万方数据万方数据万方数据万方数据万方数据万方数据磁控溅射技术及其发展作者：李芬， 朱颖， 李刘合， 卢求元， 朱剑豪， LI Fen， ZHU Ying， LI Liu-he， Lu Qiu-yuan， ZHU Jian-hao作者单位：李芬,朱颖,李刘合,LI Fen,ZHU Ying,LI Liu-he(北京航空航天大学,机械工程及自动化学院,北京,100191)， 卢求元,朱剑豪,Lu Qiu-yuan,ZHU Jian-hao(香港城市大学,应用物理及材料系,香港)刊名：真空电子技术英文刊名：VACUUM ELECTRONICS年，卷(期)：2011(3)被引用次数：53次1.贾嘉溅射法制备纳米薄膜材料及进展[期刊论文]-半导体技术 2004(7)2.王银川真空镀膜技术的现状及发展[期刊论文]-现代仪器 2000(6)3.吴大维,曾昭元,刘传胜,张友珍,彭友贵,范湘军高速钢镀氮化碳超硬涂层及其应用研究[期刊论文]-核技术2003(4)4.孙银洁,马林,齐宏进磁控溅射法制备防水透湿织物[期刊论文]-高分子材料科学与工程 2003(4)5.王合英,孙文博,陈宜宝,何元金磁控溅射镀膜过程中非均匀磁场中电子的运动[期刊论文]-物理实验 2008(11)6.闫绍峰,骆红,廖国进,巴德纯,闻立时掺杂浓度对中频反应磁控溅射制备Al2O3：Ce3+薄膜发光性能的影响[期刊论文]-真空 2009(2)7.贾芳,乔学亮,陈建国,李世涛,王国锋磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电膜的性能研究[期刊论文]-光电工程2007(12)8.方亮,彭丽萍,杨小飞,黄秋柳,周科,吴芳,刘高斌,马勇磁控溅射制备In掺杂ZnO薄膜及NO2气敏特性分析[期刊论文]-重庆大学学报（自然科学版） 2009(9)9.林东洋,赵玉涛,甘俊旗,程晓农,戴起勋钛合金表面磁控溅射制备HA/YSZ梯度涂层[期刊论文]-材料工程 2008(5)10.Brauer G;Szyszka B;Vergohl M Magnetron Sputtering-Milestones of 30 Years 201011.戴达煌;刘敏;余志明薄膜与涂层现代表面技术 200812.赵嘉学,童洪辉磁控溅射原理的深入探讨[期刊论文]-真空 2004(4)13.郭明,王凤杰调整磁场强度分布提高靶材利用率[期刊论文]-玻璃 2003(3)14.刘翔宇,赵来,许生,范垂祯,查良镇磁控溅射镀膜设备中靶的优化设计[期刊论文]-真空 2003(4)15.常天海高磁场强度的矩形平面磁控溅射靶的设计[期刊论文]-真空与低温 2003(1)16.徐万劲磁控溅射技术进展及应用（下）[期刊论文]-现代仪器 2005(6)17.李德元;赵文珍;董晓强等离子体技术在材料加工中的应用(第1版) 200518.徐万劲磁控溅射技术进展及应用（上）[期刊论文]-现代仪器 2005(5)19.Window B;Savvides N Unbalanced DC Magnetrons as Sources of High Ion Fluxes 1986(2A)20.Savvides N;Window B Unbalanced Magnetron IonAssisted Deposition and Property Modification of Thin Films 1986(2A)21.许生,侯晓波,范垂祯,赵来,周海军,吴克坚,高文波,颜远全,查良镇硅靶中频反应磁控溅射二氧化硅薄膜的特性研究[期刊论文]-真空 2001(5)22.W. D. Sproul High-rate reactive DC magnetron sputtering of oxide and nitride superlattice coatings[外文期刊] 1998(4)23.Heister U;Krempel-Hesse J;Szczyrbowski J TwinMag II:Improving an Advanced Sputtering Tool 200024.Belkind;Freilich A;Song G Mid-Frequency Reactive Sputtering of Dielectrics:Al《'2》O《'3》 200325.赵印中,王洁冰,邱家稳,许旻,李强勇用交流孪生靶磁控反应溅射法制备ITO薄膜[期刊论文]-真空与低温2003(1)26.P. J. Kelly;J. Hisek;Y. Zhou Advanced coatings through pulsed magnetron sputtering[外文期刊] 2004(3)27.余东海,王成勇,成晓玲,宋月贤磁控溅射镀膜技术的发展[期刊论文]-真空 2009(2)28.Boo Jin-Hyo;Jung Min Jae;Park Heon Kyu High-Rate Deposition of Copper Thin Films Using Newly Designed High-Power Magnetron Sputtering Source 200429.Musil J;Vlcek J A Perspective of Magnetron Sputtering in Surface Engineering 199930.Kouznetsov Vladimir;Macak Karol;Schneider Jochen M A Novel Pulsed Magnetron Sputter Technique Utilizing Very High Target Power Densities 199931.吴忠振,朱宗涛,巩春志,田修波,杨士勤,李希平高功率脉冲磁控溅射技术的发展与研究[期刊论文]-真空2009(3)32.Ehiasarian A P;New R;Munz W D Influence of High Power Densities on the Composition of Pulsed Magnetron Plasmas 20021.王怀义.刁训刚.王聪.郝维昌.王天民.WANG Huai-yi.DIAO Xun-gang.WANG Cong.HAO Wei-chang.WANG Tian-min 一种增磁装置在磁控射频溅射制备薄膜中的应用[期刊论文]-功能材料与器件学报2011,17(3)2.林东洋.赵玉涛.张钊用磁控溅射技术制备钛合金表面HA生物涂层[期刊论文]-生物骨科材料与临床研究2004,1(5)3.钟江泉.周天勇.刘威明非平衡磁控溅射技术在刀具涂层上的应用[期刊论文]-技术与市场2011,18(5)4.丁娟.赵韦人.符史流.於元炯.DING Juan.ZHAO Wei-ren.FU Shi-liu.YU Yuan-jiong Ni52Mn26Ga22薄膜的马氏体相变和磁电阻[期刊论文]-金属功能材料2006,13(3)5.赵新民.狄国庆.朱炎外加磁场对磁控溅射靶利用率的影响[期刊论文]-真空科学与技术学报2003,23(2)6.王佐平.邢建东.胡奈赛.王伟.WANG Zuoping.XING Jiandong.HU Naisai.WANG Wei金属基类石墨复合膜微观组织结构分析[期刊论文]-热加工工艺2010,39(16)7.常立红能量过滤磁控溅射技术制备ITO薄膜及其性能研究[学位论文]20108.凌国伟.倪翰.萧域星磁控溅射技术的新进展[会议论文]-19981.张岿溅射制备材料的机理分析[期刊论文]-今日湖北（中旬刊） 2015(03)2.孙天乐脉冲磁控溅射电源关键技术研究[学位论文]硕士 20143.宁波磁控溅射电源控制系统的研究与设计[学位论文]硕士 20144.黄英,韩晶雪,李建军,常亮,张以忱直流磁控溅射中磁场强度和阴极电压对圆平面靶刻蚀形貌的影响[期刊论文]-真空 2013(03)5.王德山类金刚石碳膜磁控溅射抗剥离结合强度的实验研究[期刊论文]-廊坊师范学院学报（自然科学版）2014(06)6.马景灵,任风章,孙浩亮磁控溅射镀膜技术的发展及应用[期刊论文]-中国科教创新导刊 2013(29)7.朱明海,陈广彬,冯禹,龚楠,汪剑波磁控溅射制备Ti-Zn-O复合薄膜及其光学性质研究[期刊论文]-长春理工大学学报（自然科学版） 2014(01)8.臧侃,董华军,郭方准国产氩离子枪的研发[期刊论文]-物理 2014(01)9.崔世宇,缪强,梁文萍,徐一,杨晶晶,张志刚Ti2AlNb基合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜及扩散处理对其抗高温氧化性能的影响[期刊论文]-材料保护 2015(02)10.凤权,华谦,武丁胜,马坤强,苏信基于磁控溅射技术的非织造空气过滤材料的制备及性能研究[期刊论文]-产业用纺织品 2015(01)11.张锋,翟建广,梁志敏,王广卉类金刚石薄膜电极在污水处理中的应用[期刊论文]-上海工程技术大学学报2013(04)12.孙敏制备工艺对SiO2/PET复合包装膜结合强度的影响[学位论文]硕士 201313.武世祥NiFe薄膜各向异性磁电阻研究[学位论文]硕士 201414.何光宇,李应红,柴艳,张翼飞,王冠航空发动机压气机叶片砂尘冲蚀防护涂层关键问题综述[期刊论文]-航空学报 2015(06)15.陈庆明可控光流体热透镜[学位论文]硕士 201416.黄世龙基于6sigma的F公司PVD颜色稳定性改善研究[学位论文]硕士 201217.周一帆微Schwarzschild物镜的设计与MEMS制作研究[学位论文]博士 2013引用本文格式：李芬.朱颖.李刘合.卢求元.朱剑豪.LI Fen.ZHU Ying.LI Liu-he.Lu Qiu-yuan.ZHU Jian-hao磁控溅射技术及其发展[期刊论文]-真空电子技术 2011(3)。