谢谢！
射频放电
微波放电
等离子体为介电媒质，电磁辐 射与等离子体为集体相互作用
微波等离子体技术
理论基础
01 02 03
2 理论基础
1
2 3
气体的微波击穿
微波传输系统中传输功率与模式场的关系 微波激励气体放电的电子速度分布函数 微波电子回旋激励系统中气体放电的击穿条件
4
5 6
微波放电能量馈入结构的要求 微波放电的击穿电场 微波电子回旋激励系统中的放电击穿功率
2 理论基础
微波等离子体的反应器结构
波导耦合型 圆柱谐振腔型
ECR(电子回旋谐振)型
2 理论基础
微波等离子体的反应器结构
波导耦合型
微波等离子体技术
应用现状
01 02 03
微波等离子灯
利用频率为2459MHz电磁能量来激励硫粉 等发光物质，使其在石英泡壳中形成等离子 体并发光的无极放电灯。
光通量 亮度 光效 相关色温
光强 照度 色温 显色指数
微波等离子灯
改变附加填充物对某一性能的改变（激励硫粉发光）
（1）氪85 提高灯泡的启动性能 （2）NaI等物质 改变硫灯相关色温 （3）低电离势物质 提高光色的空间均匀性，熄灭特性，起 辉可靠性等 （4）氙气 提高光效（同时加少量氩气，提高启动性能） （5）氖气，少量氩气 降低放电电压，缩短启动时间
改变主要发光物质
（1）InBr (溴化铟) 更接近太阳光谱，显色指数95，光效 高于100lm/W （2）SnBr2(二溴化锡)，汞为辅助填充物，缓冲气体氩气 配套光具 反光罩与导光管
微波等离子灯
理论基础
（1）发光原理
硫在高温下主要以S2分子存在。在高气压1MPa和高温640摄氏 度下，分子能级的激发引起紫外线辐射强烈的自吸收，使得 可见光大大加强。
（2）等离子体灯发光系统的光谱自吸收理论 （3）等离子体发光系统扩散控制的击穿机理
（4）微波等离子灯热状况理论分析
微波输入功率越大，能量传递过程更加充分，等离Байду номын сангаас体温度 上升，使趋肤效应的屏蔽作用更加明显
微波等离子灯
国内研究现状：
微波等离子体灯并没有真正推广原因
（1）没有真正的自主知识产权 （2）稳定性差、光色偏绿、寿命短等缺点没有攻克
微波等离子体技术 --学习汇报
Contents
01
02
03
微波等离子体技术
背景介绍
01 02 03
1 背景介绍 微波等离子体特点：
电子温度 产生气体范围 高 宽 5eV~15eV
大气压强～ 10-6Torr
1 背景介绍
方案
直流放电
现有放电技术
特点
有极放电，密度低，电离度低， 运行气压高 无极放电，密度与电离度有所 提高，但应用范围受限