真空系统
• 真空系统的组成：机械泵、扩散泵、离子泵、 真空管道、循环水系统等
IP
电子枪
镜筒
RP
照相室 DP
数据采集系统
• 数据采集系统包括：CCD数据采集系统、 PHOTO采集系统；
高压及其电源系统
• 高压箱、高压电缆、高压瓷瓶、电子束发 射枪、电源等。
电子控制系统
• 电源控制系统、电子束调整系统、电子光 路调整系统、电子成像控制系统、真空控 制系统、模式选择系统等。
2.透射电子显微镜的基本工作原理
电子光学系统产生一 束高能电子束。经 过透镜、物镜、消 像散等系统的调整， 形成一束近似平行 光的电子束，作用 于试样。电子束与 试样将发生各种各 样的作用。主要形 成透过电子、弹性 散射电子、非弹性 散射电子
合作愉快
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