第３ ５卷
第 ２ 期
光
学
仪
器
Ｖｏ Ｉ Ｉ ３ ５，Ｎｏ ． ２
Ａ ｐ ｒ ｉ ｜ ，２ Ｏ １ ３
２ ０ １ ３ 年 ４月
（ ） Ｐ ＴＩ ＣＡＩ Ｉ ＮＳ ＴＲＵ Ｍ ＥＮＴＳ
文章编 号 ：１ ０ ０ ５ — ５ ６ ３ ０ （ ２ ０ １ ３ ） ０ ２ — ０ ０ １ ９ — ０ ７
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一
种激光三角测 厚中非线性 的校正方法
＊
汪
琛， 赵
斌
４ ３ ０ ０ ７ ４ ）
（ 华中科技 大学 机械科学与工程学 院， 湖北 武汉
摘要 ： 针 对 单镜 头激光 三 角法测 同一 物体厚 度 时 图像探 测 器上 两光斑 间距 与被测 物位 置之 间的
非线 性 关 系， 提 出 了一种 非线性 校 正 方 法 ， 并 用 实验 验 证 了校 正 效果 。分析 了单镜 头激 光 三 角
得 到提 高。 关键 词 ： 激 光三 角法 ；非 线性校 正 ；超定 方程
中 图分类 号 ：ＴＨ ７ ４ ４ ． ５ 文献标 识码 ： Ａ ｄ ｏ ｉ ：１ ０ ． ３ ９ ６ ９ ／ ｊ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ． １ ０ ０ ５ — ５ ６ ３ ０ ． ２ ０ １ ３ ． ０ ２ ． ０ ０ ５
法测 厚原理 ， 总结 了引起 非线性 的 因素 ， 对校 正方 法的 函数 模 型进 行 了理 论推 导 ， 并 对校 正 前后
测量 数据进 行 了详 细分析 。研 究 结果表 明 ， 使 用该 非 线 性 校 正 方 法后 ， 图像探 测 器上 成 像 光 斑
间距值 随被 测物 位置 变化 的波 动程 度 明显 减 小 ， 测 量 厚 度 的 均 方差 值 也 变 小 ， 系统 的测 量 精度
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