第二章 PSD 传感器与信号处理电路为了将电机轴的位置信号转换为相应的电信号，本文的传感器使用光电位置敏感器件PSD （Position Sensitive Detector ）。

本章介绍PSD 及其信号处理电路的工作原理及选型。

2.1 PSD 传感器的工作原理及选型传感器是一种以一定的精确度将被测量（如位置、力、加速度等）转换成与之有确定对应关系的、易于精确处理和测量的某种物理量（如电量）的测量部件或装置。

传感器在检测系统中是一个非常重要的环节，其性能直接影响到整个系统的测量精度和灵敏度。

如果传感器的误差很大，后面的测量电路、放大器等的精度再高也将难以提高整个系统的精度。

所以在系统设计时慎重选择传感器是十分必要的。

光电位置敏感器件PSD （Position Sensitive Detector ）是一种对其感光面上入射光斑重心位置敏感的光电器件。

即当入射光斑落在器件感光面的不同位置时，PSD 将对应输出不同的电信号。

通过对此输出电信号的处理，即可确定入射光斑在PSD 的位置。

入射光的强度和尺寸大小对PSD 的位置输出信号均无关。

PSD 的位置输出只与入射光的“重心”位置有关。

PSD 可分为一维PSD 和二维PSD 。

一维PSD 可以测定光点的一维位置坐标，二维PSD 可测光点的平面位置坐标。

由于PSD 是分割型元件，对光斑的形状无严格的要求，光敏面上无象限分隔线，所以对光斑位置可进行连续测量从而获得连续的坐标信号。

实用的一维PSD 为PIN 三层结构，其截面如图2.1.1所示。

表面P 层为感光面，两边各有一信号输出电极。

底层的公共电极是用来加反偏电压的。

当入射光点照射到PSD 光敏面上某一点时，假设产生的总的光生电流为I 0。

由于在入射光点到信号电极间存在横向电势，若在两个信号电极上接上负载电阻，光电流将分别流向两个信号电极，从而从信号电极上分别得到光电流I 1和I 2。

显然，I 1和I 2之和等于光生电流I 0，而I 1和I 2的分流关系取决于入射光点位置到两个信号电极间的等效电阻R 1和R 2。

如果PSD 表面层的电阻是均匀的，则PSD 的等效电路为图2.1.1〔b 〕所示的电路。

由于R sh 很大，而C j 很小，故等效电路可简化成图2.1.1 (c) 的形式，其中R 1和R 2的值取决于入射光点的位置。

假设负载电阻R L 阻值相对于R 1和R 2可以忽略，则有：（2.1.1）I I R R L x L x1221==-+式中，L 为PSD 中点到信号电极的距离，x 为入射光点距PSD 中点的距离。

式（2.1.1）表明，两个信号电极的输出光电流之比为入射光点到该电极间距离之比的倒数。

将I 0= I 1+I 2与式（2.1.1）联立得：l l 图2.1.1 PSD的结构及等效电路a)截面电路 b)等效电路 c)简化的等效电路（2.1.2）L xL I I 201-=（2.1.3）LxL I I 202+=从以上两式可以看出，当入射光点位置固定时，PSD 的单个电极输出电流与入射光强度成正比。

而当入射光强度不变时，单个电极的输出电流与入射光点距PSD 中心的距离x 呈线性关系。

若将两个信号电极的输出电流作如下处理：（2.1.4）P I I I I x LX =-+=2121则得到的结果只与光点的位置坐标x 有关，而与入射光强度无关，此时PSD 就成为仅对入射光点位置敏感的器件。

P x 称为一维PSD 的位置输出信号。

本文选用的PSD 是日本HAMAMATSU PHOTONICS 公司生产的S1352一维线阵列PSD2.2 PSD 传感器信号处理电路原理PSD 两极输出的只是光电流I 1和I 2，要想得到位置输出信号P x 必须要有相应的信号处理电路的支持。

下面介绍PSD 传感器信号处理电路原理。

由上一节可知，P x=（I1－I2）/（I1＋I2），因此其基本检测和处理电路的设计思想是先将I1和I2进行加减运算然后再进行除法运算。

电路原理图如图2.2.1所示，光电流I1和I2先经过IC1和IC2的低通滤波将高频噪声和脉冲干扰去处掉。

然后分别通过加法电路IC3和IC5和减法电路IC4得到I1＋I2和I1－I2。

最后I1＋I2和I1－I2通过除法电路IC6得到位置输出信号P x=（I1－I2）/（I1＋I2）图2.2.1 一维PSD基本检测原理图该电路只适用于没有外界光只有信号光的理想情况。

在实际检测的环境中，外界光是存在的，并且会给上面的原理电路的测试结果带来很大的误差，因此在电路设计中要着重考虑如何消除外界光源的信号干扰。

2.3 C5923 PSD信号处理电路本文选用的PSD信号处理电路是由HAMAMATSU PHOTONICS公司出品的C5923一维PSD信号处理电路。

该信号处理电路是专门针对HAMAMATSU公司生产的一维PSD传感器设计的。

C5923采用调制解调技术来去除信号光中的背景光干扰。

C5923信号处理电路的所有组件都安装在一块PCB电路板上，这些电路包括：调制信号光源驱动电路、前置放大电路、信号加法、减法电路、信号除法电路、信号采样保持电路。

具体的电路原理图参见图2.3.1，现就各个电路的功能来介绍C5923。

2.3.1 滤波电路滤波电路的功能是让指定频段的信号通过，而将其余频段上的信号加以抑制或使其急剧衰减。

运算放大器和RC网络组成的有源滤波器与无源滤波器件相比具有体积小，重量轻，线性特性好的优点。

其次，由于运算放大器的增益和输入阻抗很高，输出阻抗很低，所以有源滤波器还能提供一定的信号增益和缓冲作用。

图2.3.1 C5923信号处理电路原理图C5923采用的低通滤波器如图2.3.2所示。

输入的光电流型号I 1和I 2通过滤波器转换成放大的电压信号。

由于加在PSD 上的光信号是由一定频率的方波驱动的，因此PSD 两个引脚输出的I 1和I 2也是交流信号。

C 1在电路中起的是隔直通交的作用。

C 2和R 2组成的RC 网络和运算放大器一起构成低通滤波器，将输入信号中的脉冲干扰和高频噪声过滤掉，滤波的带宽的频率应比解调频率高。

通过改变R 1和R 2的值还可以调整低通滤波器的输出增益。

图2.3.2 低通滤波器2.3.2 运算电路I 1和I 2经过滤波之后得到两个与I 1和I 2倒相的电压信号V S1和V S2。

为了得到最终的位置输出信号P x 。

必须要进行（V S2－V S1）/（V S1＋V S2）的运算。

整个运算可以分为加法运算，减法运算和除法运算三部分来进行。

下面将逐个介绍相应的运算电路。

C5923的加法电路是通过图2.3.3所示的电路来实现的。

图2.3.3加法电路这个电路接成反相放大器，由于电路存在虚短，V I=0，在P端接地时，V N=0，故N点为虚地。

显然，它是属于多端输入的电压并联负反馈电路。

利用虚短，虚断的概念，对反相输入节点可得下面的方程式：－V0=（R f　/R１）V S1＋（R f　/R２）V S2 （2.3.1）这就是加法运算的表达式，式中负号是因为反相输入所引起的，如果电路里R１= R２= R f，则上式变为：－V0=V S1＋V S2 （2.3.2）在一般的加法电路设计中，加法电路的输出端还要再接一级反相电路消去负号来实现完全符合常规的算术加法。

由于在这个系统中减法运算的结果要和加法运算的结果做除法。

因此加法运算结果前的负号可以由减法运算通过调整两个减法输入的次序来做调整。

因此在C5923中加法运算电路的后级反相电路可以省略了，从而使整个电路更加精简。

C5923的减法电路是通过图2.3.4所示的差分式电路来实现的。

图2.3.4 减法电路从电路结构上来看，它是反相输入和同相输入相结合的放大电路。

在理想运放的情况下，根据虚断，虚短原理，可以得到下列方程式：在上式中，如果选取电阻值满足R f　/R１= R3　/R２的关系，输出电压可简化为即输出电压与两个输入电压之差（V S2－V S1）成比例，所以图2.3.4所示的减法电路实际上就是一个差分式放大电路。

当R f= R１时，V o= V S2－V S1。

C5923的除法功能是使用实时模拟信号计算单元AD538来实现的。

AD538是一个单片实时计算电路，它能给模拟信号提供精确的乘法、除法和幂运算。

输入信号动态范围可以很大，运算输出信号的线性好，单片设计使它的具有功耗小，可靠性高的特点。

AD538通常运用于乘法，除法计算、平方、平方根以及三角函数近似计算。

AD538总的运算表达式是V OUT =V Y（V Z /V X）m，根据不同的需要可以改变AD538的外置电路和输入信号的连接来实现不同的运算。

C5923使用了它的双输入除法运算功能。

图2.3.5是AD538进行V OUT =10（V Z /V X）运算的连线图。

图2.3.5 AD538实现V OUT =10（V Z /V X）如上图所示AD538的6，7引脚接±15伏特的电源。

14，13引脚分别为信号地和电源地。

分母模拟信号V Z和分子模拟信号V X和分别接到1脚和2，16脚。

再加上外置调零电路。

最终8脚的输出信号V OUT=10（V Z/V X）。

式子中除法项前的系数10是由外置电路决定的。

在C5923中通过对AD538的5脚电压调节可以改变系数的大小来线性调整最终输出的幅值。

同时C5923还引出参考电压V REF来测试光源的强度。

如果测出光源强度偏小可以调整C5923的可调电阻VR2来增加系数来提高增益。

具体的C5923的AD538布线参考图2.3.1的U10。

通过上面三个运算电路，信号光斑在PSD上的位置线性对应输出位置电压信号P x。

2.3.3 调制解调电路PSD在接受信号光的同时不可避免的会受到外界光的影响。

外界光将叠加在信号光之上共同产生光电流。

这对最终测试结果的影响是非常大的。

在考虑到外界光干扰的同时也应注意到这种干扰的叠加是线性的，即有下面的等式：f（IN S）＝I S（2.3.5a）f（IN w）＝I w （2.3.5b）f（IN S＋IN w）＝I S＋I w （2.3.5c）式子中IN S是信号光输入，IN w是外界光输入，I S是没有外界光时的信号光产生的光电流，I w是没有信号光时外界光干扰产生的光电流。

由上式可知信号光和外界光叠加到PSD后产生的光电流是信号光和外界光单独作用在PSD上输出的线性叠加根据这个特性可以运用调制解调技术把外界光干扰去除掉。

C5923的消除外界光干扰电路的设计思想是：首先保证外界光为恒定的光强，设外界光的干扰信号输入为IN w，设外界光经过PSD产生的光电流为I w，由于外界光强恒定所以IN w和I w也为固定常值。

由C5923产生一个周期为300μs、脉冲宽度为90μs的方波如图2.3.6所示来驱动信号光源，从而得到调制的信号光。