硅片等级分类及标准（150³150）
一、优等品(Ⅰ类片)
1、物理、化学特性
错误！未找到引用源。

型号:P 晶向〈100〉±1°；
错误！未找到引用源。

氧含量: ≤1.0³1018at/cm3；
错误！未找到引用源。

碳含量: ≤5³1016at/cm3；
错误！未找到引用源。

少子寿命:τ=1.3-3.0μs(在测试电压≥20mv下裸片的数据)；
错误！未找到引用源。

电阻率: 0.9-1.2、1.2-3.0、3.0-6.0Ω²cm；
错误！未找到引用源。

位错密度：≤3000个/cm2；
2、几何尺寸
错误！未找到引用源。

边长：125³125±0.5mm；
错误！未找到引用源。

对角：150³150±0.5mm；
错误！未找到引用源。

同心度：任意两弧的弦长之差≤1mm;
错误！未找到引用源。

垂直度：任意两边的夹角90°±0.3°；
错误！未找到引用源。

厚度：200±20μm; (中心点厚度≥195μm,边缘四点厚度≥180 μm)
180±20μm; (中心点厚度≥175μm,边缘四点厚度≥160 μm)
错误！未找到引用源。

TTV：≤30μm;
错误！未找到引用源。

弯曲度：≤40μm；
3、表面指标
错误！未找到引用源。

线痕：无可视线痕；
错误！未找到引用源。

目视表面：无沾污、无水渍、染色、白斑、指印等；错误！未找到引用源。

无崩边、无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲；
二、合格品（Ⅱ类片）
1、物理化学特性
错误！未找到引用源。

型号:P 晶向〈100〉±1°；
错误！未找到引用源。

氧含量: ≤1.0³1018at/cm3；
错误！未找到引用源。

碳含量: ≤5³1016at/cm3；
错误！未找到引用源。

少子寿命:τ=1.0-1.2μs(在测试电压≥20mv下裸片的数据)；
错误！未找到引用源。

电阻率:0.5-0.8Ω²cm；
错误！未找到引用源。

位错密度：≤3000个/cm2；
2、几何尺寸
错误！未找到引用源。

边长：125³125±0.5mm；
错误！未找到引用源。

对角：150³150±0.5mm；
错误！未找到引用源。

同心度：任意两弧的弦长之差≤1.5mm;
错误！未找到引用源。

垂直度：任意两边的夹角90°±0.3°；
错误！未找到引用源。

厚度：200±20μm;(中心点厚度≥195μm,边缘四点厚度≥180 μm)
180±20μm;(中心点厚度≥175μm,边缘四点厚度≥160 μm)
错误！未找到引用源。

TTV：≤30μm;
错误！未找到引用源。

弯曲度：≤40μm；
3、表面指标
错误！未找到引用源。

线痕：无明显线痕、触摸无凹凸感。

错误！未找到引用源。

崩边范围：崩边口不是“V”型、长³深≤1³0.5mm，个数≤1个/片；无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲；
三、等外品（Ⅲ类片）
1、物理、化学特性
错误！未找到引用源。

型号:PN 晶向〈100〉±3°；
错误！未找到引用源。

氧含量: ≤1.0³1018at/cm3；
错误！未找到引用源。

碳含量: ≤5³1016at/cm3；
错误！未找到引用源。

少子寿命:τ＜1.0μs(在测试电压≥20m下裸片的数据)；
错误！未找到引用源。

电阻率: ≤0.5Ω²cm；
错误！未找到引用源。

位错密度：＞3000个/cm2；
2、几何尺寸
错误！未找到引用源。

边长：125³125±1.0mm；
错误！未找到引用源。

对角：150³150±1.0mm；
错误！未找到引用源。

同心度：任意两弧的弦长之差≤1.5mm;
错误！未找到引用源。

垂直度：任意两边的夹角90°±0.5°；
错误！未找到引用源。

厚度：＜160μm
3、表面指标
错误！未找到引用源。

有明显线痕、触摸有凹凸感。

说明：只要满足第三条“等外品（Ⅲ类片）”的任意一项就
判为不合格品。

品管部
2008年11月11日。