exp[ j (t t0 )] [ A cos 2 C cos 2( C )]
26
§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
双点激励
在A、C两点施加激励
C
B A
U B (t , , C )
B A2 C 2 AC cos 2C
G0 B
FA (t ) F0 (t ) ( )
U (t , , )
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F0 (t ) Aexp[ j (t t0 )]
GB A

exp[ j (t t0 )]cos 2( k )
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单点激励难于实现闭环检测
§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
一 工作原理
音叉在激励电信号作用下引 起压电效应，从而使音叉以某一 固定频率作等幅振动。当音叉旋 转时，由于哥氏惯性力，从而激 发出垂直于原振动平面的感生振 动。感生振动的振幅与转动的角 速度成正比，感生振动通过石英 的压电效应再产生一个压电信号， 通过测量该压电信号即可测量转 动的角速度。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（2）驱动与检测电路
驱动音叉 放大器 AMP AGC AGC REF 放大器 传感器音叉 滤波放大器
滤波放大器
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（2）驱动与检测电路
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
四 振动轮式硅微陀螺仪
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
五 梳齿振动硅微陀螺仪
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
五 梳齿振动硅微陀螺仪
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
五 梳齿振动硅微陀螺仪
振 动 陀 螺 仪 简 介
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振动陀螺仪
石英速率传感器（QRS）
叉形振子振动陀螺仪
微机械石英晶体转叉陀螺仪 微硅转叉陀螺仪 半球谐振陀螺仪（HRG）
杯形振子振动陀螺仪
固态角速率传感器（START） 双轴速率传感器（DART）
压电晶体振动陀螺仪
多功能传感器
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§3.1 石英音叉陀螺仪
d0
d
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§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
（2）振动信号的拾取
调 频 振荡器
频率 电压 转换 混频 器
混 频 器
恒 频 振荡器
带 通 滤 波 器
整 形 电 路
带 通 滤 波 器
电容传感器的电路框图
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§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
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§3.1 石英音叉陀螺仪
三 数字石英惯性测量装置
QRS-x QRS 驱动与 数字变换电路 QRS 数字信号处理
QRS-y
IMU 处理器与接口
信息输出
QRS-z
VQA-x
VQA 驱动与 数字变换电路
VQA 数字信号处理
次级电源 外部 电源
VQA -y
VQA -z ISA
自检与故障诊断
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（1）石英音叉的基本结构
主要部件就是石英音叉， 其结构虽然较为简单，但电极 的结构、几何尺寸等设计方案 多种多样。 设计时首先考虑石英晶片 的切型。既要充分利用石英晶 体的压电常数，以获得最大的 灵敏度，又要有效利用切型的 频率温度特性，以保证工作温 度范围内能有稳定输出。
据有关报道，QRS已经取得美国海军、空军等的导弹、 飞机和舰船上的使用资格，标志着QRS的设计已进入成熟 阶段。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
三 数字石英惯性测量装置
数字石英惯性测量装置（DQI）是为满足战术精确制导 武器在成本、体积和功耗等方面的特殊要求，由美国洛克威 尔公司和BEI公司联合开发的一种新型固态惯性测量装置。 DQI由两部分组成：一部分是ISA及其处理电路，另一 部分是IMU功能电路，包括数字信号处理电路、输入/输出 电路及电源电路等。
• 动态特性：
与转子陀螺仪不同，QRS的动态性能主要由同步解调 电路决定。带宽与满刻度量程无关，超过100Hz。若采用 专用集成电路降噪，更有利于提高增益和带宽。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（3）性能指标
• 振动与环境条件：
QRS在高振动环境下仍具有优良性能。振动误差小于 0.003º /sg-1。
驱动 电极
ห้องสมุดไป่ตู้
壳体 连接 器
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
三 振动盘式陀螺仪
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
四 振动轮式硅微陀螺仪
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
四 振动轮式硅微陀螺仪
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§3.3 其它典型振动陀螺仪
四 振动轮式硅微陀螺仪
电源变换电路 IMU
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§3.2半球谐振陀螺仪
一 工作原理与结构
（1）工作原理
半球谐振陀螺仪是一种速 率积分陀螺仪，以薄壳杯 形振子的振动分析理论为 基础：振荡的轴对称壳体 绕中心轴旋转时，环线振 型不再相对壳体静止，而 是相对壳体进动。 k
k
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§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
（1）闭环检测
半球谐振陀螺仪的基本工作条件是在外加激励的作用下， 四波腹振荡的位置和幅度不因壳体的旋转而改变。 两种激励形式：单点激励和双点激励
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§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
单点激励
B
A
§3.2半球谐振陀螺仪
一 工作原理与结构
（1）工作原理
k
Ω k
谐振的四波腹振型产生进 动也是由于哥氏力的作用 而产生的。
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§3.2半球谐振陀螺仪
一 工作原理与结构
（2）典型结构
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§3.2半球谐振陀螺仪
一 工作原理与结构
（3）工作模式 根据半球谐振子的激励方式不同，半球谐振陀螺有两 种工作模式，即“全角度”和“再平衡”方式。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（3）性能指标
• 偏值稳定性：
偏值稳定性是指在一定温度范围内偏值的稳定性，是 陀螺的关键性指标之一。同类陀螺中这项指标QRS最好。 通常情况下内部并不需要进行温度控制，而是采用温度补 偿的方法，即反复测量确定各敏感元件与温度间的最佳关 系，通过输出补偿就可以达到较高的精度。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（1）石英音叉的基本结构
几何尺寸也是要考虑的问题。几何 尺寸（晶片的长度、宽度、厚度） 决定了音叉振动的频率特性。音叉 的弯曲振动模式决定了它工作在低 频区，已见报道的石英音叉工作频 率在10-40kHz。
最复杂的问题是它的电极设计，包 括电极结构、电极位置、电极面积、 电极引线布局等等。
• 偏值调整：
输出与使用环境温度有关，使用前可能会发生输出偏 离，其大小可达满刻度的百分之几。用户可调整阻尼电路 中的偏值调节装置，消除出厂时的剩余偏值。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（3）性能指标
• 重复性与稳定性：
重复性是指电源多次重复接通时陀螺输出的变化的大 小。在QRS中没有旋转质量陀螺的转子定心等平衡问题，所 以其重复性通常优于旋转质量陀螺仪。 稳定性通常分为短期、中期和长期稳定性三种。短期 稳定性一般指启动后的最初几分钟，中期稳定性一般指几 天到几十天，而长期稳定性则指一年以上。
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§3.2半球谐振陀螺仪
二 半球谐振陀螺仪的信号检测
闭环检测的分析
闭环检测的本质是保持四波腹振荡的位置和速度不因杯体的旋转而变化。
C n （n为奇数）最有利于实现四波腹振荡的稳定 4
B A2 C 2 1 1 B tan C / A (n=1) 2
U B (t , , C )
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（3）性能指标
• 标度因数稳定性及其线性度：
QRS具有良好的标度因数稳定性和线性度，大量的测试 结果已经证明，其线性度在运行过程中约在10-5量级，比同 类转子陀螺仪还要好得多。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
二 结构与性能
（3）性能指标
又称石英音叉速率传感器：Quartz Rate Sensor，QRS 在音叉振动陀螺和压电晶体陀螺仪基础上逐渐发展出 现的一种小型固态惯性器件。 主要工作部分是石英音叉以及激励电路和测量电路。 音叉是采用特定切向几何宽度和厚度约0.5mm，长度大约 几毫米的石英晶体制成。
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§3.1 石英音叉陀螺仪
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A2 C 2 1 1 C exp[ j (t t0 )] cos 2( tan k )] 2 A