近年来 ， 在世界 范围内 ， 对新 型光学仪器及其 分 辨 率 的研 究 成 为 光 学 领 域研 究 的 热点 。无 论 是 军事 领 域 还是 民用领 域 ， 都 对 光 学成 像 系统 的分辨
率提 出了更 高 的要 求 。光 学超 分 辨技 术 ， 作 为 光学 工程 领 域 内 的一 前沿 研ຫໍສະໝຸດ 究课 题 ， 不仅 涉及 到光 学成
Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ： Ｗｉ ｔ ｈ ｔ ｈ ｅ ｃ ｏ ｎ ｔ ｉ ｎ ｕ ｏ ｕ ｓ ｐ ｕ ｒ ｓ ｕ ｉ ｔ ｏ ｆ ｏ ｐ ｔ ｉ ｃ ａ ｌ ｉ ｎ ｓ ｔ ｒ ｕ ｍｅ ｎ ｔ ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ， ｔ ｈ ｅ ｃ ｏ ｎ ｃ ｅ ｐ ｔ ｏ ｆ ｓ ｕ ｐ ｅ ｒ — ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｉ ｓ ｐ ｒ ｅ —
牛亚军 ， 查为 懿 ， 常 军 ， 沈本 兰 ， 杨 海波 ， 闫秀生 ， 田 宏。
（ １ ． 北京理工大学 ， 北京 １ ０ ０ ０ ８ １ ； ２ ． 光 电信 息控制和安全技术重点实验室 ， 天津 ３ ０ ０ ３ ０ ８ ）
摘
要： 随着人们对光 学仪器分辨率 的不懈追求 ， 出现 了超分辨这一概念 。文 中主要研究介绍 了显微镜和投影光刻 系统 中
ａ ｒ ｅ ｍａ ｉ ｎ ｌ ｙ ｒ ｅ ｓ ｅ ａ ｒ ｃ ｈ ｅ ｄ ａ ｎ ｄ ｉ ｎ ｔ ｒ ｏ ｄ ｕ ｃ ｅ ｄ ． Ａｎ ｄ ｔ ｈ ｅ ｄ ｉ ｆ ｆ ｅ ｒ ｅ ｎ ｃ ｅ ａ ｎ ｄ ｒ ｅ ｌ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ ｔ ｈ ｅ ｓ ｕ ｐ ｅ ｒ － ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ｂ ｅ ｔ ｗｅ ｅ ｎ
ｉ Ｓ ｓ ｕｍｍａ ｒ ｉ ｚ ｅ ｄ ．
Ｋ ｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄ ｓ ： ｓ ｕ ｐ ｅ ｒ － ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ； ｍｉ ｃ ｒ ｏ ｓ ｃ ｏ ｐ ｙ ； ｐ ｒ ｏ ｊ ｅ ｃ ｔ ｉ ｏ ｎ ｌ ｉ ｔ ｈ ｏ ｇ ｒ ａ ｐ ｈ ｙ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ； ｏ ｐ ｔ ｉ ｃ ａ ｌ ｉ ｎ ｓ ｔ ｕｍ ｒ ｅ ｎ ｔ ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ
存在一定尺寸 ， 信号被再次畸变 ， 对应几何分辨率 ；
第 三个 子 系 统则 是 电路 ， 因探 测 器 每个 单元 都 存 在
各类噪声 ， 这 将 限制 最 后 得 到 的输 出信 号 ， 对应 噪
像 系统设计 ， 同时也是图像采集和处理领域关注的 问题 ｌ 。如 何 实 现成 像 系统 的超分 辨 成 为光 电探测
ｓ ｅ ｎ ｔ ｅ ｄ ． Ｓ ｅ ｖ ｅ ｒ ａ ｌ ｋ ｉ ｎ ｄ ｓ ｏ ｆ ｓ ｕ ｐ ｅ ｒ － ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｉ ｅ ｓ ｉ ｎ ｔ ｈ ｅ ｏ ｐ ｔ ｉ ｃ ａ ｌ ｍｉ ｃ ｒ ｏ ｓ ｃ ｏ ｐ ｙ ａ ｎ ｄ ｐ ｒ ｏ ｊ ｅ ｃ ｔ ｉ ｏ ｎ ｌ ｉ ｔ ｈ ｏ ｇ ｒ ａ ｐ ｈ ｙ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ
ｔ ｈ ｅ ｔ ｗ ｏ ｓ ｕ ｐ ｅ ｒ － ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｐ ｒ ｏ ｊ ｅ ｃ ｔ ｉ ｏ ｎ ｌ ｉ ｔ ｈ ｏ ｇ ｒ ａ ｐ ｈ ｙ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍｓ ａ ｒ ｅ ｃ ｏ ｍ ｐ ａ ｒ ｅ ｄ ． Ａ ｎ ｄ ｔ ｈ ｅ ｏ ｐ ｔ ｉ ｃ ａ ｌ ｓ ｕ ｐ ｅ ｒ － ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｙ ｇ
Ｒｅ ｓ ｅ ａ ｒ ｃ ｈ ｏ ｎ Ｏｐｔ ｉ ｃ ａ ｌ Ｓ ｕｐｅ ｒ － ｒ ｅ ｓ ｏ ｌ ｕｔ ｉ ｏ ｎ Ｔｅ ｃ ｈｎｏ ｌ ｏｇ ｙ
Ｎ Ｉ Ｕ Ｙ ａ － ｊ ｕ ｎ ， Ｚ Ｈ Ａ Ｗｅ ｉ — ｙ ｉ ， Ｃ Ｈ ＡＮ Ｇ Ｊ ｕ ｎ ， Ｓ ＨＥ Ｎ Ｂ ｅ ｎ － ｌ ａ ｎ ， Ｙ Ａ ＮＧ Ｈａ ｉ － ｂ ｏ ， Ｙ ＡＮ Ｘ ｉ ｕ — ｓ ｈ ｅ ｎ ｇ ２ ， Ｔ Ｉ Ａ Ｎ Ｈｏ ｎ ｇ
．
Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｉ ｎ ｓ ｔ ｉ ｔ ｕ ｔ ｅ ｏ ｆＴ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ， Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ １ ０ ０ ０ ８ １ ， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ；
２ ． Ｋ ｅ ｙ Ｌ ａ ｂ ｏ ｒ ａ ｔ ｏ ｒ ｙ ｆＥ ｏ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ － ｏ ｐ ｔ ｉ ｃ ａ ｌ Ｉ ｎ ｆ ｏ ｒ ｍ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｃ ｏ ｎ ｔ ｒ ｏ ｌ ａ ｎ ｄ Ｓ ｅ ｃ ｕ ｒ ｉ ｔ ｙ Ｔ ｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ， Ｔ ｉ ａ ｎ ｊ ｉ ｎ ３ ０ ０ ３ ０ ８ ， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ）
的几种光学超 分辨技术 ， 并 比较了两类系统超分辨技术 的不同和联 系， 对光学超分辨技术进行总结 。 关键 词： 超分辨 ； 显微镜 ； 投影光刻系统； 分辨率
中 图分 类 号 ： Ｔ Ｈ ７ ４ ２ 文 献 标 识码 ： Ａ 文 章 编号 ： １ ６ ７ ３ ． １ ２ ５ ５ （ ２ ０ １ ７ ） ． ０ ４ — ０ ０ ０ ８ ． ０ ６
第３ ２ 卷第 ４ 期 ２ ０ １ ７ 年８ 月
光 电技术应 用
ＥＬ ＥＣＴ ＲＯ— ＯＰ ＴＩ Ｃ Ｔ ＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＡＰ Ｐ ＬＩ ＣＡＴ Ｉ ＯＮ
Ｖ ｏ １ ． ３ ２， Ｎｏ ． ４
Ａｕ ｇ ｕ ｓ ｔ ， ２ ０１ ７
・
光 学设 计 ・
几 种 光 学 超 分 辨 技 术 研 究