微波等离子体设备

技术方案

1．设备简述：

微波等离子体设备由椭球谐振腔、真空室、沉积台、真空系统、气体流量控制系统、真空测量系统、水冷循环水压报警系统以及机架等组成。

示意图

2．设备结构

2.1椭球谐振腔

2.1.1 材料：椭球谐振腔采用优质不锈钢1Cr18Ni9Ti；

2.1.2 尺寸：径向450mm×轴向600mm，壁厚5mm，椭球边界满足方程式：(X2 /4502)+ (Y2 /6002)=1；

2.1.3 连接法兰：椭球谐振腔上下连接法兰可以独立拆卸，对微波密封；

2.1.4 观察窗：在椭球谐振腔的适当位置设置多个观察孔，使视线能看到石英钟罩内的等离子体和衬底，衬底和等离子体的位置，观察孔的尺寸以不泄漏微波为准（直径为≤2 mm的孔）；

2.2 真空室、沉积台

2.2.1 真空室：真空室采用石英钟罩Ф230mm；

2.2.2 沉积台：真空室内沉积台采用优质不锈钢，能够下降开启，方便移出真空室内样品；对沉积台设置水冷，水冷的主要部位为中心位置为50mm的圆及胶圈的密封部位，冷却能力今后要达到5kW；沉积台中心设置光纤测温孔

2.2.3 其它

2.2.3.1 沉积台设有轴向位置标尺；

2.2.3.2 Ф6mm手动放气阀；

2.2.3.3 进气口；

2.3 真空系统

2.3.1 真空机组: 机械泵,抽速2L/S；

2.3.2 真空阀门：手动挡板阀、针阀各1只；

2.3.3 真空测量：采用电阻真空计测量；

2.4 进气系统

采用三路质量流量计控制，每路均设有手动截止阀

 Ar: 200 ml /min

 H2: 200 ml /min

 CH4: 30 ml/min

2.5 微波电源系统

采用800W微波电源，矩形波导传输微波，同轴天线进行模式转换和将微波导入椭球谐振腔；

2.6 电气控制系统

2.6.1整套控制系统采用手动按钮控制，独立的电气控制柜；

2.6.2．控制内容：

2.6.2.1．机械泵的起、停；

2.6.2.2．在缺水情况下的报警系统；

2.6.2.3．气体流量显示；

2.6.2.4. 真空显示；

3．系统配置

序号 名称 参数 数量 生产厂家 备注

1 椭球谐振腔 径向450mm×轴向600mm，壁厚5mm，优质不锈钢 1台 泰科诺

2 天线部分 见实物，紫铜 1套 泰科诺 需方提供波导

3 连接法兰 2套 泰科诺

4 石英钟罩 Ф230mm 1台 定制 需方提供

5 放气阀 Ф6mm 1只 北京

6 机械泵 2L/S 1台 需方提供

7 主阀 手动（挡板）阀 1台 泰科诺

8 真空测量 电阻计及显示 1套 成都 需方提供

9 质量流量计 200sccm/50sccm 3只 七星华创 需方提供

10 微波电源 800W 1台 需方提供

11 电气控制系统 1套

12 水冷循环及缺水保护系统 1套

11 机架 1台 泰科诺

12 电控柜 1台 泰科诺

13 冷却循环水机 TCWS-2 1台 泰科诺