4.内容
4.1无尘室落尘检测：
4.1.1静态检测:生产设备安装完毕,且正常运行但无人员工作状态下检测。
4.1.2动态检测:生产设备安装完毕正常运行,且工作人员正常工作状态下检测。
4.2检测周期:无尘室2次/周。作业面区域2次/周，FFU过滤网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开出工程需求申请单，请购滤网进行更换。注：CCM及三星专线无尘车间为每日点检。
4.8.3.2对于每个4`X4`过滤器,距离其表面150MM处均匀取4个读数
4.8.3.3平均风速：0.45 m/s±20%
4.9无尘室压力管控
4.9.1《洁净厂房设计规范》GB50073-2001 6.2.2规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5pa，洁净区与室外的压差应不小于10pa.注：本司按实际情况而定。
4.4.2测量时位于工作区的高度(距离地面高度约0.8m)处进行检测。
4.4.3测量时间最少为1min。
4.5检测异常处理：
灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准，无尘室管理部开出《无尘室检测异常联络单》，要求产线和相关部门进行改善，改善后再进行生产。
4.6检测方法要求：
4.6.1参考：ISO 14644-1/2
4.10无尘室温湿度标准：
参考《车间条件环境规定》。由温湿度记录表记录，各现场单位负责更换记录表和保存资料，其精确度由实验室定期校验。
≦10
——
——
100
100000
——
23700
750
10200
300
3520
100
29
——
1000
1000000
——
237000
——
102000
——
35200
996
293
7
10000
——
——
——
——
——
——
352000
9962
2930
70
100000
——
——
——
——
——
——
3520000
99616
29300
4.3无尘车间人数规定，按每3m²最多只能容纳1人计算；比如：100m²的车间，最多只能容纳33人,
每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于《无尘室人数点检表》中，超出空间限制人
员数量时应由无尘室管理禁止及进入。(参考国标GB 50073-2001)。
4.4检测方式:
4.4.1检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。
1.目的
规范无尘室内环境检测方法及判定作业。
2.范围
适用于公司所有无尘室的环境检测作业。
3.职责
3.1无尘室管事部:负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析,无尘室检测异常的提出。
3.2生产部:负责对无尘室的日常维护及保养。
3.3机电部:负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。
3.4设备部：负责无尘室的定期保养,新过滤网的请购。
700
——
——
——
——
——
——
——
35200000
——
293000
——
4.8 FFU滤网检测：参考：ISO 14644-3：
注1：洁净室及相关受控环境----第3部分：计量和测试方法。
4.8.1检测频率：
4.8.2更换周期为1次/1年(依据检测结果而定)。
4.8.3测试方法
4.8.3.1对于每个2`X4`过滤器,距离其表面150MM处均匀取2个读数
例:现设备检测1min,≥0.5um的落尘显示数值为87。即为:在0.1ft空间内有87个≥0.5um的落尘=1ft空间内有870个≥0.5um的落尘。依标准判定无尘室等级为870级。
4.7.3 FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度等级(ft & m³比对表)
等级标准
等级限制
0.1um
0.2um
4.6.5当有等级判定：
4.7.1本司检测设备检测量为2.83L/min(即0.1ft/min)。
4.7.2依据FS-209E/GB50073-2001标准进行检测判定,即1ft的空间里面含有≥0.5um落尘的数量即为多少等级,也可依1m³空间来计算,换算公式为1 m³=1000L。
NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom
4.6.2洁净室的测试点以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。（例如：1000平米车间至少需32个检测点）
4.6.3取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。
4.6.4在每个点的中心最小取一分钟，高度在0.8米左右.（靠近人员实际作业区域）
0.3um
0.5um
5um
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
m³
Ft3
m³
Ft3
m³
Ft3
m³
Ft3
m³
Ft3
——
10
——
2
——
——
——
——
——
——
——
——
100
——
24
——
10
——
4
——
——
——
1
1000
35
237
7.5
102
3
35
1
——
——
10
10000
350
2370
75
1020
30
352