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OVALE/WI-K-400 版次 A.0 制定日期 2013-1-7-
静电测试作业指导书
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OVALE/WI-K-400 一、目的： 1.1.为静电防护外围环境设施检测办法提供一个系统的管制方式,以求完善管理我司静电防护 设备的检测系统 1.2.定义 ESD 材料或相关设施的测试方法，测试周期，及标准范围，并将测试数据记录于 《OVALE 静电测试记录表》中（编号 OVALEQR-K-46A） 二、 适用范围： 适用于本公司保护 ESD 敏感性电子组件及产品所使用的所有相关材料及设备的测试指导 三、名词解释： 3.1.ESD：Electro Static Discharge，静电释放。
概念中需要特别注意的地方，就是释放，它 是一个动态的过程，是指静电消散的过程。
3.2.EPA：ESD Protect Area，静电防护区域。
四、测量方法： 4.1.静电鞋的测量： 4.1.1 用表面电阻测试仪的两只夹子分别夹于同一只静电鞋的不同位置，测量其表面电阻， 如图所示：
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静电鞋表面电阻为 3*105Ω≤R≤1*1011Ω
4.2.静电衣﹑帽表面电阻的测量：
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4.2.1.静电衣表面电阻测试时，用表面电阻测试仪一只夹子夹住静电衣一袖内壁，另一只夹 子夹接至同一袖外壁，按下测试仪，待仪表稳定后，读取测量数值；再分别依法测试两前胸 ﹑一口袋﹑一衣袖；测量如图所示：
静电衣﹑帽表面电阻为：1*105Ω≤R≤1*109Ω 4.3.静电手环的测量： 4.3.1.有线静电环的测量：用表面电阻测试仪的一只夹子夹住静电环的扣的金属扣，另一只 夹子夹住静电环线带的夹子，测量其电阻，如下图左所示：
4.3.2.无线静电环的测量：用表面电阻测试仪的一只夹子夹住静电环的扣的金属扣，另一只 夹子夹住静电环扣的螺丝，测量其电阻，如上图右所示： 静电环电阻范围为：3*105Ω≤Rg≤1*107Ω
4.4.手套、指套表面电阻的测量： 使用表面电阻测试仪，对手套﹑指套的表面电阻进行测量，如下图所示：
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手套、指套表面电阻为： 1*105Ω≤Rp≤1*109Ω 4.5.静电接地线的测量： 用万用表一表笔接车间内第一线的 ESD 接地线，另一表笔接第二线的 ESD 接地线，依次进 行测试车间内的 ESD 接地线；参照图如下： 第一线 ESD 接地线 万用表笔一
万用表
万用表笔二 第二线 ESD 接地线 静电接地线电阻：R ≤10Ω 4.6.设备、仪器软、硬接地的测量： 4.6.1.硬接地：用万用表一表笔接到地线上，另一表笔接到设备、仪器的金属外壳，测试其 电阻值，参照下图左所示；
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4.6.2.软接地：用表面电阻测试仪一只夹子夹住设备、仪器的金属外壳，另一夹子夹住设备 仪器下面的静电皮，测量其阻值，如上图右所示。
硬接地电阻值：R ≤10Ω 软接地电阻范围：3*105Ω≤Rs≤1*109Ω 4.7.工作台面静电皮的测量： 4.7.1.工作台面静电皮表面电阻的测量：表面电阻测试仪放置到台面静电皮上按下测试仪， 或用表面电阻测试仪两只夹子分别夹于同一块静电皮不同位置，待仪表稳定后读数；至少测 试 3 个不同位置的值，如下图左所示：
4.7.2.工作台面静电皮系统电阻的测量：表面电阻测试仪一只夹子夹于静电皮上，另一只夹 子夹于静电接地线上，测量其电阻值，如上图右所示。
工作台面静电皮表面电阻为：3*105Ω≤Rp≤1*1010Ω 工作台面静电皮系统电阻为：3*105Ω≤Rs≤1*1010Ω 4.8.周转箱、盒、盘等中间运输容器的表面电阻的测量： 表面电阻的测量方法是将表面电阻测试仪的两只夹子分别夹于器具表面极的不同地方(如 工作台面表面电阻的测试方法)，至少选取 3 个测试点，得出两点之间的电阻值。
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一般要求表面电阻为：1*105Ω≤Rp≤1*109Ω 4.9.传送带的测量： 4.9.1.传送带表面电阻的测量：表面电阻测试仪放置到传送带表面上按下测试仪，或用表面电 阻测试仪两只夹子分别夹于传送带不同位置，待仪表稳定后读数；至少测试 3 个不同位置的 值，如下图左所示：
4.9.2. 传送带系统电阻的测量：表面电阻测试仪一只夹子夹于传送带上，另一只夹子夹于静电 接地线上，测量其电阻值，如上图右所示。
传送带表面电阻为：1*105Ω≤Rp≤1*1011Ω 传送带系统电阻为：1*105Ω≤Rs≤1*1011Ω 4.10.测试夹具静电电压的测量： 用普通的防尘布或擦拭布，或其他不防静电的泡棉之类物件，在测试夹具上摩擦数次，再用 静电测试仪，对准测试夹具，测量其静电电压，如下图所示。
测试夹具静电电压为：U≤200V 4.11.电烙铁、焊接设备漏电压测量：
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用万用表一表笔接触烙铁头，另一表笔接地，量测其电压，其电压范围为：U≤20V
4.12.静电刷子、清洁布等辅助工具的静电电压测量： 将辅助工具摩擦后，再用静电测试仪测量其静电电压，如图所示：
辅助工具静电电压范围为：U≤200V 4.13. 能产生静电之材料表面静电压的测试：（试验参考） 先用塑料摩擦一下被测试物体，将静电测试仪对准待测试材料，读取数值，小于 150V 表示 合格，若读取数值无法降至 150V 以下时，表示不合格，需及时做出改善动作，改善 OK 后 再次检测。
一般要求 EPA 内所有材料/设备表面的安全静电压小于或等于+\-150V 五、参考文件 5.1. OVALEQR-K-46A《OVALE 静电测试记录表》
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