．全自动软件界面操作手册REV. HXSC_A1.HA03（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）2010年06月杭州慧翔电液技术开发有限公司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd目录介绍.............................. ........................... ...................... ........ ............................. .. (3)炉体控制.............................. .......................................... ........ ............................. .. (4)晶体、坩埚提升运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5)晶体、坩埚旋转运动控制界面..................................... ........ ............................. .. (5)坩埚自动定位界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6)加热功率控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (6)磁场电流设置界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7)等径闭环界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (7)热场温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (7)温度闭环参数设置界面..... .......................................... ........ ............................. .. (8)热场温升控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8)液面温度控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (8)生长控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (9)坩埚跟踪控制界面............. .......................................... ........ ............................. .. (9)压力控制界面..................... .......................................... ........ ............................. .. (10)自动工艺选择..................... .......................................... ........ ............................. .. (10)氩气、真空控制............. .......................................... ....... ..... ............................. .. (11)曲线数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (12)曲线数据选择............. .......................................... . (13)工艺参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (14)下载SOP说明............. .......................................... ........ ............................. (18)辅助功能.............................. .......................................... ........ ............................. .. (19)硅晶体重量长度计算........ . .......................................... ........ ............................. .. (19)大气压力设定.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20)液面温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (20)热场温度校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (21)晶体、坩埚行程设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (21)晶体、坩埚位置设置........ . .......................................... ........ ............................. .. (22)磁场零位校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23)日期时间校正.................... . .......................................... ........ ............................. .. (23)系统参数.............................. .......................................... ........ ............................. .. (24)注册.............................. . .......................................... ........ ............... ................... .. (24)CCD设置.............................. . .......................................... ........ ............................. .. (25)切换显示.............................. .......................................... ........ ............................. .. (26)系统维护.............................. .......................................... ........ ............................. .. (27)开关量输入输出............................................................. ........ ............................. .. (27)模拟量输入输出............................................................. ........ ............................. .. (28)工艺设置.............................. .......................................... ........ ............................. .. (29)生长记录.............................. .......................................... ........ ............................. .. (30)图象系统.............................. .......................................... ........ ............................. .. (31)功能描述.............................. .......................................... ........ ............................. .. (31)硬件构成.............................. .......................................... ........ ............................. .. (31)运行程序.............................. .......................................... ........ ............................. .. (31)端口设置.............................. .......................................... ........ ............................. .. (32)开始状态.............................. .......................................... ........ ............................. .. (32)通讯频率.............................. .......................................... ........ ............................. .. (32)监视数据.............................. .......................................... ........ ............................. .. (32)引晶状态按钮...................... .......................................... ........ ............................. .. (33)放肩状态按钮...................... .......................................... ........ ............................. .. (33)等径状态按钮...................... .......................................... ........ ............................. .. (34)液面状态按钮...................... .......................................... ........ ............................. .. (34)设置按钮.............................. .......................................... ........ ............................. .. (35)法律声明.............................. .......................................... ........ ............................. .. (36)介 绍系统控制采用了工业PLC ，人机界面采用了触摸屏。