第14-3章光电探测器
在光线作用下,电子吸收光子能量从键合状态 过度到自由状态,而引起材料电导率的变化。
基于这种效应的光电器件有光敏电阻。
5
光电效应 ------内光电效应
当光照射到光电导体上时,若这个光电导体为 本征半导体材料,且光辐射能量又足够强,光电 材料价带上的电子将被激发到导带上去,使光 导体的电导率变大。
电子能量E
22
反向偏置时,整个I区 都为耗尽层,在耗尽层 中电场作用下,光生载 流子会很快地扫过耗尽 层,电子到达n区,空 穴到达p区,在外电路 上形成光电流。
PIN光电二极管及能带图
23
PIN光电二极管动画
24
PIN光电二极管实例
InGaAs PIN PD
25
光电探测器结构
普通光电二极管(PD) ------pn结 PIN光电二极管------pn结+I层 雪崩光电二极管(APD)------PIN+p层
30
雪崩光电二极管的原理
在漂移区,虽不具有象高 电场区那样的高电场,但 对于维持一定的载流子速 度来讲,该电场是足够的 。总之,在同样大小入射 光的作用下,由于倍增效 应,APD 光二极管可以产 生比PIN 光二极管高得多 的光电流。
31
APD光电二极管动画
33
光敏电阻
如果把光敏电阻连接到外电路中,在外加电压的作用下 ,用光照射就能改变电路中电流的大小.
3。按照器件结构分类。
PD、 PIN、 APD、MSM
4。按照内部增益分类。
无:PD、PIN、MSM。有: APD
8
(1)依材料分类
无论是直接带隙半导体材料还是间接带隙半 导体材料,都能够用来制备半导体光电探测 器件。而半导体发光器件要求半导体材料必
须是直接带隙半导体材料。因此,在这一点 上,光电探测器件对材料的要求比发光器件 宽容一些。材料有四族、II-IV族等半导体,例 如Ⅳ族的Si、Ge和SiGe合金,III-V族的GaAs、 InGaAs、InGaAsP、InGaN等。异质结材料 能够提供透明的窗口、完全的光学限制和优 异的导波特性,异质结构的光电探测器性能 超群,显示出了更多的好处,
2
爱因斯坦光电效应方程:
h
1 2
m02
A0
1.光电子能否产生,取决于光子的能量是 否大于该物体的表面电子逸出功A。
2.υ一定时,产生的光电流和光强成正比。
3.逸出的光电子具有动能。
3
4
光
电 方式二
光电导效应
------内光电效应 当光照在物体上,使物体的电导率发生变 化1.,光或电产导生效光应生电动势的效应。
35
当光照射到光电导体上时,若光电导体为本 征半导体材料,而且光辐射能量又足够强, 光导材料价带上的电子将激发到导带上去, 从而使导带的电子和价带的空穴增加,致使 光导体的电导率变大。
光敏电阻具有很高的灵敏度、很好的光谱 特性、很长的使用寿命、高度的稳定性能、 小的体积及工艺简单,故应用广泛。
36
用下,电子偏向N区外侧,空穴偏向P区外侧,使
P区带正电,N区带负电,
形成光生电动势。
PN
7
§14.3 光电探测器
凡是把光辐射量转换为电量(电流或电压) 的光探测器,都称为光电探测器。
1。按照材料分。 2。按照器件波段分类。
可见Si、InGaAs,红外Ge、 InGaAs、 GaAs,远红 外TeCdHg
到导带上,形成一个电子
—空穴对。
17
在耗尽区,在内建电场的作用下电子向N区漂移, 空穴向P区漂移,如果PN结外电路构成回路,就会形 成光电流。当入射光功率变化时,光电流也随之线性 变化,从而把光信号转换成电信号。当入射光子能量 小于Eg时,不论入射光有多强,光电效应也不会发生, 即产生光电效应必须满足:
101
Si光电二极管的波长响应范
0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 1.8
波 长 /m
围0.5~1μm。
Ge和InGaAs―PIN光电管的
图 材料吸收系数随波长的变化情况波 长 响 应 范 围 约 为 1~1.7μm 。 15
普通光电二极管(PD)
P
N
光电二极管作成的光检测器 的核心是PN结的光电效应。
28
拉通型APD,耗尽层”拉通”到整个π区
P+与 N+分别为重掺杂的P 型材料与N 型材料,π为近似本征
型的材料。当外加反向偏压较低时,它与PIN 光二极管相似,
即入射光仅能产生较小的光电流。随着反向偏压的增大,其耗
尽层的宽度也逐渐增加,当反向偏压增加到一定数值(如100
伏以上)时,则耗尽层会穿过P 区而进入π区形成了高电场区
第14章 光器件
§14.1 光学吸收 § 14.2 太阳能电池 § 14.3 光电探测器 § 14.4 光致发光和电致发光 § 14.5 光电二极管
光
电 方式一
光电效应 ------外光电效应
物体内的电子逸出物体表面向外发射的现 象叫做外光电效应。 基于外光电效应的光电器件有光电管、光 电倍增管。
与漂移区。
29
雪崩光电二极管的原理
在高电场区,由入射光产生的空穴电子对在高电场作用下高速 运动。由于其速度很快而具有很大的动能,所以在运动过程中 会出现“碰撞电离”现象而产生新的二次空穴电子对。同样, 二次空穴电子对在高电场区运动又可以通过“碰撞电离”效应 产生三次、四次空穴电子对。这样以来,由入射光产生的一个 首次空穴电子对,可能会产生几十个或几百个空穴电子对,即 所谓“倍增”效应,如图所示。
(μm)
c
1.24 Eg (eV)
(本征)
本征吸收是半导体吸收光的主要机制, 从而构成光电探测器工作的基础。
14
吸 收 系数(cm- 1) In0.70Ga0.30As 0.64P0.36
In 0. 5 3 Ga0. 4 7 As
105 Ge
104 GaA s
103
102 Si
材料的带隙决 定了截止波长 要大于被检测 的光波波长, 否则材料对光 透明,不能进 行光电转换。
34
光电导效应
光电导效应只发生在某些半导体材料中,金 属没有光电导效应。
1.半导体材料的电导概念: 金属之所以导电,是由于金属原子形成晶体
时产生了大量的自由电子。自由电子浓度n是 个常量,不受外界因素影响。 半导体和金属的导电机构完全不同,在0K时, 导电载流子浓度为零。在0K以上,由于热激 发而不断产生热生载流子(电子和空穴),它在 扩散过程中又受到复合作用而消失。
即存在
h Eg
c
hc Eg
这是必要条件, 还要满足波长响 应度!!!
18
光电二极管( PD )反向 p接 - , n 接 +
n区电子 n端,p区空穴 p端
P
N
Is
R
E
-+
19
P
N
I
R
E -+
当光不照射时,光敏二极管处于截止状态 = 0状态。 当光照射时,光敏二极管处于导通状态 = 1状态。
9
按器件响应波段分
常用的光电接收器材料
常用光电接收 器的材料有硅 锗等
右图为几种常 用材料的响应 曲线
光电接收器的 基本性能:响 应波长,敏感 度,噪声性能 等
Quantum Efficiency = 1
Germanium
InGaAs 0.5
Silicon
0.1
500
1000
1500
11
光电探测器工作原理
半导体光电探测器的依据:
能够吸收光能并把光变为电。半导体材料对光的吸 收可分:本征吸收、激子吸收、晶格振动吸收、杂 质吸收和自由载流子吸收。
普通光电二极管(PD) ------pn结
PIN光电二极管------pn结+I层
雪崩光电二极管------PIN+p层
12
半导体光电探测器的原理:
在热平衡下,单位时间内热生载流子的产生数目 正好等于因复合而消失的数目。
因此在导带和满带中维持着一个热平衡的电子浓
度n和空穴浓度p,他们的平均寿命分别用
和
即 p 表示。无论何种半导体材料,下式一定成n立,
式中ni是响应温度下本征半导体中的本征热生载 流子浓度。这说明,在n型或p型半导体中,一种 浓度增大,另一种浓度就减少,但绝不会减少到 零。
16
半导体中的光发射 (e)反向偏置的pn结
•光电二极管(PD)是一 个工作在反向偏压下的PN 结二极管,当PN结加反向 偏压时,外加电场方向与 PN结的内建电场方向一致 ,势垒加强,在PN结界面 附近载流子基本上耗尽形 成耗尽区。
•当光束入射到PN结上,
且光子能量hv大于半导体
材料的带隙Eg时,价带上 的电子吸收光子能量跃迁
无论是直接带隙半导体还是间接带隙半导体,都 能制成光电探测器。
光于能量较大(>Eg)时,将发生本征吸收,而能 量大于能带同杂质能级之差时,可观察到杂质吸 收、自由载流子吸收。
本征吸收、杂质吸收等是半导体吸收光的主要机 制,从而构成光电探测器工作的基础。
13
光辐射照射外加电压的半导体。如果光波 长λ满足如下条件,即:
经过多次电离后,载流子迅速增加,形成雪崩 倍增效应。
27
雪崩光电二极管的结构
APD就。
下图为一种被称为拉通型APD(RAPD) 的结构。π层为低掺杂区(接近本征态),而 且很宽。当偏压加达到一定程度后,耗尽区将 被拉通到π层,一直抵达P+层。
这是一种全耗尽型结构,具有光电转换 效率高、响应速度快和附加噪声低等优点。
26