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As Built
–潔淨室建造完成，生產設備未搬入之狀態 At Rest –潔淨室建造完成，生產設備已搬入但未運轉之狀態 On Operation –潔淨室建造完成，生產設備已搬入且運轉之狀態
測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉 48小時以上.
濾網(filter)掃瞄路徑
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帆宣离为1英寸，看是否有探测到多于1 个粒子在来源于同一个地方. 所有已确定或是怀疑的过滤器做一下记录，在补救及整改之 后重新再测一次。当过滤器无法修补或更换,记录下来并反映 重新替换.
6.
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方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 10.) 1.测试之前所有气流平衡已经成功完成. 2.测试开始前空调系统连续运行至少24小时以上. 3.每个温控区测试一个测试点,每个房间至少一个测试点. 4.洁净室测试表格分成不大于9平方米. 5.温度连同湿度传感器置于测试格中央，距地板的1米的位置. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免 洁净室入口位置进行测试 7.每次测量时间为10分钟. 8.采集所有读数并记录.
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方法 参照：IES Recommended Practice,IES-RP-CC006.2 Testing Cleanrooms NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 5.) 1. 每个过滤器分成两个或四个测试格.
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方法 参照：IES Recommended Practice, IES-RP-CC006.2 Testing Cleanroom NEBB Procedural Standard for Certified of Cleanroom (Chapter 6.) 1.过滤器表面风速确保是在设计范围以内. 2.取上游气流，尘粒的尺寸在0.1 微米以上. 3.激光粒子计数器以 0.1 微米及以上 通道测试过滤器检漏，采样 量为1 ft3/min. 4.用粒子计数器的探头扫描过滤器，探头选择可获取均匀采样量 的尺寸, 扫描速度5cm/s.
Remark
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No
Test Description
Equipment/Instrumentation
Models
S/N
Accuracy
Remark
5
Temperature & Relative Humidity Test
Testo Data Loger
無塵室验证标准及程序
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大綱
壹. 測試驗證說明 貳. 測試驗證設備一覽表 參. 測試驗證步驟說明 肆. 測試驗證方法與程序
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壹、測試驗證說明
無塵室驗收測試規範依據如下： ISO-14644: 世界標準組織制定無塵室測試之標準規範 NEBB: 美國國家環境平衡協會所制定無塵室測試之標準規範 無塵室測試分三階段: 第一階段 As Built 第二階段 At Rest (由吉威配合業主部份需求點進行抽測) 第三階段 Operation (由吉威配合業主部份需求點進行抽測)
2.
装置好仪表和十字支架并调整好仪表的内部设定.
3.
十字支架尺寸为14’X14’，测试时把支架放在过滤器中间的 位 置，接触在过滤器的表面并且和过滤器边缘保持平行.
读取和记录每个格子的数据.
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4.
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二.濾網洩漏測試 (Filter leakage testing): As Built 目的 查证过滤器的安装瑕疵 (FILTER外緣和Ceiling Grid之间) 而且确定过滤器是否在安装中因过失产生小的漏洞. 规格 测试状态： 空态 1.没有额外的尘粒在被测试的过滤器的上游。 2.在ULPA/HEPA 过滤器下游0.1微米粒子检测后不能多于1 个. 3.对于每个过滤器，任何再修理过的表面不能超过 0.5 sq. 英寸.
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四.無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing): As Built
目的 判定洁净室系统的性能，使洁净室保持指 定的压差。 规格 压力差别： 依原設計各分區對外壓差 测试状态： 空态
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3423
0834380
+/- 4% of reading, +/- 1 digit
8
702
346016
+/-2% of reading
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參、測試驗證步驟說明 測試前準備工作:

竣工圖面與點數確認


備妥測試程序計劃及依據規範之標準.
測試前無塵室空調系統已完成,並已持續運轉48小時以 上. 測試進行當中,業主需派人或代表在現場監工以表測試 結果認同.
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方法： 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 8.) 1.测试之前所有气流平衡已经成功完成. 2.在此测试期间,洁净室相邻的门都是关闭的.
3.测量和记下两个洁净室之间的压力差别.
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無塵室測試驗證項目 1. 濾網風速測試 (Air flow velocity testing) 2. 濾網洩漏測試 (Filter leakage testing) 3. 無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing) 4. 無塵室內壓差測試 (Room pressurization testing) 5. 無塵室內噪音測試 (Noise level testing) 6. 無塵室內照度測試 (Lighting level testing) 7. 無塵室內環境微粒子測試 (Air Particle counts) 8. 無塵室內地板靜電測試 (Floor Conductivity testing)
Testo 175-H2
20063695/507
6
Sound Level Meter
RION NL-21
00443361
7
Light Intensity Level Test
Floor Conductivity Test
Hioki Light Intensity Level Meter
3M megaohmmeter

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六.無塵室內照度測試 (Lighting level testing): As Built
目的 在洁净室内工作高度位置的光照度 规格 平均光照度: 依原設計規範需求 测试状态：空态
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方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 11.) 1.所有的荧光灯开过至少在100小时. 2.在测试前确保照明灯开着至少在2小时以上. 3.洁净室每个测试格不大于25平方米. 4.光照仪表在测试格中央，距地板上1米的位置. 5.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免 洁净室入口位置进行测试. 6.采集所有读数并记录.
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三.無塵室內溫溼度測試 (Temperature & Humidity testing): As Built 目的 判定洁净室HVAC系统容量是否 能将洁净室内的 温度和相对湿度维持在指定的 范围内. . 规格 22 oC +/- 2 ℃ 55% +/- 5% 测试状态：空态
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肆. 測試驗證方法與程序 一.濾網風速測試 (Air flow velocity testing): As Built 目的 判定洁净室过滤器(ULPA/HEPA filter)的风速
规格
对于每个2`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取2个读数 对于每个4`X4`过滤器, 距离其表面150MM处均匀取4个读数 平均风速：0.45 m/s ± 20% 测试状态：空态
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五.無塵室內噪音測試 (Noise level testing): As Built 目的 测量洁净室里的机械和电力系统所 产生的噪声
规格 平均噪声：<= NC 65 测试状态：空态
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方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 9.) 1.测试之前所有气流平衡已经完成. 2.在读取读数之前所有的风机单元和空调设备均已开启. 3.洁净室每个测试格不大于40平方米. 4.噪声仪距地板以上1米的位置, 同时探头指向运行的设备. 5.噪音仪测试单位NC,在每个测试点读取数据. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并於避免 洁净室入口位置进行测试. 7.用算术的方法来计算房间的平均噪声数据.