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7. MFC/MFM 适用范围
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到 10MPA；本公司 MFC/MFM 可以适用于很多气体介质（包括 一些腐蚀性的气体，如三氧化硼，三氯化硼，氯化氢，氟化氢等等）有很宽的流量范围，产品最小流量范围可 达 0~5sccm，最大流量范围可达 0~120slpm。流量控制范围是满程的 2~100%（量程比为 50：1），在很多的领 域得到广泛的应用。
LINE-TECH 致力于为客户提供专业的仪器仪表及精密稳定的 过程控制设备。公司自成立以来，以灵活的经营机制，以“质量第 一、服务第一、客户第一”的信念，为客户提供更加专业化的、优 质的服务，深受各界用户的欢迎，并且在石油、化工、电力等重 点行业做出了突出成绩。如今产品远销美国，澳大利亚，日本， 台湾，伊朗，中国，印度等...我们将一如既往的为所有的客户提供 更优质、高效的服务。
如果需要单位时间内流过的质量（如 g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。 3．质量流量计／质量流量控制器的主要的优点 （1） 直接测量气体的质量流量
热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无 需进行换算。 （2） 无可移动部分
Sccm：标准毫升/分 slpm：标准升/分
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例 控制等。 （6） 准确度高，重复性好
我们的产品准确度可达+-1%F.S（full scale）重复性为＋-0.25%F.S（full scale） （7） 体积小巧，安装方便，操作简单 （8） 技术先进，符合发展潮流 4．使用流量计／质量流量控制器应注意的问题 （1）被测气体需要清洁。
属性特征 • 质量流量检测 • 不因温度和压力的波动 而失准 • 方便型的流量控制系统 • 高准确度 • 拒绝漏气 • 耐高压（90bar） • 快速的响应时间 • 高重复精度 • 性能稳定 • 宽量程比 • 高性价比 • ce 认证 • ISO 9001：2008／KS Q 9001;2009 • 完善的 AS 售后服务
8. 部分常用单位
1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters(公升) sccm : s = standard cc = cm 的 3 次方 m = minute(分鐘) slpm : s = standard l = liter p = per m = minute(分鐘)
产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的 MFM/MFC 测量不同的气体，当流量 检测值相同时， 实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转 换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在 产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量 流量；反之，在确定所购产品的量程时， 以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定 产品的流量值。
注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失 误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和 正确使用。 （2）我公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算 5．区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合 一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量 场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。 6．不同气体的质量流量的换算
本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。 （3） 可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。 （4） 测量控制的自动化
质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显 示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。 （5） 精确地定量控制流量
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关于 MFC 和 MFM 1． 质量流量计，质量流量控制器的概念
质量流量计，即 Mass Flow Meter (MFM)，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动 而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即 Mass Flow Controller (MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制 气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温 度有变化，也不会使其偏离设定值。 2． 质量流量计，质量流量控制器的流量单位
LINE-TECH（莱因泰可）北京
LINE TECH 自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程， 终于诞生出今天的 M 系列，MFC/MFM 产品。
LINE TECH 气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀 膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER 磁控溅射 台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直 拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生 物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药 产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
气体质量流量单位一般以 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和 SLM (Standard Liter per Minute) 来 表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状 态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是 SCCM、SLM 不同于 Ml/min、L/min 之处。