培训 , G/ F 165 3. 0
21 ±2 —
100k < 65
— 18. 3 390 1200
— 10000
20
换衣间 ,1/ F 生产线 ,1/ F 运输间 ,1/ F
285
2950
150
3. 0 21 ±2
—
3. 0 21 ±2 60 ±5
3. 0 21 ±2
—
100k
10k
100k
< 65
(1) 室外设计参数 夏季空调干球温度 33. 5 ℃;空调湿
工及验收规范》(J GJ 71 - 90) 而定 ,这些规范与国际通行联邦 球温度 27. 7 ℃;相对湿度 83 % ;室外风速 1. 8m/ s。冬季空调
标准 209 E 是一致的 。即以每单位体积空气中大于等于 0. 温度 5 ℃;相对湿度 70 % ;室外风速 2. 4m/ s。
有 10k 级以上的洁净度 ,局部工作台甚至要求 100 或 10 级 。 笔者有幸参与该园区厂房洁净室的设计工作 ,并在工作
中积累了一定的经验 ,现以其中一座建筑面积约 10 000m2 的厂房 (Al PLAN T) 为例 ,浅谈电子厂房洁净室设计工作中 该注意的问题 。
安利科技园平面见图 1 。
二 、结束语
洁净室厂房空调系统设计本质上虽同于民用空调系统 , 但是也有自己的特点 。
1. 洁净厂房的室内设备发热量和人员发热量一般较大 , 约占总设计冷负荷的 80 %左右 ,相对而言围护结构的耗冷量 较小 。整个系统主要表现为制冷工况 ,即使在冬季 。厂房概
算夏季冷负荷指标平均一般在 350～550W/ m2 ,视局部发热 源而定 。局部发热量较大的区域甚至要设置冷盘管 (DR Y CO IL) ,通过冷辐射消除负荷 。
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图 1 安利科技园平面图
洁净室是随着现代工业的发展 ,对实验 、研究和生产的
根据业主提供的气象参数和生产工艺的要求 ,室内外的
环境要求越来越高而出现的 ,目前国内的洁净厂房级别的划 参数如下 :
分基本根据《洁净厂房设计规范》( GBJ 73 - 84) 和《洁净室施
火分区 ,事故通风采用每小时 15～20 次 。不同等级的洁净
8. 设备工程应与土建 、装饰等其余工种密切配合 、协调 ,
室的静压差不小于 4. 9Pa ,洁净室与室外压差不小于 9. 8Pa 。 才能保证洁净室成功的运行 。
回风口应设置烟感器 ,天花应布置有温感器 ,并与集中控制
9. Al PLAN T 已于 1998 年年初建成竣工 。在调试过程
产办公为主 ,四台菱合冷却塔置于冷冻机房的屋面 ,冷却水 到设定的参数状态 ,再通过高效过滤器送入工作区域 。
泵和冷冻水泵均置于主机房中 。此外洁净室内也配备了相
6. 制冷系统的原理图见图 6 。
表1
房间名称 换衣间 , G/ F PQC , G/ F CR , G/ F 洗衣房 , G/ F
2. 洁净厂房要维持一定的洁净度 ,必须保持一定的换气 量 。国家设计标准中对于洁净室的换气次数是这样规定的 : 1k 级不小于 50 次 ,一般取值为 80n/ h ;10k 级不小于 25 次 ,
一般取值为 30～40n/ h ;100k 级不小于 15 次 ,一般取 20n/ h ;
洁净空调系统方案具有一般系统所不同的特点 ,由于系
含局部 100 级工作台的洁净室 。1/ F 主要以组装为主要功 统循环风量较大 ,室内为满足上述室内设计参数 ,减少空调
能 ,包括 10k 级 、100k 级的洁净室 。
设备对室内洁净度的影响 ,保证室内正压的实现 ,从而优选
一 、Al 厂房的洁净空调设计方案
[ 参考文献 ] [ 1 ] 许钟麟. 洁净室设计[ M ] . 北京. 地震出版社 ,1988
室的空气品质控制已经到了非常严格的地步 ,选用设备的运
[ 收稿日期 ]1999 - 04 - 11
面积 ,m2
210
1820
220
45
吊顶高度 ,m
3. 0
2. 5
2. 5
3. 0
设计温度 , ℃
21 ±2
21 ±2
21 ±2
21 ±2
室内相对湿度 , %
—
60 ±5
60 ±5
—
洁净级别
10k
1k (100)
1k
10k
噪音值 ,dB
< 65
< 65
< 65
< 65
室内人员 ,人
—
620
40
—
冷负荷 ,RT
空气品质恶劣 ,多了又造成新风负荷过大 。一般说来 ,新风 量值在如下最大值中选取 :
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图 6 空调水系统模式图
(1) 乱流洁净室总风量的 10 %～ 30 % ,层流洁净室的 行工况直接关系到室内温湿度的变化 ,因而也直接关系到电
2 %～4 % ;
子产品质量和效益 。本工程室内的装饰材料大都从新加坡
5μm 的尘粒数目为测试衡量标准 。
(2) 室内设计参数 室内干球温度 21 ±2 ℃;室内相对湿
Al PLAN T 主要为计算机硬盘读写磁头的组装 、检测厂 度 60 ±5 %。
房 ,是整个安利科技园中最先建设的工程 。厂房分为 G/ F、1/ F
2. 空调设计方案
两层 , G/ F 主要以 PQC、培训等功能为主 ,包括 10k 级 、1k 级
图 3 G/ F 层洁净空调平面图
3. 空调 、制冷机房的设置
应的风淋室 、传递窗 、余压阀和疏散门 。
制冷机房设在 1/ F ,内置 5 台开利 30 HR - 250 往复式冷
4. 净化空调系统设计工况统计结果见表 1 。
水机组 ,4 用 1 备 。G/ F、1/ F 每层均设有空气处理机房 ,共
采用低速送风的全空气系统 (见图 2～3) ,同时系统负荷中设 备发热量占有较大比重 ,系统 24 小时运行 ,相对而言 ,冷负
1. 设计参数
荷比较恒定 ,因而选择易于维修 、保养的设备 。
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图 2 1/ F 平面洁净空调平面图
100 级已经达到层流室的要求 ,一般取值在 300～400n/ h 左 右 。所以 ,大风量 、小冷量是洁净室设计的一个特点 ,通常通 过在空气处理单元中加旁通阀解决这个问题 ,而对于 100 级 的洁净室 ,因为循环风量太大 ,无法用太大的送风机 ,则通过
在天花板中均布带风机高效过滤器 ( FFU) 解决这个问题 。 3. 洁净室新风量的取值也是非常重要的 ,少了会使室内
< 65
< 65
—
1000
—
31
429
16. 6
383
510
390
160030000Fra bibliotek600
—
13000
—
18000
354000
9300
21
40
21
小计 5845
868
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图 4 10 K/ 100 K 洁净室运行模式图
图 5 100 级/ 1 K 洁净室运行模式图
5. A1 PLAN T 洁净室的送风原理见图 4～5 。
计 23 台约克 YSM 型空气处理单元 。洗衣房 、发电机房 、高
室外新风经碳滤器后进入 AHU 的混合段与室内大量回
低压配电间 、压缩空气机组 、纯水房置于 G/ F 层 ,1/ F 层以生 风混合 ,而后经初 、中效过滤器 ,盘管与旁通去湿后 ,空气达
广东东莞安利科技园 (见图 1) 是广东省最大的引进外资 的开发区 ,若干跨国公司将此地建设成电子类产品原材料的 供应站和生产基地 ,主要生产电脑硬盘读写磁头等器件产 品 ,产品供应 IBM 、SEA GA TE 等驰名世界的厂家 。这种磁 头的生产需要环境的洁净度标准非常高 ,因为颗粒直径为 5μm 的粉尘都可能造成电极的击穿 ,一般厂房洁净室要求具
系统接驳 。
中 ,除湿度控制出现一些问题外 ,其余参数如温度 、断面气流
5. 高效过滤器 ( HEPA FIL TER) 的分布应尽可能均匀 , 速度 、空气尘粒测试等均达到设计要求 。后改用超声波加湿
不应有气流死角和气流短路 ,工作台顶端应保持满布或几乎 控制后 ,现已运行良好 ,投入使用 。
满布高效过滤器 。 6. 应选用高质量的建筑设备 、建筑装饰产品 ,因为洁净
电子厂房洁净室设计及探讨
[ 摘 要 ] 结合具体的工程实例 ,阐述了工业洁净厂房通风空调系统设计的一些要求 。概括介绍了安利科技园 厂房的空气品质调节和冷水系统 ,同时对这一领域的项目作出总结 。
[ 关键词 ] 洁净厂房 ; 通风空调 ; 空气品质调节 ; 设计 [ 中图分类号 ] [ 文献标识码 ] [ 文章编号 ]
(2) 补偿室内排风和保证室内 正 压 ( 一 般 不 小 于 5 ～ 和韩国进口 ,保证了系统的正常运转 。
10 Pa) ;
7. 由于系统对温湿度控制要求的严格 ,洁净系统的自动
(3) 保证不小于 40m3/ 人 (可适度放低) 。
控制水准要求也非常高 ,本工程全套自控系统由江森公司设
4. 系统设计中 ,应考虑事故排风量 ,并应划分相应的防 计 。
24
288
51
9. 3
冷指标 ,W/ m2
401
556
812
728
新风量 ,m3/ h
1200
18600
4800
1050
排气量 ,m3/ h
—
5000
4000
1000
循环风量 ,m3/ h
19000
190000
24000
4500