洁净室
clean room
中科净（厦门）净化科技有限公司ZHONG KE JING (XIAMEN) PURIFICATION TECHNOLOGY CO.,LED
编写：技术部
洁净室
第一篇：基础知识
第二篇：洁净室设计
第三篇：洁净室施工
第四篇：洁净室测试
洁净室基础知识
•微粒基础知识
•大气尘
•洁净室基本原理
•净化级别
•空气过滤器
大气尘
•总悬浮微粒(TSP) : 10~100微米
<10微米(可吸入颗粒)
•大气尘组成：
矿物碎片、烟、花粉、植物纤维、煤、碳、水泥等细粉、腐败植物、皮屑、金属、微生物等
•大气尘随温度、湿度、风向等情况变化而变化
空气洁净度级别
1、美国宇航标准（NASA）
2、美国联邦标准209C、209E
3、日本洁净度级别JIS B-9920
4、国际污染控制学会（ICCCS）制定的标准：ISO/TC209
我国《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)中采用此标准。
洁净室的设计计算
•大气尘浓度
•室内单位容器发尘量
•人：站立(穿洁净工作服)—58500个/分钟.人
站立(穿普通工作服)—339000个/分钟.人
步行(普通服装)----2920000 个/分钟.人
步行(洁净服装)----560000个/分钟.人
•机械设备
电动机(300W以下): 200000~500000个/分钟
•纸张
普通纸揉半分钟:10220个硫酸纸揉半分钟:523个(>0.3微米)
洁净室原理
1、控制污染的途径:
1)有效阻止室外的污染侵入室内.
2)迅速有效的排除室内已经发生的污染
3)控制污染源\减少污染发生量.
乱流洁净室
•原理
当一股干净空气从送风口送入室内时，迅速向四周扩散，同时把差不多同样数量的空气从回风口排走，这股干净空气稀释着污染的空气，把原来含尘浓度比较高的空气充淡了，一直达到平衡。
所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的效果就越好。
一般适应于1000级及以下的洁净度。
•送风方式
高效过滤器顶送、密集流线型散流器顶送、局部孔板送风、侧送
单向流洁净室
•基本原理
在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经图中几乎没有什么变化，加上送风静压箱和过滤器的均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。
•送风方式
上送下回侧送侧回上送侧回
微粒过滤机理
•机械分离：重力、惯性、旋风•电力分离：静电
•洗涤分离：喷雾、水膜、文式•过滤分离：填充式、袋式
影响过滤效率的因素
•微粒尺寸
•微粒种类
•微粒形状
•纤维粗细和断面形状
•过滤速度
•纤维填充率
•温度\湿度\压力\
微粒大小与过滤效率总效应
0.1110微粒大小
过滤效率
滤速与效率
效
率
拦截
滤速
洁净室设计
1、洁净室设计要考虑的问题
2、常见几种洁净室的形式
业主的问题
1、如何设计一个不需要化很大代价来改变和修改的净化间？
2、如何建造一个灵活的净化间来避免今后设备变化而付出昂贵代价？
3、如何把需要控制的空气量减少从而把建造成本和运转成本最小化？
3、怎样才能制订出一个可以信赖的工程预算？
4、如何才能使工期持续缩短而不以牺牲质量为代价？
基本系统组成
•空调与净化•供配电与照明•冷热源
•生命安全•CCTV
•纯水
•真空
•设备冷却水•排气
•药品供给
•大宗气体与特气•自动控制
•排水
•内装
•……
洁净厂房常见的几种形式
•按照气流组织
单向流、非单向流
•按技术下夹层
无下技术夹层、单技术夹层、双技术夹层
•按空气搬送风机的布置
完全分散（ＦＦＵ）、相对集中（ＦＭＵ）、高度集中•按照设备布局方式
港湾式、大开间式（FFU+CLEAN BOOTH+SMIF）
净化间常见形式之四
净化间通道
上夹层
FF U FF
U
FF
U
FF
U
FFU+FCU的方式，低下夹层
空调系统基本构成
Cooling
tower
Chiller集水缸分水缸
冷却水泵Cooling Water Pump
冷冻水泵
Chilling Water Pump
Dispensing Box Assembling Box
新风机
循环空调机C/R 外
气
锅炉
天然气或柴油
热交换采暖系统蒸汽热水
冷
冻
水
净化间的节能问题
•温湿度的调节方式
•冷热回收
•当地自然条件的充分利用
•高效率产品采用
•高级别区域的最小化
•隔热与保温
洁净室的施工
洁净室施工及验收规范
第一章总则
第二章建筑装饰
第一节一般规定
第二节材料要求
第三节构造与装饰要求第四节施工要求第五节装配式洁净室的安装
第三章净化空调系统
第一节一般规定
第二节风管及其部件的制作
第三节系统安装
第四节高效过滤器安装
第五节空调器安装
第六节空气净化设备和装置的安装第四章、水、电、气
第一节一般规定
第二节给水排水
第三节消防设施
第四节气体管道
第五节电气装置
第五章工程验收
第一节一般规定
第二节竣工验收
第三节综合性能全面评定第四节评定标准
施工阶段--质量控制1）设计意图把握
2）施工规范理解与贯彻
3）把好进货质量检验关
4）合格分供方的评价
5）必要的检验与测试
6）过程控制
7）把问题消灭在萌芽状态
8）沟通协作与团队精神
施工阶段--进度控制
1）制订合理的施工计划表
2）不能以牺牲质量来换取进度
3）熟练的作业队伍和必要的施工机具是保证进度的基础4）尽量减少返工
5）尽量在净化间外进行预制
6）需要中间验收的环节提前申报
施工阶段---成本控制
1）提高材料的利用率
2）减少返工率
3）提高工人的劳动效率
4）建立稳定的供应商体系减少中间环节5）集中购买，避免零敲碎打
施工阶段---安全管理
1）牢固树立“安全第一”的思想2）建立安全生产监督管理体系
3）安全教育与培训
4）安全警示和安全设施
设备材料选择
•内装：壁板、顶板、门窗、架空地板、卷材、防尘涂料、防静电地面
•空调净化：空调机、高效过滤器、FFU、保温材料、各种风管、风量调节阀、风机、防火阀、排烟阀等
•自动控制：各种传感器（温湿度、露点、液位、流量、压力、微压差等）、各种调节阀门（气动、电动）、工业控制机、控制软件
•生命安全：温感、烟感、水泄露检测、药品泄露检测、气体泄露检测、固定或移动灭火装置、紧急喷淋、紧急排气、紧急排烟等
•气体：空压机、气体纯化器、各种不锈钢管材及接头、阀门、检测仪器仪表•设备冷却水：水泵、水箱、热交换器、管材、阀门。
•真空：真空设备、管材及阀门、压力表
•排气：PVC管道、玻璃钢管道、不锈钢管道、酸碱洗气塔、有机吸附装置、防腐风机等等
•药品供应：管道、供液泵、废液回收等
•供配电及照明：变压器、UPS、配电柜、电缆、桥架、照明器具
•冷热源：锅炉、冷冻机、热交换设备、冷却塔等
•其他关联系统：纯水制备、废水处理等等
金属壁板
•表面钢板厚度：0.3mm,0.5mm,0.8mm •夹心材料:岩棉、聚苯、纸蜂窝、铝蜂窝•拼接方式：
•表面处理方式:
•性能：防火、隔热、平整度、强度
架空地板
•材质: 全钢制、钢制+水泥、高压铝制、铸铝等
•主要性能参数：集中荷载、均布荷载、表面导电率等
•尺寸600*600
设备材料国产化或现地化状况
•目前主要依赖进口的设备及材料材料高纯气体管道及配件、PVDF、高品质阀门、高精度传感器或特殊用途的传感器、FFU、超高效过滤器、特殊要求的水泵
或风机、气体纯化设备等
洁净室施工要点
•施工顺序几条原则
先上后下、先粗后细、统筹安排、相互保护•洁净室施工管理注意事项
1.不要把问题留到以后来解决
2.一时的偷懒结果是代价太高
3.良好的习惯最重要、改变习惯非常难
4.细部工作不容忽视（打胶）
5.分包方或材料厂家的管理非常重要
净化间的测试
测试项目
•中间测试：管道打压、风管捡漏、过滤器捡漏•最终测试：
•温度：
•湿度：
•照度：
•噪音：
•洁净度：浮游尘、降下尘
•风速：
•风向偏转度：
•地面导电性能：
•特殊：分子污染、微振动、。