hall传感器解析
I j b d n ev b d
电子运动的速度为 :
I v nebd
I B I B UH RH KH I B ned d
1 RH (m3 .C 1 ) ——霍尔系数 ne RH 1 1 KH (V A T ) ——灵敏度系数 d
霍尔元件外形、结构和符号
霍尔元件最常用的材料有: 锗(Ge)、硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷化铟 (InAs)等。 锑化铟材料霍尔系数大,但对温度最敏感, 受温度影响较大; N型锗容易加工制造,其霍尔系数,温度性 能和线性度都较好; 砷化铟霍尔系数较小,受温度的影响比锑 化铟要小(温度系数较小)且线性度较好。 时多采用锑化铟材料。
4.霍尔元件的误差及其补偿
霍尔元件主要误差及补偿方法包括两个方面:
(1)霍尔元件的零位误差及其补偿
不等位电势 寄生零位电势 零位误差 感应零电势 自激场零电势
①不等位电势及其补偿
当霍尔元件通以控制电流而不加外磁场时, 其霍尔输出端之间仍有空载电势存在,该电势 称为不等位电势。 产生原因: ◆制造工艺不可能保证两个霍尔电极对称地焊 在霍尔片的两侧,致使两电极点不能完全位于 同一等位面上; ◆霍尔片电阻率及厚薄不均匀; ◆ 控制电极接触不良。
三、霍尔式传感器 Hall sensor
霍尔式传感器是利用霍尔效应原理 将被测量如电流、磁场、位移、压力等 转换成电动势输出的一种传感器。 优点: 结构简单,体积小,坚固;频响 范围宽(从直流到微波),动态范围大; 使用寿命长,可靠性高;易微型化和集 成电路化。 缺点:转换效率较低;受温度影响大。
1.工作原理——霍尔效应
磁阻效应产生机理
利用磁阻效应制作的元件——磁阻元件, 可用来测量磁感应强度等许多非电量。 磁阻效应的大小除与材料中载流子的迁 移率有关(迁移率愈大,磁阻效应愈显著) 外,还与元件的几何形状有密切关系,如长 宽比愈小,磁阻效应愈大。 作为霍尔式传感器,其磁阻效应的存在 会使霍尔输出降低,特别在强磁场时,输出 降低较多,必要时需采用一定的方法予以补 偿。
⑶ R B特性
指霍尔元件的输入(或输出)电阻与磁场 B 之间的关系。
实验结果显示, 霍尔元件的内阻 随磁场绝对值的 增加而增加,此 现象称为磁阻效 应。
磁阻效应——指霍尔元件的内阻随磁 场的绝对值增加而增加的现象。 磁阻效应产生的本质源于材料中载流子运 动速度具有一定的统计分布。以速度v2运 fE 动的电子,当 FL 时,电子沿直线运动; FL ,电子向 fE 速度为v1﹤ v2的电子, fE方 向偏转;速度为v3﹥v2的电子, FL方向偏转,由此造成控制 FL ,电子向 fE 电流方向电流密度减小,即由于磁场的存 在增加了元件的内阻。
------- y ++++++++ I EH
x
霍尔效应原理图
霍尔效应原理图
长为L,宽为b,厚为d 的N型半导体薄片, 置于磁感应强度为B的外磁场中,当半导体 中通以电流I时,其中的截流子(电子)将沿 着与电流相反的方向运动。由于外磁场B的 存在,电子将受到洛仑兹力的作用发生偏转, 结果在半导体的后端面上有电子积累,前端 面因缺少电子有正电荷积累,因此在半导体 的两个侧面产生电场。电场力又将阻止电子 继续偏转,当电场力与洛仑兹力相等时,电 子的积累达到动态平衡,即:
霍尔效应Hall effect ——金属或半 导体薄片置于磁感应强度为的磁场中, 当有电流通过时,在垂直于电磁场的 方向上将产生电动势,这一物理现象 称为霍尔效应,相应的电动势称为霍 尔电势。
霍尔效应在高纯度半导体中表现很显著, 以半导体材料制成的霍尔式传感器已广泛用 于很多领域中。
z
B M
FL =FH N
K H 与半导体材料的物理性质和几何尺寸有关。
K H 物理意义表示在单位磁感应强度和单位
控制电流时霍尔元件输出的霍尔电势的大小。
若霍尔元件为P型半导体,载流子为空穴, (其浓度为P)则霍尔电势为:
I B UH ped
一般电子的迁移率大于空穴迁移率,故 N型半导体的霍尔系数大于P型半导体的 霍尔系数,因此霍尔元件多用N型半导体 材料。由于 K H 与元件厚度d成反比,d越小, KH 越大,因此一般霍尔元件都很薄。
2.霍尔元件(材料、结构)
基于霍尔效应工作的 半导体器件称霍尔元件。 a 其外形、结构如图示。
d b
霍尔元件的结构很简 单,它由霍尔片、引线 和壳体组成。
c
长度方向的两端面上焊有两根引线(图中 a,b)作为控制电流端引线,焊接处称控制 电极(激励电极),要求接触电阻要小并呈 纯电阻。 另两侧端面的中间以点的形式对称焊有 两根霍尔电势输出端引线,焊接处称霍尔 电极,要求欧姆接触,电极的宽度与霍尔片 的长度之比要小于0.1,电极位于1/2处,此 时霍尔电势为最大值。 霍尔元件的壳体用非导磁金属,陶瓷或 环氧树脂封装。
3.霍尔元件的电磁特性
U H I特性 电磁特性包括 U H B特性 R B特性
(1)U H
I 特性
指控制电流与霍尔 电势之间的关系。 当磁场恒定,在一 定环境温度下,控 制电流与霍尔电势 之间呈线性关系。
⑵ UH
B特性
指霍尔电势与磁场强度 之间的关系。控制电流 一定时,霍尔元件的开 路霍尔输出随磁感应强 度增加而增大,但不完 全呈线性关系,只有当 B 0.5T(即5000Gs ) 时,才呈 现较好的线性见图示。
FE FL 0
UH UH FE e EH e b vB b FL e v B UH b Nhomakorabeav B
电流密度 j nev,其中n为N型半导体 中的电子浓度,负号表示电子运动速度方向 与电流方向相反。所以通过半导体的电流的 大小为:
UH 当载流材料和几何尺寸确定后, 的大小正比于控制电流和磁感应强度,即:
U H KH I B
UH I B
因此可用于测量磁场(I恒定),检测电流 (B恒定),还可制成各种运算器(I、B 均作为变量,可作乘法器、功率计等)。 当霍尔元件在一个线性梯度磁场中移动时, 将反映磁场的变化,由此可用于检测微小 位移、压力和机械振动等。