主要技术指标
规格
条件
范围：
产品型号
MFC-1000
流量范围 性能指标：
标准气N2
精度
10～100%FS
（分辨率） <10%FS
准确度
重复精度
响应时间
设定流量值
A型 0～50
±0.2 ±0.2 ±1.5 ±0.2 0.5
B型 0～100
±0.1 ±0.1 ±1.5 ±0.2 0.5
数值
C型 0～200
额定规格和电气规格 z 绝对最大额定：
工作温度 最大工作压力 电源电压
0℃～50℃ 100Kpa～700Kpa DC+15V±0.5V 电流 500Ma DC-15V±0.5V 电流 100mA
z 电气规格： 供电电源
MFC-1000 需供电电源为直流+15V±0.5V，电流为 500mA；-15V±0.5V，电流为 100mA。 此电源需保证一定稳定性的直流电压，对气体控制精度和范围具有一定的影响。若电压过高 会对其控制器的比例阀部件有一定的损坏。
上海睿熹科技有限公司
7
MFC-1000 气体质量流量控制器
对于气体质量流量控制器要特别注意工作介质的上、下游的气压，应注意使控制器进出气口 两端的工作压差保持在指标范围之内。在高压下工作时，气压差过大，将有可能直接损坏其 比例阀部件；在低压工作时，气压差过小，将无法控制到技术指标的气体流量值。 z 标定和不同气体的换算 本气体质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）和氢气（H2）标定，可通过以上命令方式自 动切换至用户所设定气体。如果要求用使用其它气体时, 需要在订货时与销售人员特别申明 以于标定。
z 数据链路层 数据链路层规定路协议的数据帧格式。MFC-1000 和主机采用相同数据帧格式，数据帧中的 每个字段使用 16 进制数表示，命令字为非 ASCII 码，前导字、地址、结束字和数据都使用 标准 ASCII 表示。 数据帧格式如下：
前导字 地址字 命令字 数据 结束字 前导字：为固定的字符 0x24 或 0x23，ASCII 表示“$”,表示一个帧的开始； 地址字：单模块控制模式地址为固定 0x7E；多模块控制模式地址可有用户自定义
（0x00—0x1F）； 命令字：命令字为非 ASCII 码，除 0x0d 和 0x0a 两种数据； 数据：由多 ASCII 码数据组成的一组数据； 结束字：为 0x0d；
z 通讯命令格式 关于气体质量流量控制器的通信协议请查阅《气体电子流量、压力控制器通信协议》
技术文档。
注意事项 z 禁用流量介质 使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。 z 使用腐蚀性气体问题 控制器通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于 316L 不锈钢) , 聚四氟乙烯, 氟橡胶 等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下, 可以用于控制一 般的腐蚀性气体。使用氨气、有机溶剂蒸汽（如丙酮等）或其它强腐蚀性气体（如 BCl3、 BBr3 等）的用户，应在定货时声明。 z 阀口密封问题 气体质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截 止阀。特别是用户如果使用腐蚀性气体, 通常应该在气体质量流量控制器进出气口各加一 个截止阀, 以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在 1%F.S 以内,是属于 正常情况。如果漏气大于满量程的 2%, 则应进行维修。 z 安装位置问题 本气体质量流量控制器的安装时最好保持安装面水平, 但对位置并不特别敏感。 z 注意工作压差
1 TXD/A+ 3 RXD/B- 5 GND_S 7
2 GND 4 DC-15V 6 DC+15V 8 DC+15V
z 引脚的定义和特性
引脚号
引脚信号定义
1
未定义
2
GND
3
TXD/A+
4
DC-15V
5
RXD/B-
6
DC+15V
特性
电源的地线 标准 RS-232（或 RS-485）通讯接口的数据发送信号端 MFC-1000 的电源端（-15V） 标准 RS-232（或 RS-485）通讯接口的数据接收信号端 MFC-1000 的电源端（+15V）
MFC-1000 气体质量流量控制器
用户说明书
上海睿熹科技有限公司 ShangHai Wise&Choose Technology Co.,Ltd
MFC-1000 气体质量流量控制器
MFC-1000 气体质量流量控制器
产品特点 z 高精度气体质量流量控制器 z 取代传统的手动调节的气体控制部件即气体稳压阀、稳流阀和针形阀 z 采用独特的 CMOS 兼容 MEMS 工艺制造的气体质量流量传感器 z 气体流量数字化标定，进行温度补偿 z 快速响应时间（设定值 2%范围内<0.5s） z 输出方式灵活，采用数字化输入/输出接口（RS-232），可根据用户需求量身定做通讯模
D型 0～500
±0.05 ±0.05 ±1.5 ±0.2 0.5
±0.1 ±0.2 ±1.5 ±0.3 0.5
单位
E型 0～1000
SCCM
±0.2 ±0.4 ±1.5 ±0.3 0.5
%F.S %F.S %F.S %F.S S
上海睿熹科技有限公司
2
MFC-1000 气体质量流量控制器
2%范围内 工作压差范围
式 z 具有多款符合不同用户需求的气体质量流量控制器（根据不同气体量程和控制精度）
气体流量量程： 0～50 SSCM 0～100 SSCM 0～200 SSCM 0～500 SSCM 0～1000 SSCM
z 连接尺寸与其它的标准质量控制器兼容
产品应用 z 研究实验室的试验工场装置； z 分析仪器（气相色谱仪）、环境设备气体流量控制； z 食品的加工控制； z 化学和石化工业的气体流量监控； z 发酵和生物技术； z 质量控制和泄漏探测系统； z 气体混合和环境的控制； z 燃烧控制； z 半导体制造业； z 表面处理装置； z 气体分配消费量测量； z 探测物体气体泄漏等；
0～100 SSCM
200Kpa 以上，能控制最大流量
0～200 SSCM
350Kpa 以上，能控制最大流量
0～500 SSCM
100～200Kpa 的压力范围内，可到达以
上的控制精度（即分辨率）
0～1000 SSCM
100～200Kpa 的压力范围内，可到达以
上的控制精度（即分辨率）
z 标准状态规定为： 温度——25℃ 气压——101Kpa
上海睿熹科技有限公司
4
安装和接线 z 外形及安装尺寸：
MFC—1000 气体质量流量控制器
MFC-1000 气体质量流量控制器
85mm
115mm 145mm
42mm
z 电气连接： MFC-1000 电气连接是使用标准 Sub-D8(针型)接头，接线简单可靠。 MFC-1000 Sub-D8 引脚图：
通讯方式
z RS232 串口通讯协议规范
项目
协议规范
物理级
TIA/EIA-232-E
传送线
3 芯屏蔽电缆线
配线长度
≤3m
传输速率
19200bps
数据交换方式
同步串行、全双工
传送协议
点对点
字长
10bit
起始位长度
1bitΒιβλιοθήκη 停止位长度1bit
奇偶校验
无
出错检查方式
无
上海睿熹科技有限公司
6
MFC-1000 气体质量流量控制器
z F.S（Full Scale）: 满量程 z 以上各类型的气体质量流量控制器都可通过命令字改变标定的气体类型（即N2或自定
义气体），但其流量范围将有所变化。
上海睿熹科技有限公司
3
MFC-1000 气体质量流量控制器
工作原理 气体质量流量控制器（MFC）由气体流量传感器部件、流量控制部件、比例阀体部件
MFC-1000 气体质量流量控制器的型号选型
型号
流量范围
标定气体
MFC-1000
A （0～50 SSCM） N2
B （0～100 SSCM）
C （0～200 SSCM）
C （0～500 SSCM）
D （0～1000 SSCM）
通讯方式 R2 （RS-232） R4 （RS-485）
z 关于气体质量流量控制器的应用请查阅《电子气体控制器应用》文档。 z 关于气体质量流量控制器的通信协议请查阅《气体压力流量控制器通讯协议》文档。
耐压 标准标定气体 工作环境温度 外部泄漏率 输入电源 通讯方式
He 数字量
引线
模拟量
100～700 200～700 350～700
1 以氮气（N2）和自定义 4 种气体 5℃～45℃ 1×10-6 DC±15V(±0.5V) 500mA ■ RS-232 □ RS-485 □ RS-232（TTL 电平） □ 0～5V □ 4mA～20mA Sub-D8 芯
100～200 100～200 Kpa
（在以上的 （在以上的 精度范围内） 精度范围内）
Mpa
℃ ml/s V
注意： z 气体质量流量控制器出厂使用氮气（N2）和用户自定义四种标准气体标定。 z 工作压差范围根据不同气体流量量程范围，要求如下（氮气）：
流量量程范围
工作压差范围
0～50 SSCM
100Kpa 以上，能控制最大流量
上海睿熹科技有限公司
5
7
GND_S
8
DC+15V
z 电缆引线：
MFC-1000 气体质量流量控制器
标准 RS-232 通讯接口的信号地线 MFC-1000 的电源端（+15V）