasing 人員：氨、硫化物 災害：溢出的化學物質 外部空氣： 循環空氣：
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SEMI F21-95 分類
Acid Base Condensable Dopant
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ACID
一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子接受者 HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ Nitric Acid ）硝酸、H3PO4
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無塵室濃度 - BASE
Contaminant Concentration Range (ppt)
Ammonia NMP
10k 20k
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200k 300k
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CONDENSABLE
一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣壓力下可凝結於清潔表面 Hydrocarbons VOC、 DOP
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粒形
MM1000 MM3000 MM7000 MM9000
載體
4%過錳 活性碳 酸鉀
活性鋁
10%磷 酸
活性碳
5-10%氫 氧化鉀
活性碳
密度 0.8
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無塵室濃度 - CONDENSABLE
Contaminant Concentration Range (ppt)
Acetone
20k
250k
Toluene
10k
200k
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DOPANT
一化學元素會改變半導體原料的電性 Boron（硼）、Phosphours（磷）Arsenic（砷）
•Uncontrolled boron or phosphorus doping DF
•Etch rate shifts and corrosion
ETCH
•SiC formation following pre-oxidation clean DF
•Threshold voltage shifts
QA
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不能解答的問題
那一個製程的風險最大 晶片在這個製程的那一個步驟有風險 需要多長時間影響污染的風險 那一個濃度AMC會影響何製程的何步驟
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比較AMC 與Particle(class 1)
尺寸 數量 質量
AMC 3nm 3x 1013/m3 5ng/m3
揮發性有機物 臭氧 二氧化氮 酸 HCl, HF, 氯 硫化氫 二氧化硫 有機硫 硝酸
Carbon 8 10 6 0 1 7 5 6 德崧股份有限公司
KMNO4 2 2 4 0 8 8 8 6
KOH 6 10 9 8 10 9 9 9 23
顆粒型 植入不織布型 不織布包覆型
濾材的種類
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過錳酸鉀－約含 4% KMNO4-屬於萬用型，但對含硫物質較佳 酸性－約含 10%磷酸，醋酸 鹼性－約含 5 – 10% 氫氧化鈉
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一些影響活性碳的因子
活性碳的顆粒大小 溫度 溼度 污染物本身的化學性質 影響吸附型的因子不一定會影響反應型
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比較