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微电子学概论第二章半导体物理与半导体器件原理与物理基础
载流子的输运
载流子的漂移运动:载流子在电场作用下的运动
漂移电流 JDe ifq t nd vqnE 引 入 迁 移 率 的 概 念
迁移率 电阻率
单位电场作用下载流子获得平均速度
反映了载流子在电场作用下输运能力
q
m
影响迁移率的因素: 有效质量
1
qnn qpp
平均弛豫时间(散射〕
体现在:温度和 掺杂浓度
ni与禁带宽度和温度有关
***半导体中同时存在电子和空穴的根本原因是晶格的热振动
非本征半导体的载流子
热平衡时:
np ni2
在非本征情形: n p
N型半导体:n大于p P型半导体:p大于n
多子:多数载流子
n型半导体:电子 p型半导体:空穴
少子:少数载流子
n型半导体:空穴 p型半导体:电子
电中性条件: 正负电荷之和为0
中 掺入少量的
五价元 素,如磷,
+4
则形成N型半导
体。
+4
+4
+4
正磷原离子子
++54
+4
多余价电子Leabharlann 自由电子+4
+4
N 型半导体结构示意图 少数载流子
正离子
多数载流子
在N型半导中,电子是多数载流子, 空穴是少数载流子。
P型半导体
+4
在硅或锗的晶体中
掺入少量的三价元
素,如硼,则形成P 型
半导体。
+4
2.2 PN 结
▪ 大量半导体器件都是由PN结构成; ▪ PN结的性能集中的反应了半导体导电性能特点:
存在两种载流子; 载流子产生与复合; 载流子漂移:载流子在外部电场的作用下的定向运动; 载流子扩散:由于某些外部条件使得半导体内部的载流
把纯净的没有结 构缺陷的半导体单晶 称为本征半导体。
它是共价键结构。
在热力学温度零度
和没有外界激发时,
本征半导体不导电。
+4
+4
+4
硅原子
+4
+4
+4
价电子
+4
+4
+4
本征半导体的共价键结构
在常温下自由电子和空穴的形成
+4
成对消失
复合
+4
+4
+4
+4
+4
+4
空
自由电子
穴
成对出现
+4
+4
本征激发
▪ 共价键中的价电子不完全像绝缘体中价电子所受束缚那样强, 如果能从外界获得一定的能量(如光照、温升、电磁场激发等), 一些价电子就可能挣脱共价键的束缚而成为自由电子(同时
•电导率是电阻率的倒数 ; •电导率越大则导电性能越强,反之越小 ;
▪ 彼此之间的界线不是绝对的 .导体和半导体区别 是有无禁带,半导体和绝缘体区别是禁带宽度 及温度特性。
▪ 半导体有以下主要特点: a) 在纯净的半导体材料中,电导率随温度的上升
而指数增加; b) 半导体中杂质的种类和数量决定着半导体的电
产生出一个空穴),这就是本征激发。
在外电场作用下, 电子和空穴均能 参与导电。
空穴导电的 实质是共价 键中的束缚 电子依次填 补空穴形成 电流。故半 导体中有电 子和空穴两 种载流子。
+4
+4
+4
+4
+4
+4
价电子填补空穴 空穴移动方向
电子移动方向
+4
+4
+4
外电场方向
N 型半导体 +4
在硅或锗的晶体
微电子学概论 第二章半导体物理和半导 体器件的原理和物理基础
上一章课程内容回顾
➢第一块晶体管、IC诞生的时间 ➢IC的概念 ➢集成电路的作用 ➢集成电路的分类 ➢微电子学的特点
▪ 第一章 绪论 ▪ 第二章 半导体物理和半导体器件物理基础 ▪ 第三章 大规模集成电路基础 ▪ 第四章 集成电路制造工艺 ▪ 第五章 半导体材料 ▪ 第六章 集成电路设计 ▪ 第七章 集成电路设计的CAD系统 ▪ 第八章 几类重要的特种微电子器件 ▪ 第九章 微机电系统 ▪ 第十章 微电子技术发展的规律和趋势
第二章 半导体物理和半导体器件物理基础
▪ 2.1 半导体及其导电特性 ▪ 2.2 PN结 ▪ 2.3 双极晶体管 ▪ 2.4 MOS场效应晶体管 ▪ 2.5 小结
2.1 半导体的导电特性
固体材料:超导体: 大于106(cm)-1
从导电特性和 机制来分:
不同电阻特性
不同输运机制
导 体: 106~104(cm)-1 半导体: 104~10-10(cm)-1 绝缘体: 小于10-10(cm)-1
受主:Acceptor,掺入半导体的杂质原子向半导体中 提供导电的空穴,并成为带负电的离子。如 Si中掺的B
施主和受主浓度:ND、NA
本征载流子
本征半导体:没有掺杂的半导体 本征载流子:本征半导体中的载流子
载流子浓度
电 子 浓 度 n, 空 穴 浓 度 p
本征载流子浓度: n=p=ni
np=ni2
重点
▪ 半导体、N型半导体、P型半导体、本征半导体、非本征半导体 ▪ 载流子、电子、空穴、平衡载流子、非平衡载流子、过剩载流子
▪ 能带、导带、价带、禁带
据统计:半导体器件主要有67种,另外 还有110个相关的变种
所有这些器件都由少数基本模块构成: • pn结 •金属-半导体接触 • MOS结构 • 异质结 • 超晶格
导率,而且在重掺杂情况,温度对电导率的影 响较弱; c) 在半导体中可以实现非均匀掺杂; d) 光的辐照、高能电子等的注入可以影响半导体 的电导率。
半导体的结合和晶体结构
金刚石结构
硅晶体平面结构
硅晶体立体结构
半导体分类:
半导体有元素半导体,如:Si、Ge
化合物半导体,如:GaAs、InP、ZnS
半导体的掺杂
p + Nd – n – Na = 0
施主和受主可以相互补偿
p = n + Na – Nd n = p + Nd – Na
正是因为电中性条件的要求,所以不管半导体中两种 载流子的浓度相差如何的大,都不会出现多于的电荷
n型半导体:电子 n Nd 空穴 p ni2/Nd
p型半导体:空穴 p Na 电子 n ni2/Na
本征半导体:完全不含杂质且无晶格缺陷
本征半导体特点:
➢电子浓度=空穴浓度; ➢载流子少; ➢导电性差; ➢温度特性差。
载流子
电子:Electron,带负电的导电载流 子,是价电子脱离原子束缚 后 形成的自由电子,对应于导带 中占据的电子
空穴:Hole,带正电的导电载流子, 是价电子脱离原子束缚 后形成 的电子空位,对应于价带中的 电子空位
+4
+4
+4
负硼离原子子
+43
+4
填补空位
空穴
+4
+4
P 型半导体结构示意图
空穴是多数载流子
负离子
电子是少数载流子
在P型半导中,空穴是多数载流子,电子是少数载流子。
半导体的掺杂
B
受主掺杂
As
施主掺杂
施主:Donor,掺入半导体的杂质原子向半导体中 提供导电的电子,并成为带正电的离子。如 Si中掺的P 和As