拆开防爆阀上的挡板，清理管道内的挥发物；打开除尘罐， 清理罐内以及过滤网上的挥发物；清理完成后，安装时应检 查密封圈，注意将密封处擦干净，如发现密封圈有损坏时应 及时更换。
在进行以上清理时，必要时可以使用细砂纸打磨（石墨器件 除外）。凡是用砂纸打磨过的地方，最后必须用酒精擦拭干 净，损坏严重的石墨件要及时更换。
• 检查石英坩埚无问题（破损、裂纹、气泡、黑点、色泽）后，将 坩埚放入三瓣石墨埚内，尽量装水平。装坩埚时要防止将坩埚外 壁的石英渣子带入埚内。
• 装完坩埚，须另换装料用的手套后，才能开始装料，佩戴一次性 手套后，不允许接触原料以外的东西，否则更换手套。在装料过 程中应检查硅料中是否有夹杂异物，表面是否被氧化，有无水迹 等。
将热偶锥取光孔与保温筒上预留口对正。
除上、下保温盖、导流筒以外的所有石墨件安装完毕后，互相对 中（偏差在2mm之内）。埚位对平口后，检查埚位是否为“0”。 若不是，设定埚位值为“0”，设定好后如无特殊情况，任何时候 不允许随意设定、更改埚位。 给定埚转2rpm，检查平口、埚转 动是否平稳、是否晃动，要求埚摆动在2mm范围内。往回装石 墨件时，进行如下检查，并调整正常。
• 在拆清炉过程中必须穿戴好劳保防护用品
（换工作服，戴好口罩、手套），认真阅 读拉晶记录，了解上炉设备运转情况。
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取出晶体
• 在连续生产的情况下，确定停加热5小时后，才能拆
炉；拆炉时充气到正压后，打开副室门，快速提升晶 体。如果晶体完全提升到副炉筒内，则闭合翻板阀, 升起副炉筒，用托盘防护后，将副炉筒转出；如果晶 体不能完全提升到副炉筒内，则需在喉口垫厚木板加 以防护，然后才能升起副室及炉盖，连晶体一起转出 ；转出时注意推动的速度要均匀，以防止晶体撞到炉 体。
a)加热器石墨螺钉是否紧固，之间的碳箔是否完好。 b)托杆与下轴连接是否稳固、对中。 c)确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用。 d)托杆与石墨埚托、石墨埚托与三瓣埚托之间的接口连接必须
吻合良好，作到旋转、滑动自如。
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连接部位的检查
对于新装的热场,在开始的一段时间(约10炉以内),每炉检查 以下部位的连接情况:
• 装料的原则:从纵向来说，小块的料放在坩埚底部；最大块的料 放中部，中等大小的料放在最上边；从径向来说，大块的放在周 围，小块的放在中心。必要时要把大块的料敲小，尽量利用好埚 内空间，否则到最后可能料装不下。
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安装热系统
将清理过的石墨热系统各部件按 “炉底碳毡”、“炉底护盘”、“下 保温筒”、“排气口护套”、“坩埚护套”、“电极护套”、“石墨电极 ”、“石墨加热器”、“石墨螺丝”的顺序安装。注意在“石墨电极与 炉体电极、加热器与石墨电极以及加热器与石墨螺丝接触面处加 一层完整无损的碳箔；然后按顺序安装“中、上保温筒”、“石墨 托杆”、“石墨埚托”以及“三瓣埚”。
• 摆放好取晶框后，快速降下晶体，严禁使晶体接触到
取晶框（会导致上轴钢丝绳因跳槽而损坏），剪断细 颈后逐步释放重锤，控制好重锤的旋转和晃动，防止 钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤，此过程中注意ห้องสมุดไป่ตู้人安全 防护。将取出的晶棒放置到规定地方冷却。
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检查钢丝绳、籽晶、取出热系统部件
• 检查钢丝绳是否完好可用，若有变硬、毛刺或其 它损坏情况，则应请维修人员去除老化、损坏部 分，或更换新钢丝绳。
拉晶工艺及操作规程
陕西西京电子科技有限公司
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一、拉晶工艺流程图
检验
晶棒
配料
库房
煅烧
拆、清炉
装料
抽真空
停炉 收尾
等径
转肩
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充氩气
化料
引晶
放肩
缩颈
说明：
a)单晶制造工艺流程为方块标注环形部分，即由 配料工序开始，至晶棒终止；
b)配料工序的入口为库房管理部门； c)晶棒工序的出口为检验； d)在本工艺流程中，如果拉晶为连续工作时，在
4. 新装加热器时,加热器与石墨电极之间垫碳箔。每次拆 炉都要抬起加热器，松动与石墨电极之间的连接,以防 粘连。使用一月之后，以上四项检查可以降低频率到每 次大清的时候检查一次。
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2.装料
• 检查所备原料及母合金是否与随工单相符，观察包装有无破损现 象，区分原料的大小、破碎程度，如原料不符合要求（如：料未 清洗）应及时更换；按要求穿戴好劳保用品。
1. 电极螺丝,容易发生松动,导致打火。因此,对于已松动的, 必须拧紧; 对于没松动的要先拧松再拧紧,以防粘结。拧 紧的尺度是:尽量的紧。
2. 下轴与托杆的连接螺栓,容易烧结在一起。因此,每炉都 要先拧松,再拧紧,以防烧结粘死。拧紧的尺度是适可而 止。
3.籽晶夹头容易烧结粘死。因此每炉都要先拧松再拧紧。 拧紧的尺度是：先拧紧后再退后1/3~1/2圈。
• 戴好高温隔热手套，按顺序取出导流筒、保温盖 冷却；用手或钳子夹住石英埚的上端部分提起取 出，将石英埚整体提出并取出炉内废石英、埚底 料标记后放在指定位置，不要让残骸和碎料掉入 炉内，取出的埚底料不能接触到石墨。然后将三 瓣石墨埚、石墨埚托取出冷却。最后再将主室炉 筒升到最高位，旋转出来（垂直方向上要离开热 系统）固定稳定。必要时，取出保温筒，加热器 以及电极护套炉底部件等。
停炉到清炉完后, 从装料重新开始，如在按要 求开炉次数后或长时间没有开炉时，要从煅烧 开始； e)在本工艺流程中，如果放肩、转肩、等径过程 中掉苞，根据工艺要求回熔或者取出。
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二、具体操作规程
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1.拆、清炉
• 拆清炉的目的是为了取出晶体，清除炉膛
内的挥发物及杂质，清除石墨件上的附着 物、石英碎片等杂质。
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清炉过程
待取出的石墨件自然冷却后,进行彻底清理。石墨件的附着物 用砂纸打磨后，用刷子和吸尘器对石墨件作整个除尘，用棉 布或毛巾擦拭直至干净。 清理干净的标准是：导流筒、上下 保温盖、保温筒、三瓣埚、石墨埚托等，必须清理到全部露 出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。
将炉子内壁、炉盖、主炉筒、小副室、副炉筒、两个抽气口 、观察窗、依尔根信号孔及其防护玻璃清理干净。先用吸尘 器把炉内的挥发物等吸净，再用沾有酒精的棉布或毛巾彻底 擦拭，不能留有任何挥发物。