JSM-6700F扫描电镜使用说明
JSM-6700F, 扫描电镜, 使用说明
1．确认设备和环境状态正常后，按操作台上的OPNPOWER”的右钮开机，开启操控面板电源，开计算机，进入JEOLPC-SEM工作界面，程序会自动进行以下三方面准备：
1） Flash（加热灯丝去除灯丝表面污染），为了使灯丝工作电流稳定，最好在Flash30分钟后进行观察；
2）样品台复位，根据需要选择进行或取消。

3）样品台选择，根据需要选择或取消。

2．检查工作状态，确认主机上WD为8㎜，EXCH灯亮，TILT 为0；按VENT键，灯闪烁，停闪后打开样品室门，把样品架放在样品台坐上（注意运行样品台选择程序，否则样品台移动范围不对，造成设备损害），关上样品室门；按EVAC键，灯闪烁，停闪后将样品送入样品室内，这时要确认HLDR灯亮；抽真空10分钟左右，确认样品室真空度小于2×10-4Pa后方可加电压。

3．按主机上的GUN VAVLE CLOSE键，此灯熄灭，电子束开始扫描。

用操控器上的LOW MAG选用低放大倍率，用样品台上的WD 轴粗调焦，出现图象后再逐步放大，最后用FOCUC细聚焦；为了调焦方便，可以按操控器上的RDC IMAG键选用小窗口，和按操控器上的QUICK VIEW快速扫描。

当放大倍数高于5000倍时应注意图象的象散，检测的方法是把图象倍率再增加，用聚焦钮在焦点附近调焦，如果图象有“涂污”的痕迹，而且在焦点的欠焦一侧和过焦一侧涂污方向垂
直，就表示有象散存在，用操控器上的消象散X、Y纽使涂污消失，此时图象清晰度会明显提高，调焦和清象散应在比照相所需的放大倍数高的放大倍数下进行，至少高出1.5倍。

4．按操控器上的ACB钮即可自动调整亮度对比度,也可用CONTRAST和BRIGHTNESS钮手工调整。

得到一幅满意的图象时,可按FREEZE记录下图象。

5．完成观测后关高压（HT），按GUN VAVLE CLOSE钮，指示灯变黄。

6．运行样品台位置初始化程序，EXCH POSN指示灯亮，拉动样品杆将样品置于样品交换室内，HLDR灯亮，按VENT按钮，样品交换室放气，取出样品后按EVAC按钮。

7．退出操作界面，关计算机。

按“OPN POWER”左钮关机，关控制面板电源。

8．对于不同的样品的观测和图象倍率大小、不同信号图象分析的工作条件选择：
1）电压一般使用10kV；对于导电性差的样品可选低一点电压如3-10 kV，需要高的放大倍率且样品不易被电子束穿透，可选用较高的电压，如15kV左右；做EDS分析时电压要用15-20kV。

2）电流一般用10uA，做EDS能谱时可选用20uA。

3）工作距离（WD）一般用8mm，如果要观察高的放大倍率（5万倍以上）,可以把工作距离调小到3-8mm；如果放大倍率不高且要图像立体感强,可以把工作距离调大一点8-15mm。

用EDS能谱时工作
距离调到15mm；用背散射电子探测器时工作距离应调在8-15mm，此时样品倾角台倾角为0时才可插入探测器。

4）分析样品表面形貌用SEI二次电子探测器；在低于12000倍时，可用LOW MAG低位二次电子探测器；特殊需要可用背散射电子探测器，成份分析用COMPO模式，凹凸分析用TOPO模式。

5）样品和样品坐的固定，最好直接用样品坐上螺钉固定，如不能直接固定就要用导电胶或导电带，导电胶使用注意胶的干燥时间，要在空气中或加热中充分干燥。

使用导电带比导电胶方便，但在观察10000倍以上图象时，图象容易漂移，对于磁性材料或能被磁化的材料只能用螺钉固定。

6）目前样品坐尺寸有二种，一种是Φ26×10mm，另一种是Φ12.5×10mm，根据实际尺寸选用，但为了减少样品发射气体及减少胶、带的用量，尽可能减小样品尺寸，不要在样品台上同时装载过多的样品。