第六章新型半导体薄膜材料本章主要介绍硅基非晶半导体薄膜材料的结 构特点、制备方法、光学和电学特性以及这 些材料的研究现状。
同时还将介绍微晶Si薄 膜和多晶Si薄膜的结构特点、制备方法及其 应用。
在应用方面，将重点介绍高效率、长 寿命、低价格、大面积非晶硅（a-Si:H）太 阳能电池的工作原理及发展现状。
概 述 新型半导体薄膜材料的研究与发展，主要 是以研究和发展非晶态半导体薄膜材料制 备与器件应用最为活跃，已成为材料学科 的一个重要组成部分 随着非晶态半导体在科学和技术上的飞速 发展，它已在高新技术领域中得到广泛应 用，并正在形成一类新兴产业。
例如，用高效、大面积非晶硅（a-Si:H）薄 膜太阳电池制作的发电站已并网发电（它是 无任何污染的绿色电源）；用a-Si薄膜晶体 管制成的大屏幕液晶显示器和平面显像电视 机已作为商品出售；非晶硅电致发光器件和 高记录速度大容量光盘等。
也正在向实际应 用和商业化方向发展。
大量事实说明，研究非晶态半导体薄膜材料 的意义不仅在于技术上能够产生新材料、新 器件和新工艺，而且对于认识固体理论中的 许多基本问题也会产生深远的影响。
硅基非晶态半导体薄膜“非晶”固体或“无定形”（Amorphous）固 体是一种不具有晶体结构的固体。
通常“非晶” 或“无定形”是同义词。
但是，严格说来，所 谓“非晶”就是指那些不结晶的物质。
液体等 也包括在内。
所谓“无定形”是指“玻璃态”的 物质。
“玻璃”这一术语多半是指将熔化状态 的物质通过冷急法冻结成的固体。
非晶硅材料的一般特性非晶硅（Amorphous Silicon或Non-crystalline silicon，简称a-Si）是近代发展起来的一种新型非 晶态半导体材料，非晶硅是当前非晶半导体材料和 器件的研究重点和核心。
同晶体硅相比，它的最基本特征是组成原子没有长 程有序性，只是在几个晶格常数范围内具有短程有 序。
原子之间的键合十分类似晶体硅，形成一种共 价无规网络结构。
非晶硅材料的一般特性另一特点是：在非晶硅半导体中可以实现连续的 物性控制。
当连续改变非晶硅中掺杂元素和掺杂量时，可 连续改变电导率、禁带宽度等，如用于太阳电池的掺 硼（B）的p型a-Si材料和掺磷的n型a-Si材料，它们 的电导率可由本征a-Si的约10-9 s/m提高到10-2～1 s/m。
本征a-Si材料的带隙约1.7eV，通过掺碳可获 得Eg>2.0eV的宽带隙a-SiC材料，通过掺入不同量的 Ge可获得1.7～1.4eV的窄带隙a-SiGe材料。
通常把 这些不同带隙的掺杂非晶硅材料称为非晶硅基合金。
非晶态半导体薄膜的分类 非晶半导体按其特性可分为两大类： 硅系化合物（C、Si、Ge及其合金） 硫系化合物（S、Se、Te及其合金）。
目前研究得最多、应用最为广泛的是氢化 非晶硅膜（a-Si:H）及硅基合金膜（如aSiC:H、a-SiN:H、a-SiGe:H等）。
非晶态半导体薄膜结构特点①在结构上，非晶半导体组成原子没有长程有序性 ②对于大多数非晶半导体，其组成原子都是由共价 键结合在一起的，形成一种连续共价键无规网络 ③非晶半导体可以部分实现连续的物性控制。
④非晶半导体在热力学上处于亚稳状态，在一定条 件下可以转变为晶态。
⑤非晶硅及其合金膜的结构、电学和光学性质，依 赖于它们的制备条件和制备方法。
⑥非晶半导体的物理性能是各向同性。
非晶硅薄膜的制备 非晶硅薄膜制备的常用方法：辉光放电法（glow discharge method）、射频溅射法（rfsputtering）、化学气相沉积法（CVD）、电子束 蒸发法（EBE）、电解沉积法、激光沉积法、等离 子体化学传输沉积法（PCTD）和超急冷法等。
目 前广泛采用的是辉光放电法。
辉光放电法制备非晶硅基薄膜的装置如图所示。
根 据辉光放电功率源频率的不同，辉光放电分为射频 （rf-13.56MHz）辉光放电、直流辉光放电、超高 频（VHF-70～150MHz）辉光放电等。
制备a-Si:H薄膜的辉光放电装置示意图非晶硅薄膜的制备 把硅烷（SiH4）等原料气体导入真空反应室中， 用等离子体辉光放电加以分解，产生包含带电离 子、中心粒子、活性基团和电子等的等离子体， 它们在带有TCO膜的玻璃衬底表面发生化学反应 形成a-Si:H膜。
故这种技术又被称为等离子体增 强化学气相沉积（PECVD）。
目前，为了提高沉积速度采用：甚高频或超高频 法（VHF-CVD）、等离子体增强CVD法 （PECVD）、微波法（MW-CVD）、微波电子 回旋共振CVD法（MW-ECR-CVD法）。
a-Si薄膜材料的研究近况 要想获得稳定的高质量的a-Si薄膜器件，就 必须有高质量的a-Si薄膜。
高质量a-Si薄膜 的标志，就是有最低的缺陷态密度（即载 流子的迁移率μ和τ寿命要大）和稳定的光 电导特性（即光照后性能不变）。
a-Si薄膜材料的研究近况S-W效应和H在a-Si中的作用 大量实验结果表明，用一般方法制备的a-Si薄膜，在经过 长时间的强光照射后，它的光电导特性出现明显的衰退现 象，称为光诱导效应或Staebler-wronski(S-W)效应。
由 于光诱导效应的存在，会使a-Si器件性能下降，稳定性变 差。
针对这个问题，近年来各国科学家都在研究这种效应产生 的原因和如何消除或降低S-W效应的工艺措施。
目前，在理论方面和制膜技术方面已获得了新的进展。
普 遍认为强光照射会在a-Si中产生新的亚稳缺陷态，而且认 为这种缺陷态是同a-Si:H中H的存在有密切关系。
化学退火和分层多次制膜技术为了获得高质量和光电性能稳定的a-Si薄膜，以减 少或消除S-W效应，经过近几年的努力，人们已摸 索到了一些新的制膜技术。
例如在等离子体化学气相沉积（PCVD）反应中， 提高衬底温度（直到450℃），使a-Si中含有少量的 H；在制备太阳电池中将P-a-SiC:H膜改为a-Si/aSiC，或改为a-Si/a-C:H多层膜，或改为a-SiO:H 膜，也可将a-Si的p-n结改为a-SiO:H的p-n结；将射 频功率源改为超高频功率源、微波功率源或微波电 子回旋共振（MW-ECR）功率源。
化学退火和分层多次制膜技术在这些技术中，最引人注目的是日本东京工业大学清水勇 （I.Shimizu）教授提出了一种新的制膜技术，称为化学退火 和分层多次（layer by layer）制膜技术，已获得了光电性能 稳定的高质量a-Si和poly-Si薄膜并受到各国学者的重视 这种化学退火和分层多次制膜技术的基本思想和工艺过程： 使用的气源分别是SiH4、SiF4和SiH2Cl2，微波源加在ECR 装置上。
他们认为： ①由于H的特殊化学性能，使H和Cl之间（对于用SiH2Cl2） 或H和F之间（用SiF4）会发生强烈的化学反应，从而有效地 增强了生长膜表面上的结构驰豫（重构），使表面能生成一 层硬的Si-网络（而不是Si-Si键）；化学退火和分层多次制膜技术②在制膜的过程中，不断地用原子H进行处 理，即在沉积了一薄层a-Si膜后，立即通入 H2并穿过ECR系统，经过处理后的H进行处 理，然后再沉积下一层a-Si膜，再进行H处 理……。
此方法中的①强调了H的化学反应使生长表 面重构（称化学退火）；此法中的②强调了 原子H对生长面的处理要多次和反复进行。
制膜设备和缺陷密度的测量的进展在制膜方面的进展主要有： ①反应室已由单室改为多室分离连续操作，对a-SiC:H，掺磷、 掺硼、未掺杂的i-a-Si:H、a-SiGe:H等薄层均分别单独进行， 以免相互污染。
另外，这些工艺是连续进行的，全部在密闭高 真空体条件下操作。
②气源是高纯的。
③制膜系统有很高的真空度，一般真空度达10-5～10-6Pa。
另 外采用无油系统，不用油扩散泵。
④在制备大面积太阳电池和薄膜晶体管中，一般采用了半导体 微电子技术中的集成技术，用激光刻蚀大大提高了成品率非晶半导体薄膜材料在光电器件方面 的独特性能①非晶硅及硅基合金材料，对太阳光有很高的吸收 系数，并产生最佳的光电导值。
例如，a-Si:H的光 吸收系数要比单晶硅（c-Si）高50～100倍，它的 光电导率与暗电导率之比可达106以上。
②很容易实现高浓度可控掺杂，并能获得优良的pn结，这是非晶硅材料在器件方面的最重要和最基 本的特性。
③可以在很宽的组分范围内控制它的能隙变化，如 a-Si及其合金的能隙Eg可以从1.0eV变到3.6eV（对 应于a-SiGe:H→a-Si:H→a-SiC:H）。
非晶半导体薄膜材料在光电器件方面 的独特性能④很容易形成异质结，并有十分低的界面态。
⑤沉积温度低，100℃<Ts<300℃。
⑥薄膜制作的工艺简单，仅通过各种气体源就可一 次性连续完成复杂器件的制作，而且可获得大面积 均匀薄膜（50cm×100cm），所以成本低，易实现 大批量生产。
⑦对衬底材料要求不高，可沉积于玻璃、石英、钢 片、陶瓷等类物质上；另外，完全与半导体微电子 技术中的各类集成化技术相兼容。
a-Si: H太阳能电池1）太阳能光伏知识 光生伏特效应简称为光伏效应，指光照使不均匀半导 体或半导体与金属组合的不同部位之间产生电位差的 现象。
2）太阳能电池的工作原理 所谓太阳能电池是一种对光有响应并能将光能转换成 电能的器件。
太阳能电池是指由光电效应或光化学效 应直接把光能转换成电能的装置。
太阳光照在半导体 P-N结上，形成新的空穴－电子对，在P-N结电场的 作用下，空穴由N区流向P区，电子由P区流向N区， 接通电路后就形成电流。
这就是光电效应太阳能电池 的工作原理。
光生伏特效应 当能量为hν的光子照射在半导体上，且该光子的 能量大于半导体禁带宽度Eg时，位于半导体价带 的电子由于得到光子的能量而跃迁到导带，产生 电子－空穴对，这就是本征光电导效应。
若光子 照射在PN结空间电荷区附近时、由于PN结内电 场的作用，在空间电荷区和一个扩散长度范围内 产生的电子被拉向N区，空穴则被拉向P区，于是 在PN结两端形成光生电动势，这种现象即为著名 的光生伏特效应，其本质就是由于吸收光辐射而 产生电动势的现象，它是半导体太阳能电池实现 光电转换的理论基础。
太阳电池具有很多优点 ① 同其他资源有限的能源（如石油、煤及 水力等）相比，太阳能（3kW/m2）是取之 不尽、用之不竭的能源。
② 这种电池是将光能直接转换成电能，不 经过任何中间能量的转换，不排出任何废 水、废气，不污染环境的清洁能源。
③ 太阳电池结构简单，同其他发电方式相 比，有最高的功率质量比，携带方便。