技研示 4、修改菲林线宽间距；并在线路独立处设计假铜位，以使电力分布均匀。
图形电镀缺陷-擦花干膜
不良表面特征:
擦花干膜处呈条状短路。
主要形成原因
1、搬运不当； 2、上板员工操作不当或掉板。
相关改善对策：
1、规范员工搬运、上板动作； 2、前处理掉的板捞起后检查有无擦花干膜，如有需返洗油重做干膜。
技研示
开路边缘部分较为粗糙
主要形成原因
1、来料不良：黑孔来料板面 有点状胶迹。 2、干菲林磨板、显影运输线有 点状胶迹或洗油板有胶。
相关改善对策：
1、检查黑孔烘干缸有无残胶。 纱有无老旧、残破。 2、检查干菲林磨板机烘干段之过滤棉 3、检查干菲林磨板烘干段之风刀、风
琴管有无黑渣。
4、检查干菲林洗油板有无洗油不净。
技研示
问题1. 各镀铜层间附着力不良（續）
可 能 原 因 1.3 板子进入镀槽后电源并未立即开启 1.4 电流密度过大 1.5 过硫酸根残余物污染 解 决 办 法 重新检查整流器之自动程序 重新检查电镀程序，降低电流密度。 使用过硫酸盐微蚀后，必须再以 5-10%的硫酸浸 洗，以除去表面的铜盐类。 1.6 干膜显影后水洗不足 ⑴ 提高喷射水洗压力 ⑵ 检查喷嘴是否有阻塞，并采用适当的喷嘴 排列布置。 ⑶ 提高水洗温度到 16℃以上。
4、检查手动曝光框有无脱漆或密封圈有无老化脱胶等现象。
技研示
干菲林缺陷-膜皱
不良表面特征:
短接处为一长条状，且横跨线
路，平于线面，多在孔边处。
主要形成原因
1、辘板机故障。
相关改善对策：
1、通知维修员对有故障之辘板机进行维修。
技研示
技研示
干菲林缺陷-片状残胶开路
不良表面特征:
开路处在中间，周围有短路
乱放的现象。
技研示
干菲林缺陷-菲林碎开路
不良表面特征:
开路处很平滑、整齐。
主要形成原因
1、干菲林显影有蔽孔穿。
2、干菲林曝光有菲林擦花。 3、干菲林洗油板有洗油不净。
4、干菲林辘板有菲林超边板。
相关改善对策：
1、检查显影处有无蔽孔穿，并改善之。 2、检查生产菲林有无菲林擦花。 3、检查干菲林洗油板有无洗油不净。 4、检查辘板处有无菲林超边。
问题2. 二次铜(线路镀铜)出现局部 漏镀或阶梯镀（續）
可 能 原 因 2.4 用做干膜检修(Touch-up)的油墨对待 镀的线路区造成意外的污染 2.5 清洁槽中的润湿剂被带出，并自小孔 增加水洗浸泡时间并在板子出槽时另采用强力 内逐渐流出而影响镀铜之外观。 2.6 干膜表面渗出显影液之残迹 2.7 显影液受到污染 喷射水洗 显影过后须置放 30 分钟以使反应达到平衡 保持最后一个显影槽液的洁净度 解 决 办 法 检讨检修或修补用的油墨及制程
技研示
图形电镀缺陷-针孔
不良表面特征:
孔环边、线路边或PAD边出现小 圆形的凹点。
主要形成原因
1、搅拌不均匀或过滤机漏气； 2、镀液有机污染严重；
3、湿润剂偏底；
4、 D/F显影不良。
相关改善对策：
1、检查铜缸有无打气不均、过滤机漏气现象； 2、对镀液进行碳芯过滤或碳处理； 3、分析调整湿润剂浓度； 4、监控显影参数及显影后水洗效果。
技研示
干菲林缺陷-菲林松
不良表面特征:
短接处多为一条线，且平于线面
主要形成原因
1、磨板不良：板面磨板不净或 烘干后有片状氧化。 2、辘板不良：辘板参数有异常 或压辘有条状擦花。
相关改善对策：
1、检查磨板机磨痕有无异常 2、检查烘干后板面有无片状氧化
3、检查辘板参数有无异常
4、检查辘板机压辘有无条状擦花
技研示
干菲林缺陷-圆状残胶开路
不良表面特征:
胶迹开路区域为圆形。
主要形成原因
1、干膜板板面污染：显影后干 菲林目检人员手套与图形电 镀上板员黑胶手套老旧或乱 放被污染，而后带于板面。
相关改善对策：
1、检查干菲林目检员工手套有无老旧、脏污。 2、检查图形电镀上板员工所用手套有无老旧、脏污，且检查其手套有无
问题3. 板子正反两面镀层厚度不均
可 能 原 因 3.1 板子两面的电镀面积不一致，尤其当 一面是接地层面而另一面是线路面时 3.2 可能是某一边阳极之线缆系 统导电不良所致
解 决 办 法 以正反排板方式将板子两面的待镀面积 加以调整 检查及改善
问题4. 镀层过薄
可 能 原 因 4.1 电镀过程中，电流或时间不足
主要形成原因
1、来料不良：黑孔来料板面 有片状胶迹。 2、干菲林磨板、显影运输有 片状胶迹或洗油板有胶。
相关改善对策：
1、检查黑孔来料板面有无胶迹 无老化、脱落。 2、检查干菲林磨板机胶制运输辘有 3、检查干菲林显影机运输有无胶迹
来源。
4、检查干菲林洗油板有无胶迹。
技研示
干菲林缺陷-点状残胶开路
不良表面特征:
时间：12/05/07
技研示
技研示
干菲林缺陷-渗镀
不良表面特征:
短接处成弧形,低于线面
主要形成原因
1、磨板不良：板面磨板不净或 有点状氧化。 2、辘板不良：辘板参数有异常 或压辘有点状擦花。
相关改善对策：
1、检查磨板机磨痕有无异常 3、检查辘板参数有无异常 2、检查烘干后板面有无点状氧化 4、检查辘板机压辘有无点状擦花
5、检查辘板处有无盖半孔且半孔处被曝光之现象。
技研示
干菲林缺陷-曝光垃圾开路
不良表面特征:
开路处有由粗变细之趋势，并 有短路部分。
主要形成原因
1、在曝光菲林与板之间有垃圾 ，在曝光的时候形成局部抽 真空不良，而致曝光不良。
相关改善对策：
1、对所用曝光菲林清洁干净，保证曝光菲林的洁净度。 2、检查所用四寸黄胶纸有无掉胶之现象。
问题6. 镀液槽面起泡
可 能 原 因 6.1 循环泵中藏有空气
解 决 办 法 ⑴ 将循环泵与管路加满水以免空气残留。 ⑵ 检查槽内液位和进水口的高度，必要时将 液位提高。
6.2 槽液过度搅动，过滤涡流
降低搅拌程度并重新设计溢流型态，以避免溶 液产生过多气泡。
主要形成原因
電流過大；鍍液溫度過低；硫 酸、硫酸銅濃度低；光劑含量低 。
相关改善对策：
1、重新試做FA，檢查整流機輸出有無異常；
2、檢查鍍液溫度是否在范圍內； 3、分析調整硫酸、硫酸銅、光劑濃度。
技研示
PTH、板電缺陷-板面銅粒
不良表面特征:
板面附著微小顆粒，用手摸有刺 手的感覺。
主要形成原因
1、鍍液臟；陽極袋破損；銅球 含P量低；蝕夾不凈；缸中掉板 過多；打空缸電流。
技研示
PTH、板電缺陷-PTH後铜面擦穿
不良表面特征:
在擦穿的區域內是沒有電鍍銅的 ，直接可以看出基材。
主要形成原因
1、板角擦穿； 2、磨板機卡板；
相关改善对策：
1、规范员工搬运、上下板动作； 2、檢查磨板機運輸狀況。
技研示
PTH、板電缺陷-板電鍍銅不均
不良表面特征:
鍍銅不均在蝕刻時會有蝕刻不凈 、殘銅、蝕刻毛邊現象。
主要形成原因
1、鍍銅均勻性差。
相关改善对策：
1、合理、均勻擺布鈦籃位置；加裝陽極擋板及浮架合理開孔； 2、檢查鈦籃內銅球有無空洞、銅缸有無打氣不均現象；
3、檢查夾子是否在同一條線；
4、上板時板與板不能間隔太大、疊板，在兩端上陪鍍銅條。
技研示
PTH、板電缺陷-板面燒焦
不良表面特征:
燒焦處銅面結晶粗糙並呈顆粒狀 ，銅後嚴重偏厚，易出現在高電 流區域。
问题5. 全板面镀铜之厚度分布不均 （續）
可 能 原 因 5.4 铜离子含量过高 解 决 办 法 ⑴ 分析检查铜离子含量 ⑵ 稀释槽液或改用不溶性阳极直到铜离子浓度 降至规定范围内 ⑶ 在电镀槽闲置期间取出铜阳极 5.5 搅拌太过激烈 5.6 循环过滤之搅拌方式不良 降低搅拌程度 出水口位置应座落在挂板的正下方，使对全板 面能产生更为均匀的液流。
技研示
图形电镀缺陷-夹膜短路
不良表面特征:
夹膜是密线路间短路，在短路处 的形状是比较平整且不光亮有点 哑色，短路的铜比线路低。
主要形成原因
1、镀铜厚度偏厚。
相关改善对策：
1、检查整流机输出有无异常，并校正电流偏差在+/-5％之内； 2、电流太大，重新试做FA；
3、镀铜均匀性差，调整镀铜均匀性大于85％；
主要形成原因
1、孔内粉尘及孔边披峰去除不净； 2、铜缸内铜渣杂质多。
பைடு நூலகம்
相关改善对策：
1、改善钻孔吸尘及去毛刺效果；
2、倒槽并清洗铜缸内杂物。
技研示
技研示
问题1. 各镀铜层间附着力不良
可 能 原 因 解 决 办 法
1.1 电镀前清洁处理不当，底铜表面的 ⑴ 提高清洁槽液的温度以利去除油污和指纹。 氧化或钝化皮膜未除尽。 ⑵ 使用微蚀剂去除底镀层表面的污染物。 ⑶ 检查清洁槽和微蚀槽液的活性并改善之。 1.2 清洁槽中的湿润剂被带出或水洗 ⑴ 检查水洗程序 不足造成底铜的钝化 ⑵ 增加水洗水流量并在出槽时采用喷射水洗， 使孔内清洁效果更好。 ⑶ 提高水洗水温度，喷射水洗后也可另采用多 段式溢流水洗。
解 决 办 法 确认板子面积以决定总电流的大小，并确认电 流密度及时间之无误。
4.2 板子与挂架或挂架与阴极杆的接触导 电不良
检查整流器，板子等所有的电路接点。
问题5. 全板面镀铜之厚度分布不均
可 能 原 因 5.1 阳极篮与阴极板面的相对位置不当 解 决 办 法 ⑴ 以非破坏性的厚度量测法详细了解其全面 厚度之差异。 ⑵ 根据镀层厚度量测的结果，重新安排阳极 的位置。 5.2 阳极接点导电不良 ⑴ 操作中使用伏特计检查每一支阳极与阳极 杆是否接触良好。 ⑵ 清洁所有接点，并确保阳极杆所有接点的 电位降落(Voltage Drop)都要相同。 5.3 镀液中硫酸浓度不足，导电不良 检查硫酸浓度并调整至最佳值