汉宏95炉异常处理方案
停水、停电
· 停水
停水、停电都是生产中容易出现的现象。
出现这种情况要采取的措施是： 首先出现停水设备会自动给出报警，操作人员应立即通知当班 人员，打开备用泵或消防水阀尽快恢复。 a: 在十分钟之内可以供水的情况下：退出自动，关闭 HEATER（加热电源），加大Ar流量，等待恢复供水继续生产。 b: 在十分钟之内不能恢复供水的情况下：必须退出自动 关闭HEATER （加热电源），，提升晶棒脱离液面，坩埚升至最高 点不要碰到热屏，关闭S/L、S/R 、C/L、C/R，Ar以最大流量向里充 气，自然冷却。在冷却过程中要观察是否有其他情况发生，比如：是电控制柜有电 在拉晶状态下HEATER （加热电源）突然关闭，首先退出自动，打开 HEATER （加热电源），若可以打开正常生产。若无法打开，把自动/手动/ 当地的旋钮打到当地的位置，按下控制柜上的［RUN］按钮，通过［RUN］ 上方的黑色旋钮来调节功率，可维持短时间生产。 b: 操作柜、控制柜都没有电 当都没有电时，看配电柜是否有电，若有点可以按下其内部的复位按钮 来给控制柜通电，若没有则通知设备人员检查高配电源是否跳掉。通电后再 正常生产。 c: 无法短期内通电 当不能及时恢复通电时，则必须关闭加热器，关闭主阀。关闭S/L、 S/R 、C/L、C/R，提升晶棒脱离液面，升高坩埚位置，充气至常压自然冷却。