分辨率
表征扫描电镜性能的最重要参数
优于17纳米无官方数据
标准金样品
放大倍数80-100,000x15-30,000x
见最后一页高倍照片
光学放大20-120x无
除光学放大之外,还可以实现样品
导航
电子枪灯丝
用来发射电子信号，单位束斑面积内电子数目越多，则从样品表面反馈回来的电子信号越多，对样品该区域形貌的表征细节越
丰富，高亮度、低色差
灯丝有助于提高图像分
辨率。
CeB6晶体钨灯丝CeB6晶体色差低、亮度高（单位面
积产生的信号是钨灯丝10倍，如下
图所示）1500 h寿命，这种灯丝要
求在高真空环境下使用，然而成像
又需要低真空，因此要求制造商具
备顶尖的真空分离和真空封锁技术。
低亮度，40-80h寿命
加速电压
高加速电压可以提高分辨率，但会造成样品的损伤和穿透效应，对低原子序数样品尤为严重，真正体现扫描电镜的技术含量是低电压下仍能得到高分辨率。
5kV，10kV，15kV5kV ,15kV
使用CeB6灯丝，即使在低加速
电压下，图片分辨率仍很高而且
细节丰富。
钨灯丝亮度低,对加速电压要求高,
5kV下图像质量差
台式扫描电镜对比表： Phenom飞纳 vs. 日立钨灯丝台扫
蓝色部分为被观测区域产生的电子数目，电子数目越多，细节越丰富蓝色部分为被观测区域产生的电子数目，电子数目越多，细节越丰富
信号探测：背散射电子探测器在15到30纳米的分辨率前提下，背散射电子和二次电子在分辨率上的优势相差不大，然而，探测背散射信号却允许设备在操作方便性，成像模式以及样品前处理方面有很多探测二次电子的设备所没有的优势
四分割背散射电子探测器四分割背散射电子探测器
高灵敏度的半导体探测器，
优势如下：
1. 背散射电子：同时提供成
分和形貌信息；
2. 背散射电子允许用低真空
观测，奶粉样品无需喷金直
接观察；
3. 可直观从灰度上看到杂
质；
4. 不怕震动
成像时间
快速成像有利于提高测试效率，主要包括预抽真空时间和图像扫描时间
30秒3分钟
只对样品杯抽真空，预抽时间
12秒；一般一小时可以观察20
个样品；
须对整个大样品腔抽真空；预
抽时间120秒；一般一小时观
察5个样品；
低真空技术
可实现不导电样品不喷金直接观看。
扫描电镜充电现象的原因是因为，当被观测样品不导电时，样品表面累积电荷形成电场，影响新入射电子轨迹，图像发白，无法观看。
喷金可使绝缘体导电，将累积电子通过地线导走，但是增加前处理程序。
解决充电问题的核心是保持观测样品电中性，如果舱内有正离子中和样品表面的电子，就可解决问题。
低真空技术正是保持舱内有一定的空气，这些空气被电离，产生正离子中和无法导走的电子。
真空度最高60Pa真空度最高50Pa
Phenom world（源自飞利浦）
其Quanta环境扫描系列电镜
利用低真空技术直接观察活体，
且真空分级设计保证低真空下
灯丝寿命不受影响，灯丝舱与
样品仓是完全隔离的。
以下为
头发8000倍照片未充电照片
日立在低真空领域并没有世界
领先的技术，且没有舱分离的
设计，低真空模式下会严重影
响钨灯丝寿命：灯丝使用的时
候达到2000多度，此时舱内
空气含量高，灯丝易氧化，寿
命锐减为40小时，以下为头发
8000倍照片充电照片
Phenom飞纳日立TM-3030装样方式专利样品杯：普通装样
样品台和导航界面
可以体现扫描电镜的操作是否简单易用
自动样品台手动样品台
移动样品，直接在高倍下切换样品或者
观测区域配合光学与电子导航，点击鼠
标就可迅速移动到预观察位置
无样品导航，更换样品或观测区域时，需
要先调节到低倍数，并手动旋转X轴和Y
轴的旋钮来移动样品台，移动范围难以精
确控制
自动灯丝对中有无
自动对焦、对比度和亮度有有
真空系统分子泵+隔膜泵分子泵+隔膜泵主机尺寸286 x 556 x 495330×606×565重量50kg 63kg
操作系统 Linux Windows
对病毒免疫
图像大小2048 x 2048/1024 x 10241280 x 960/640×480图像格式TIFF、BMP、JPEG TIFF、BMP、JPEG
拓展功能 *能谱仪
*控温样品台（直接观看牛奶）
*自动旋转倾斜样品台
*纤维自动测量分析系统
*3D重构，粗糙度测量系统
（见下图）*能谱仪
选区扫描的信号较弱，点扫描比较困难
第三方能谱仪，需要额外控制器，X射线探测器与样品表面平行，这种设计探头能吸收到的X射线信号较少
售后服务Phenom-world 中国公司天美公司
检测：配置远程检测，国内外工程师可以联网进行远程监测调试和确诊，维修周期和成本会降低。
检测：问题出现后，服务工程师须到场确诊维修。
响应时间：8小时内响应，24小时内给出解决方案，如有必要48小时内上门服务。
响应时间：不明确
防震设计有无
专利样品杯装样，灯丝和探测器位置相对固定的防震设计螺丝杆装载样品，螺丝杆在舱内上下容易晃动，因此设备对震动很敏感
Phenom飞纳日立TM-3030
飞纳电镜10万倍照片
4。