––样品室红外CCD相机
1.7图像处理器
––图像处理：最大4096×3536像素
––图像文件格式：TIFF(8位或16位)，BMP或JPEG
––单窗口或四窗口图像显示，四活动窗口，实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合。
––256帧平均或积分，数字动画记录
––基于以太网架构的数据传输系统；
––Intel双核控制和操作计算机系统，Windows 7操作系统；中央处理器：CPU：Intel酷睿i74.0GHz。内存：4G；独立显卡，2G显存；界接口：串行、并行、SCSI、USB 3.0接口、网络；硬盘1TB；DVD刻录；
场发射环境扫描电镜配置及技术规格表
附件1：货物需求一览表
项目
序号
设备名称
数量
交货地点
交货期
1
场发射环境扫描电镜
1台
河南理工大学指定地点
按合同要求
附件2：设备配置及技术规格表
序号
设备名称
技术参数
功能
要求
数量
1
场发射环境扫描电镜
仪器设备的主要技术参数
1主机
1.1分辨率
1）高真空
–– 30 kV下不低于1.0 nm (SE)
––单一处理单元能同时支持两个及多个探测器
––测定元素范围：4号元素硼Be到95号元素镅Am
––峰背比优于20000:1，谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV
2）能谱仪及图像系统
––能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，完整的能谱定性定量系统，带图像系统，能进行线面扫描；
1.2放大倍数
––高真空模式下：14–1,000,000，连续可调
––放大倍数误差：≤3%
1.3电子光学
––高分辨肖特基场发射电子枪，具有自动对中和启动电子枪功能；在显示器中显示全部发射器参数的状态信息；灯丝寿命优于两年。
––加速电压：200 V - 30 kV，连续可调
––束流：最大200 nA并连续可调
––成像模式：二次电子像与背散射电子像，两者可以任意比率混合，自动调节和手动调节亮度、对比度。
1.4物镜光阑
––物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑；
––光阑寿命优于两年范围：X≥50mm；Y≥50mm；Z≥50mm；T:-5～+70°，R=360°连续旋转
––电子数字图像最大清晰度：8192×6400；
––全谱智能面分布图清晰度4096*4096，单探测器输出最大计数率大于600,000CPS，可处理最大计数率大于1,500,000CPS。
3）智能化能谱分析平台
––一体化集成用户界面，所有应用软件在同一个平台上打开，支持用户自定义模式及账户管理，支持中、英文等多种操作界面。
––EBSD与EDS形成一体化系统，使用单一软件界面，以便于材料的成分和晶体结构分析；
––花样采集速度≥930 patterns点/秒(8×8 binning)；
––标定成功率，任何扫描速度下，用以多晶镍（Ni）为标样，测量>99%的标定成功率；
––软件平台适用于Windows7操作系统
––显示器：24寸LCD显示器
1.8真空系统
––涡轮分子泵250l/sec和2个离子泵，两个无油机械泵；
––“穿过透镜”的压差真空系统，低真空模式下抽气区域不少于3个；
––样品室真空度：高真空模式下＜6×10-4Pa，低真空模式下＜10～130Pa，环境真空模式下＜10～4000Pa
1.9冷却系统
––配有循环水冷却器
1.10其他配件或易损件
––配置相关配件或易损件（备用灯丝+光阑3套）。
2附件
2.1X射线能谱仪（EDS）
1）探测器
––探头类型：电制冷硅漂移（SDD）探测器，采用场效应管（FET）集成设计的高速SDD芯片，有效探测器面积≥30mm2
––能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV
–– 30 kV下不低于2.5 nm (BSE)*
–– 1 kV下不低于3.0 nm (SE)
2）低真空
–– 30 kV下不低于1.4 nm (SE)
–– 30 kV下不低于2.5 nm (BSE)
–– 3 kV下不低于3.0 nm (SE)
3）环境真空(ESEM) *
–– 30 kV下不低于1.4 nm (SE)
––网络打印机：最大打印幅面：A4；打印速度：A4：达到14ppm；最高分辨率：600×600dpi；耗材类型：鼓粉一体；硒鼓寿命：2000页；首页打印时间：小于10秒；月打印负荷：达到5000页；进纸盒容量：150页手动进纸器；内存：2MB。
2.2电子束背散射衍射仪（EBSD）系统（可与EDS实现一体化）
––样品台移动重复精度：2um（X/Y方向）
––样品室尺寸：≥250mm；兼容性高，预留EDS、EBSD、波谱仪以及其他标准扩展接口。
1.6检测器
––高真空模式，E-T二次电子探头；
––低真空模式，大视场低真空气体二次电子探头(LFD)
––环境真空下模式，气体二次电子探头(GSED)
––高灵敏度，低电压固体背散射电子检测器
––定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离。
––定量分析：可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；具备有标样定量分析及无标样定量分析方法。
4）计算机及其附件部分
––计算机工作站，EDS与EBSD共用高级工作站系统，Intel Xeon E5-2609 (3.10 GHz, 6 MB cache, 4 cores)处理器，Windows 7 64-bit操作系统，16 GB内存，1 TB硬盘，SATA SuperMulti DVD读写光驱，24”TFT-LCD Monitor，Microsoft Office 2010办公软件(最低配置)；
1）EBSD探测器
–– EBSD探头，适用于场发射电镜的高速EBSD探测器，能与EDS硬件同时使用，高端的高灵敏度CCD相机，加速电压大于３kV，及束流大于500 pA时，可以采集到明显的衍射花样。30×25mm矩形荧光屏；花样像素分辨率：640×480×12位；花样采集速度：920花样/秒8×8binning，630花样/秒4×4binning；