R 原始值 0 T 0 Z 50~60 束斑 30 加速电压 20KV 样品高度 30 信号种类 SEI
形貌分析步骤
• • • • • 选择信号SEI或者BEC 扫描1聚焦，更高倍聚焦。 扫描2移动，寻找目标。移动有三种方式 扫描3检查，看有没有问题。 定格，保存，取消，下一个。
能谱分析
面扫描步骤
• • • • • • • CPS>5000,Amp time=25.6 Map/line 选择感兴趣的元素和区域,collect image 点掉“quant”，点上“live”(还有全谱面扫，需2h以上) Collect maps 保存 Fileprint
！注意
• 不是我们教的方法，而在我们的设备上 使用的。若有万一，后果自负。 • 有好的方法可以跟我们交流，好的方法 我们会推荐给大家。 • 例如
SEM Lab Training02
操作规程简介
• 操作流程简介 • 不同方向的不同关注
开机顺序
配电箱电源
循环（冷却）水
SEM主机（钥匙） (10秒)SEM电脑 SEM主程序 Vent 装样（换样） Eavc Ready 2min后开“HT” 等够2min 一切复位 关“HT” 形貌分析 能谱分析 EDAX分析器 能谱电脑 能谱主程序
简言之
• 了解SEM两种信号和能谱的能力 • 了解关注的重点，以选择合适的工作条 件 • 了解关注对象 • 多尝试
可以上机了吗？？
最重要的——安全注意事项
谢谢！
扫描电镜室：****
不同方向的不同关注
• 形貌 • 相 • 能谱
形貌
例1
选择条件： 喷金 光栅2 无其他要求
纯铝阳极氧化S2006C6
海水腐蚀的铝青铜
工作条件：
5KV光栅3 SS=20外委阳极氧化Al合金缺陷
1005断口
相
例2
2026
例5 汽车板 两种信号结合来确定“是相还是缝？”
能谱
• 前面的工作做好（样品放对，图像找好， 目标找准）——45% • 理解原理，选好工作条件——45% • 大胆怀疑和尝试——10%
• 一般能谱步骤 • 元素面分布扫描（面扫描）步骤 • 元素线分布扫描（线扫描）步骤
一般能谱步骤
• • • • • • • • • • CPS=1200~3000,DT%=10~40,Amp time=51.2或102.4 Collect image Clear spectrum 或者“雷达” Star/stop EDS collection 或者“秒表” Lsec =20~50s后，“秒表” HPD或者直接Q，看“绿色线”和“峰位”啮合是否完 美 W 保存 “EXT/XY” 下一个样
线扫描步骤
• • • • • • • • • CPS>5000,Amp time=25.6 Map/line 选择感兴趣的元素和区域,collect image 点掉“live”，点上“quant”,可以选择数据类型 划线 Collect line 保存 Display line scan data imageshow image save
装(换)样顺序
关机顺序
关高压 复位并等够2min Vent并取出样品台 关能谱电脑 关EDAX分析器 关能谱主程序
Evac到Ready
关SEM主程序 关SEM电脑 关SEM主机 等15~30min 关配电箱电源 关循环水开关
工作条件
• 室温：15℃~25℃ • 湿度：≤70%
SEM各参数初始值（复位）