1HALO-H2O超高精度高纯气体微量水分仪用户操作手册指导手册 M7000 系列 版本 B2重要标识这个警告标志提醒用户人身安全这是高压标志提示有高压存在这个警告标志提醒用户有激光射线存在警告标签注意：在操作ＨＡＬＯ－Ｈ２Ｏ之前请确认已阅读手册中所有的警告注释，为了您的使用方便我们已经列出所有的警示信息，您必须在操作仪器之前通读此手册，否则可能对仪器造成损害。

　使用有毒，易燃易爆或混合后易爆气体（如氢气和氧气混合）之前，请先用惰性气体彻底吹扫管路，否则气体管路中的残余气体可能会引起爆炸等危险，对仪器造成损害。

　使用合格的独立电源线（１米，１２０Ｖ或２２０Ｖ，　２极３相电源，接地，耐压１５Ａ）　在进行任何维修维护装箱之前，请切断电源　3目录1.规格和图表1.1 规格 1.2 尺寸图1.3 单HALO-H2O 尺寸图 1.4 HALO-H2O 前面板 1.5HALO-H2O 后面板2.安装HALO-H2O2.1 总论 2.2 拆包2.3 产品序列号 2.4 采样管路的准备 2.5 组装采样管路2.6 采样管路渗漏试验 2.7 HALO-H2O 的放置 2.8 排空压力的考虑2.9 采样管路进口和出口的连接2.10 封盖采样管路进口和出口，防止污染 2.11连接考虑3.启动和操作3.1 介绍 3.2 用户界面 3.3 操作模式3.4 其他工具栏功能4.远程操作4.1 概述 4.2 界面连接 4.3 指令5.发现并修理故障及日常维护5.1 概述 5.2 定期检修 5.3 故障指南46. 水分测量的特殊考虑制表目录表 1-1 HALO-H2O 微量气体分析仪规格参数 表 2-1拆包表 2-2采样管路准备的手续 表 2-3采样管路渗漏试验步骤 表 2-4安放HALO-H2O表 2-5采样管路进口和出口的连接 表 2-6封盖采样管路进口和出口 表 4-1 RS-232 DB-9F 指示表 4-2连接PC 与HALO-H2O 主机 表 5-1故障解决图形目录图 1-1双HALO-H2O 尺寸图 图 1-2单HALO-H2O 尺寸图 图 1-3双HALO-H2O 前面板 图 1-4双HALO-H2O 后面板 图 2-1产品序列号图 2-2报警信号继电器和mA 输出连接器 图 2-3流程图 图 3-1虚拟键盘 图 3-2主显示界面图 3-3气体种类设置表及设置界面 图 3-4输出及通讯口设置窗口列表 图 3-7操作模式选择窗口 图 3-8趋势图 图 3-9衰荡信号51. 规格和图表1.1 规格表1-1 HALO-H2O 微量气体分析仪规格参数 性能最低检测极限 2 ppb 灵敏度 1 ppb 精度 读数的4%或±1ppb响应速度（典型） 由高水分浓度干燥到1ppm--终值的90%响应时间<3分钟由低水分浓度上升到1ppm--终值的90%响应时间<2分钟测量范围 0 – 20000 ppb 环境条件 10ｏ - 40ｏC技术 原理方法 光腔衰荡光谱激光源 连续近红外光-红外二级发光管激光头 认证 CE 标识--LVD 和 EMC 核准 专利 美国专利号 5,528,040及未决专利样品气体条件样品气体入口压力 10 – 125 psig (1.7 – 9.6 bara) 样品气体出口压力 < 2.0 psig （或者真空） 流量最大可到 2.0 标准升/分钟样品气体种类Ar, H2, HBr, HCl, He, N2, O2, SF6 （附加其他样品气体请与Tiger Optics 公司联系*HBr, HCl 等腐蚀性气体推荐选用Hastelloy ®合金） 样品气体温度 最高到60ｏC气体管路系统仪器内部接触部件316L 不锈钢（选配：Hastelloy ®合金，Elgiloy 埃尔吉洛伊非磁性合金，PCTFE ，304不锈钢，熔融石英，镍合金不锈钢板，镀镍铜部件 部件表面光洁度 10 Ra 接口 ？” VCR泄漏测试 < 2 x 10-8 mbar · liter /sec 电器参数 电源要求 90-250 VAC 50/60 Hz 最大功率40 Watts6警报指示 用户可自行设定报警点 信号输出记录器 报警 独立4-20 mA 信号输出双联C 型继电器（用户可配）单联C 型继电器监测系统故障（激光及衰减状态） 802.11g 无线功能（用户选配） 用户界面 5.6”彩色触摸屏监视器 Ethernet,RS-232安放事项 外形 每个19”机柜2单元或移动货架车 单机尺寸 8.73”高 x 8.57”宽x 23.58”深 (22.2cm x 27.6cm x 59.9cm) 双机尺寸 8.73”高 x 17.5”宽x 23.58”深 (22.2cm x 44.5cm x 59.9cm) 单机重量28 lbs. (12.7kg)1.2 尺寸图HALO-H2O 前视图，后视图及右视图尺寸参照图1-1 两台HALO-H2O 水分仪可装入同一层标准19”机柜图1-1 HALO-H2O 双机尺寸图71.3 HALO-H2单机尺寸图图1-2 HALO-H2O 单机尺寸图1.4 HALO-H2O 前视图8图1-3 HALO-H2O 双机前视图1.5 HALO-H2O 后视图图1-4 HALO-H2O 双机后视图92. 安装HALO-H202.1总论当收到HALO-H2O 水分仪后，安装的基本步骤： ？ 拆包并检查仪器 ？ 确定产品序列号 ？ 准备采样气体管路 ？ 连接电源？ 连接采样气体管路入口及出口2.2 拆包表 2-1拆包步骤 行动 1 开箱之前检查运输纸箱。

如果外观有任何损坏，请立刻通知运输公司和Tiger Optics 公司。

请勿进行安装。

2 从纸箱中取出仪器，检查仪器是否损坏，如果损坏，请立刻通知运输公司和Tiger Optics 公司。

请勿进行安装。

3 对照发货单检查纸箱中，并确信货物的物件完整。

每台HALO-H2O 包括如下物品： - 电源线- 产品校验证书 - 快速指导手册如缺少上述物品请立刻与Tiger Optics 公司联系4 HALO-H2O 水分仪在运输前，为了保持仪器内部腔体干燥和清洁，已经在样品气体出入口加盖了密封盖。

为了避免仪器污染，在仪器连接气体之前，这些密封盖必须保持在原有位置。

5 记录产品型号及序列号并永久存档，以便日后联系Tiger Optics 公司时的需要。

注意：请保存密封盖保存仪器采样气体出入口的密封盖。

不论何时，当仪器不连接气体时，请将仪器采样气体出入口用密封盖密封，确保仪器光腔内不受污染。

注意：保存运输纸箱保存运输纸箱，以便运输或返回美国原厂时使用。

注意：保存快速指导手册保存快速指导手册，以便当仪器开封或移动其他地方是使用 注意：保存证书保存证书完整。

如果日后仪器需要返回美国原厂时，这是必须具备的。

102.3 产品序列号在每台HALO-H20水分仪后板上均有一个相应的产品序列号。

如果您拨打技术求助电话时，请准备好此号码。

序列号与下面相似：XXXXX – XX – X 序列号–产品代码–硬件版本图 2-1 产品序列号2.4 采样管路的准备高品质的气体采样管路对于 PPB 级测量的影响至关重要仔细准备气体采样管路是非常重要的，它将影响到 HALO-H2O 水分仪的准确响应。

如果管路准备不当，采样管路中的杂质将会导致结果高于预期而且减慢响应速度。

由于表面吸附，痕量水分或其他气体杂质可能残留在管路内部。

当水分和其他气体杂质污染采样管路时，更长时间的吹扫是必需的。

这一节的内容主要介绍如何组装和检漏采样管路。

预防措施保证测量准确水分测量是具有挑战性的，因为片刻的空气泄漏就会导致错误的高读数，特别是在PPB 这么低的浓度时。

下列预防措施能得到准确地水分测量和保持信心。

遵照表 2-2准备一套达标的气体采样管路，按照表2-3进行检漏。

当在PPB 这样低的浓度值时，水分值探底或达到稳定可能需要经过24个小时以上，并且取决于采样气体管路的长短和最初吹扫的好坏。

2.5 组装采样管路因为气体采样管路的条件如此重要，使得你的连接必须仔细，确保管路内表面清洁和按着下述表2-2步骤紧密密封。

表2-2准备气体采样管路步骤 步骤 行动 1 连接气体采样管路到一个惰性气体源，用一片新的垫圈上紧VCR 接头。

先吹扫采样管路15分钟后再连接HALO-H2O 水分仪。

吹扫有助于缩短测量时间和防止污染仪器。

2 完成吹扫后，使用一片新的垫片封盖气体采样管路入口端。

注意确保气体采样系统和接头无油和很少颗粒，不要使用铜或塑料管 注意11推荐使用316L 电抛光不锈钢管连接仪器。

气体采样管路的直径应该是 ？英寸。

所有的连接头均应为轨道对接焊接。

如果焊接性能不能达标，推荐使用VCR 或无死角接头。

同样，推荐使用金属横隔膜和VCR 型低死角的不锈钢减压器2.6 采样管路渗漏试验采样管路渗漏试验过程如表2-3，需用氦检漏测试。

检漏测试之前应该连接气体采样管路到仪器。

表2-3 气体采样管路渗漏试验步骤 行动 1 气体采样管路中的氦气压力应该在20psig 左右，关闭氦气气瓶，然后关闭减压器阀门。

直至系统中的压力平衡。

如果失压迅速，进行快速的肉眼检测，确保所有的接头旋紧，没有阀门打开排气，然后重复这个步骤。

2 如果压力稳定几分钟，继续下一步。

使用氦气检漏仪仔细检测管路中的每一个焊点和接点。

注意不要使用肥皂水检漏，因为这可能会导致很高的错误读数。

推荐使用便携式热导原理的检漏仪或四极(质)谱仪。

注意接头泄漏是一个主要的污染因素，它会导致持久高读数。

不要使用卡套式接头。

旋紧VCR 时请按照厂家推荐的参数。

在接头与管路法兰之间使用金属密封垫片。

不要旋转过紧。

如果连接松动需更换密封垫片重新旋紧。

3 旋紧或更换坏的接头和焊接连接。

经常重新增压重复第1步并保压几分钟。

4 为气体采样管路贴标，标明最好的泄漏率和时间2.7 HALO-H2O 的放置表2-4 HALO-H2O 的放置步骤 行动 1 将仪器放置在一个合适的地方。

HALO-H2O 设计成可以安放在标准机柜或推车。

2 确保仪器前面板的电源开关关闭，连接电源线到合适的电源。

3 连接mA 输出和继电器报警至SCADA, DAQ 或PLC12图 2-2 报警继电器和 mA 输出连接器2.8 排放压力的考虑压力考虑气体采样管路入口处的压力必须在10-125 psig (1.7-9.6 bara)之间。

在低于10psig 时，所有气体的容量不能维持采样必需的流量。

当压力高于125 psig 可能对仪器内部的调压器造成损害排空指导如果可能，我们推荐您排空到大气压力。

但是您也可能已经连接真空泵，如果排空管路是必需的，请按下面条件观察：？ 避免负压，排空管路必须由？”管路组成。